一种晶圆移动装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种晶圆移动装置，包括晶圆吸盘架和连杆，所述晶圆吸盘架为两个，所述晶圆吸盘架对称固定于所述连杆的两端，所述晶圆吸盘架包括固定架、两个吸盘臂和限位杆；所述吸盘臂的一端具有限位孔，另一端具有吸盘安装孔，所述两个吸盘臂具有限位孔的一端分别固定于所述固定架的两端，且所述吸盘臂在所述固定架上可以以其限位孔为支点进行旋转；所述限位杆的两端分别固定于所述两个吸盘臂上。该晶圆移动装置能够准确的将晶圆吸盘架调整到适合相应晶圆尺寸的位置。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体集成电路制造领域，特别涉及一种晶圆移动装置。
技术介绍
进行晶圆切割时，同一切割机通常能够满足对多种不同尺寸晶圆的切割，如对8 寸和12寸的晶圆切割。当需要从对8寸晶圆的切割切换到对12寸晶圆的切割时，需要更 换和调整切割机中的一些相关部件，如晶圆切割吸盘、晶圆清洗吸盘和晶圆移动装置等。 晶圆移动装置用于固定吸附晶圆，将晶圆运输至切割机内的不同部件处，实施对 晶圆的不同处理。请参阅图l，图1为现有技术中的晶圆移动装置的结构示意图，如图l所 示，现有技术的晶圆移动装置是活动式的，包括两个晶圆吸盘架1和连杆2，连杆2穿过晶 圆吸盘架1中间的通孔，使两个晶圆吸附架1对称分布于连杆2的两端，每个晶圆吸盘架1 的两端具有吸盘安装孔3，用于安装吸附晶圆的吸盘。当需要切割小尺寸晶圆如8寸晶圆 时，需手动将两个晶圆吸盘架1调整到8寸框架位置；而当需要切割大尺寸晶圆如12寸晶 圆时，则需手动将晶圆吸盘架1调整到12寸框架位置。在调整晶圆吸盘架1时，需先将晶 圆吸盘架下方的固定螺丝拧松，然后用手将晶圆吸盘架1移至相应尺寸的框架位置，然后 再将晶圆吸盘架1的固定螺丝拧紧，固定晶圆吸盘架1。由于切割机内的可操作空间狭小， 手动调整晶圆吸盘架的位置极为不便，且调整的距离精度很难掌握。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种晶圆移动装置，以解决现有技术的晶圆 移动装置手动调整晶圆吸盘架位置时极为不便，且调整的距离精度很难掌握的问题。 为解决上述技术问题，本技术提供一种晶圆移动装置，包括晶圆吸盘架和连 杆，所述晶圆吸盘架为两个，所述晶圆吸盘架对称固定于所述连杆的两端，所述晶圆吸盘架 包括固定架、两个吸盘臂和限位杆；所述吸盘臂的一端具有限位孔，另一端具有吸盘安装 孔，所述两个吸盘臂具有限位孔的一端分别固定于所述固定架的两端，且所述吸盘臂在所 述固定架上可以以其限位孔为支点进行旋转；所述限位杆的两端分别固定于所述两个吸盘 臂上。 可选的，所述吸盘臂通过在其限位孔内安装的螺丝固定于所述固定架上。 可选的，所述限位杆的两端具有限位槽，每一限位槽内安装有限位螺丝，通过所述限位螺丝将所述限位杆的两端分别固定于所述两个吸盘臂上。 可选的，所述限位杆两端的限位槽内安装的限位螺丝之间通过限位弹簧连接。 本技术提供的晶圆移动装置只需手动旋转两个晶圆吸附架即可方便快捷的 调整两个晶圆吸盘架间的距离，使得该晶圆移动装置适合不同尺寸的晶圆，且能够准确的 将晶圆吸盘架调整到适合相应晶圆尺寸的位置。附图说明图1为现有技术中的晶圆移动装置的结构示意图； 图2为本技术的晶圆移动装置的结构示意图； 图3为本技术的晶圆吸盘架的结构示意图。具体实施方式为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，以下结合附图对本 技术的具体实施方式做详细的说明。 本技术所述的晶圆移动装置可广泛应用于半导体集成电路的制造领域，并且 可以利用多种替换方式实现，下面是通过较佳的实施例来加以说明，当然本技术并不 局限于该具体实施例，本领域内的普通技术人员所熟知的一般的替换无疑地涵盖在本实用 新型的保护范围内。 其次，本技术利用示意图进行了详细描述，在详述本技术实施例时，为了便于说明，示意图不依一般比例局部放大，不应以此作为对本技术的限定。 请参阅图2，图2为本技术的晶圆移动装置的结构示意图。如图2所示，本技术的晶圆移动装置包括晶圆吸盘架4和连杆5，所述晶圆吸盘架4为两个，对称固定于所述连杆5的两端。 请参看图3，图3为本技术的晶圆吸盘架的结构示意图，如图3所示，本实用 新型的晶圆吸盘架包括固定架6、两个吸盘臂7和限位杆8 ;所述吸盘臂7的一端具有限位 孔9，另一端具有吸盘安装孔10，所述两个吸盘臂7通过其限位孔9内安装的螺丝分别固定 于所述固定架6的两端，且所述吸盘臂7以其限位孔9为支点可在所述固定架6上进行旋 转；所述限位杆8的两端具有限位槽ll，每一限位槽11内安装有限位螺丝12，所述限位杆 8的两端通过所述限位螺丝12分别固定于所述两个吸盘臂7上，所述限位杆8两端的限位 槽11内安装的限位螺丝12之间通过限位弹簧13连接。 请同时参看图2和图3，由于晶圆吸盘架4上，所述两个吸盘臂7以其限位孔9为 支点可在所述固定架6上进行旋转，同时在所述限位杆8上的限位槽11和所述限位弹簧13 的共同作用下对所述两个吸盘臂7的旋转角度进行了限制，使所述两个吸盘臂7向右或向 左旋转一定角度后即得到固定。当晶圆移动装置的两个晶圆吸盘架4以相对的方向旋转固 定时，则两个晶圆吸附架4之间的距离适用于小尺寸晶圆的吸附传送；当晶圆移动装置的 两个晶圆吸盘架4以相向的方向旋转固定时，则两个晶圆吸附架4之间的距离适用于大尺 寸晶圆的吸附传送。因此，在对本技术的晶圆移动装置进行调整以适应不同尺寸的晶 圆时，只需手动旋转两个晶圆吸附架即可，且能够准确的将晶圆吸盘架4调整到适合相应 晶圆尺寸的位置。 显然，本领域的技术人员可以对本技术进行各种改动和变型而不脱离本实用 新型的精神和范围。这样，倘若本技术的这些修改和变型属于本技术权利要求及 其等同技术的范围之内，则本技术也意图包含这些改动和变型在内。权利要求一种晶圆移动装置，包括晶圆吸盘架和连杆，所述晶圆吸盘架为两个，其特征在于，所述晶圆吸盘架对称固定于所述连杆的两端，所述晶圆吸盘架包括固定架、两个吸盘臂和限位杆；所述吸盘臂的一端具有限位孔，另一端具有吸盘安装孔，所述两个吸盘臂具有限位孔的一端分别固定于所述固定架的两端，且所述吸盘臂在所述固定架上可以以其限位孔为支点进行旋转；所述限位杆的两端分别固定于所述两个吸盘臂上。2. 如权利要求1所述的晶圆移动装置，其特征在于，所述吸盘臂通过在其限位孔内安 装的螺丝固定于所述固定架上。3. 如权利要求1所述的晶圆移动装置，其特征在于，所述限位杆的两端具有限位槽，每 一限位槽内安装有限位螺丝，通过所述限位螺丝将所述限位杆的两端分别固定于所述两个 吸盘臂上。4. 如权利要求1所述的晶圆移动装置，其特征在于，所述限位杆两端的限位槽内安装 的限位螺丝之间通过限位弹簧连接。专利摘要本技术提供一种晶圆移动装置，包括晶圆吸盘架和连杆，所述晶圆吸盘架为两个，所述晶圆吸盘架对称固定于所述连杆的两端，所述晶圆吸盘架包括固定架、两个吸盘臂和限位杆；所述吸盘臂的一端具有限位孔，另一端具有吸盘安装孔，所述两个吸盘臂具有限位孔的一端分别固定于所述固定架的两端，且所述吸盘臂在所述固定架上可以以其限位孔为支点进行旋转；所述限位杆的两端分别固定于所述两个吸盘臂上。该晶圆移动装置能够准确的将晶圆吸盘架调整到适合相应晶圆尺寸的位置。文档编号H01L21/304GK201532943SQ200920212170公开日2010年7月21日 申请日期2009年11月10日 优先权日2009年11月10日专利技术者李刚, 郑鹏飞 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶圆移动装置，包括晶圆吸盘架和连杆，所述晶圆吸盘架为两个，其特征在于，所述晶圆吸盘架对称固定于所述连杆的两端，所述晶圆吸盘架包括固定架、两个吸盘臂和限位杆；所述吸盘臂的一端具有限位孔，另一端具有吸盘安装孔，所述两个吸盘臂具有限位孔的一端分别固定于所述固定架的两端，且所述吸盘臂在所述固定架上可以以其限位孔为支点进行旋转；所述限位杆的两端分别固定于所述两个吸盘臂上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李刚，郑鹏飞，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]