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本发明公开一种晶圆可接受性测试的探针卡自动更换方法，其中，步骤一：自动派工系统进行WAT测试的派工时通过Recipe查询本次测试所需的探针卡类型；步骤二：自动派工系统查询需要派工的机台上的探针卡类型；如果机台上的探针卡类型与所需探针卡类型一...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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