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本发明公开了一种针卡运输装置及探针台。一种针卡搬运装置，翻转部转动连接于第一连接部，使翻转部能够转动到第一平面；针卡连接部平面运动连接于翻转部，使针卡连接部能够相对于翻转部在第一平面中运动。一种包括所述针卡搬运装置的探针台。能够将针卡或针卡...
该专利属于深圳市矽电半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市矽电半导体设备有限公司授权不得商用。

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