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本实用新型提供一种晶圆移动装置，包括晶圆吸盘架和连杆，所述晶圆吸盘架为两个，所述晶圆吸盘架对称固定于所述连杆的两端，所述晶圆吸盘架包括固定架、两个吸盘臂和限位杆；所述吸盘臂的一端具有限位孔，另一端具有吸盘安装孔，所述两个吸盘臂具有限位孔的一...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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