新双向晶圆转换器制造技术

本实用新型专利技术公开了新双向晶圆转换器，包括基板，所述基板底部的四角均固定连接有支脚，所述支脚的内侧固定连接有导杆，所述导杆的表面套设有连接块，所述连接块的外侧固定连接有连接轴，所述连接轴远离连接块的一侧固定连接有推杆，所述推杆远离连接轴的一侧延伸至基板的顶部，所述推杆远离连接轴的一侧设置有推头，所述推头与推杆相互插接，所述连接块的正面固定连接有把手，所述把手与连接块相互配合使用，所述基板的顶部固定连接有挡块，所述挡块的数量为四个且相互对称排列，所述基板的顶部固定连接有限位块。本实用新型专利技术可以实现不同高度的料盒之间的晶圆转换，弥补了不同高度的盒子的转换困难的问题。盒子的转换困难的问题。盒子的转换困难的问题。

【技术实现步骤摘要】
新双向晶圆转换器


[0001]本技术涉及晶圆片推片
，具体为新双向晶圆转换器。

技术介绍

[0002]转换器是用于半导体行业芯片加工过程中用于晶圆片转移治具，不同的工艺过程使用的盒子材质不同，需要晶圆转化器对其进行行转移。
[0003]但是目前行业推片器主要是一个推头用于同规格晶圆盒的转换，晶圆盒生产厂家繁多，不同厂家生产的晶圆盒不容易实现相互转换，影响晶圆转换器的使用范围。
[0004]因此，需要对新双向晶圆转换器进行设计改造。

技术实现思路

[0005]为解决上述
技术介绍
中提出的问题，本技术的目的在于提供新双向晶圆转换器，具备在不同高度的料盒之间进行快捷晶圆转换的优点，解决了目前行业推片器主要是一个推头用于同规格晶圆盒的转换，晶圆盒生产厂家繁多，不同厂家生产的晶圆盒不容易实现相互转换，影响晶圆转换器使用范围的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：新双向晶圆转换器，包括基板；
[0007]所述基板底部的四角均固定连接有支脚，所述支脚的内侧固定连接有导杆，所述导杆的表面套设有连接块，所述连接块的外侧固定连接有连接轴，所述连接轴远离连接块的一侧固定连接有推杆，所述推杆远离连接轴的一侧延伸至基板的顶部。
[0008]作为本技术优选的，所述推杆远离连接轴的一侧设置有推头，所述推头与推杆相互插接。
[0009]作为本技术优选的，所述连接块的正面固定连接有把手，所述把手与连接块相互配合使用。
[0010]作为本技术优选的，所述基板的顶部固定连接有挡块，所述挡块的数量为四个且相互对称排列。
[0011]作为本技术优选的，所述基板的顶部固定连接有限位块，所述限位块位于挡块的内侧。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0013]1、本技术可以实现不同高度的料盒之间的晶圆转换，弥补了不同高度的盒子的转换困难的问题。
[0014]2、本技术通过设置推头，能够便于用户根据晶圆盒的信号进行灵活调节，可以进一步提高设备的适用范围。
附图说明
[0015]图1为本技术结构示意图；
[0016]图2为本技术主视结构示意图；
[0017]图3为本技术俯视结构示意图。
[0018]图中：1、基板；2、支脚；3、导杆；4、连接块；5、连接轴；6、推杆；7、推头；8、把手；9、挡块；10、限位块。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]如图1至图3所示，本技术提供的新双向晶圆转换器，包括基板1；
[0021]基板1底部的四角均固定连接有支脚2，支脚2的内侧固定连接有导杆3，导杆3的表面套设有连接块4，连接块4的外侧固定连接有连接轴5，连接轴5远离连接块4的一侧固定连接有推杆6，推杆6远离连接轴5的一侧延伸至基板1的顶部。
[0022]参考图1，推杆6远离连接轴5的一侧设置有推头7，推头7与推杆6相互插接。
[0023]作为本技术的一种技术优化方案，通过设置推头7，能够便于用户根据晶圆盒的信号进行灵活调节，可以进一步提高设备的适用范围。
[0024]参考图1，连接块4的正面固定连接有把手8，把手8与连接块4相互配合使用。
[0025]作为本技术的一种技术优化方案，通过设置把手8，能够便于用户移动连接块4，可以提高连接块4与手部的接触面积。
[0026]参考图1，基板1的顶部固定连接有挡块9，挡块9的数量为四个且相互对称排列。
[0027]作为本技术的一种技术优化方案，通过设置挡块9，能够对晶圆盒进行限位，提高晶圆盒的安装稳定性。
[0028]参考图1，基板1的顶部固定连接有限位块10，限位块10位于挡块9的内侧。
[0029]作为本技术的一种技术优化方案，通过设置限位块10，能够辅助挡块9进行限位，便于两侧晶圆盒对齐。
[0030]本技术的工作原理及使用流程：使用时，首先将存放有晶圆的晶圆盒和空置的晶圆盒分别通过限位块10和挡块9放置在基板1的顶部，当两个晶圆盒相互对齐时，用户可以推动与存放有晶圆的晶圆盒相对应一侧的把手8移动，把手8通过连接块4拉动连接轴5同步滑动，连接轴5在移动过程中利用推杆6和推头7同时推动多个晶圆滑动，当晶圆移动至另一个晶圆盒的内部时，完成对晶圆的快速转移。
[0031]综上所述：该新双向晶圆转换器，可以实现不同高度的料盒之间的晶圆转换，弥补了不同高度的盒子的转换困难的问题。
[0032]需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
[0033]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，
可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.新双向晶圆转换器，包括基板(1)；其特征在于：所述基板(1)底部的四角均固定连接有支脚(2)，所述支脚(2)的内侧固定连接有导杆(3)，所述导杆(3)的表面套设有连接块(4)，所述连接块(4)的外侧固定连接有连接轴(5)，所述连接轴(5)远离连接块(4)的一侧固定连接有推杆(6)，所述推杆(6)远离连接轴(5)的一侧延伸至基板(1)的顶部。2.根据权利要求1所述的新双向晶圆转换器，其特征在于：所述推杆(6)远离连接轴(5)的一侧设置有推头(7)，所述推...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘红军，秦东魁，
申请(专利权)人：昆山英博尔电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：