一种晶圆承载盒制造技术

技术编号:8149836 阅读:198 留言:0更新日期:2012-12-28 21:10
本实用新型专利技术公开了一种晶圆承载盒,包括盒体和把手,把手位于盒体的顶部,盒体的内侧壁上设置有数排载台,盒体上设置有包括支撑块、连杆和挡块的挡料机构;连杆与挡块呈垂直设置,连杆的一端与支撑块活动连接,支撑块固设在盒体的底部;盒体的内侧壁上设置有与载台相垂直的容置槽,容置槽的下端设置有与其连通的通槽,挡块位于容置槽中,连杆的另一端位于通槽中;挡块上设置有与载台相对应的凸台,每两个临近的载台底部之间的距离与每两个临近的凸台底部之间的距离相等。该实用新型专利技术将原来的安全栓换成了挡料机构,挡块上升,装入晶圆,挡块下降,挡住晶圆,只需轻轻拨动连杆即可,不仅使用效果好、操作简单,而且不易损坏。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及周转工具行业,尤其涉及一种晶圆承载盒
技术介绍
晶圆是指娃半导体集成电路制作所用的娃晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆。在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构,而成为有特定电性功能的IC产品。单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼,经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒,单晶硅棒经过抛光、切片之后,就成为了晶圆。在晶圆生产中,经常需使用周转工具将材料转移到下一工序,生产厂商大都会使用承载盒来进行材料的周转。如图I所示,一般承载盒主要是用安全栓11来挡住产品的。安全栓11可以旋转,每一次产品装载完后,将安全栓11向上拉起,旋转90度,就可以将产品挡住。由于重力作用,安全栓会自动下降,所以需要将产品拿出时,要将安全栓11向上拉起,再往回旋转90度,才能拿出产品。但是,每次人工将安全栓向上拉,很容易将安全栓11拉出,造成承载盒的损坏。
技术实现思路
为解决上述技术问题,本技术的目的在于提供一种使用效果好、操作简单,而且不易损坏的晶圆承载盒。为达到上述目的,本技术的技术方案如下—种晶圆承载盒,包括盒体和把手,所述把手位于所述盒体的顶部,所述盒体的内侧壁上设置有数排载台,所述盒体上设置有挡料机本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶圆承载盒,包括盒体和把手,所述把手位于所述盒体的顶部,所述盒体的内侧壁上设置有数排载台,其特征在于,所述盒体上设置有挡料机构;所述挡料机构包括支撑块、连杆和挡块,所述连杆与所述挡块呈垂直设置,所述连杆的一端与所述支撑块活动连接,所述支撑块固设在所述盒体的底部;所述盒体的内侧壁上设置有与所述载台相垂直的容置槽,所述容置槽的下端设置有与其连通的通槽,所述挡块位于所述容置槽中,所述连杆的另一端位于所述通槽中;所述挡块上设置有与所述载台相对应的凸台。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:李德峰
申请(专利权)人:昆山英博尔电子科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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