开PO器制造技术

本实用新型专利技术公开了开PO器，包括基板，所述基板的内部滑动连接有转轴，所述转轴表面的底部通过轴承活动连接有底板，所述基板底部的四角均固定连接有支撑柱，所述支撑柱的底部通过螺栓固定安装在底板的顶部，所述基板顶部的三角均固定连接有限位销，所述基板与底板的内侧设置有手柄，所述手柄的后端通过连接套和螺栓固定安装在支撑柱的表面，所述转轴顶部的前侧与后侧均固定连接有转销。本实用新型专利技术由基板通过限位销对晶圆传送盒进行限位，再由手柄通过支撑柱带动转销转动对晶圆传送盒进行打开和关闭，达到方便打开和关闭晶圆传送盒的优点，在打开和关闭时，使用者不易对晶圆造成损伤，提高了晶圆的成品质量。提高了晶圆的成品质量。提高了晶圆的成品质量。

【技术实现步骤摘要】
开PO器


[0001]本技术涉及自动化晶圆传送盒用治具
，具体为开PO器。

技术介绍

[0002]晶圆传送盒(SMIF POD)，这是半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器，其内部可以容纳25片的300mm晶圆。
[0003]在晶圆传送盒对晶圆保护运送完成后，需要使用者进行打开处理，而目前的晶圆传送盒打开方式采用手动简易打开，在打开和关闭时，使用者容易对晶圆造成损伤，影响晶圆的成品质量。

技术实现思路

[0004]为解决上述
技术介绍
中提出的问题，本技术的目的在于提供开PO器，具备了方便打开和关闭晶圆传送盒的优点，解决了目前的晶圆传送盒打开方式采用手动简易打开，使用者容易对晶圆造成损伤的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：开PO器，包括基板，所述基板的内部滑动连接有转轴，所述转轴表面的底部通过轴承活动连接有底板，所述基板底部的四角均固定连接有支撑柱，所述支撑柱的底部通过螺栓固定安装在底板的顶部，所述基板顶部的三角均固定连接有限位销，所述基板与底板的内侧设置有手柄，所述手柄的后端通过连接套和螺栓固定安装在支撑柱的表面，所述转轴顶部的前侧与后侧均固定连接有转销。
[0006]作为本技术优选的，所述基板顶部的四角均固定连接有防护套，所述支撑柱的底部与底板的顶部接触。
[0007]作为本技术优选的，所述底板底部的四角均固定连接有垫板，所述基板和底板的表面均开设有圆角。
[0008]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0009]1、本技术由基板通过限位销对晶圆传送盒进行限位，再由手柄通过支撑柱带动转销转动对晶圆传送盒进行打开和关闭，达到方便打开和关闭晶圆传送盒的优点，在打开和关闭时，使用者不易对晶圆造成损伤，提高了晶圆的成品质量。
[0010]2、本技术通过设置防护套，能够对基板顶部的四角进行防护，提高了基板的使用寿命。
附图说明
[0011]图1为本技术结构示意图；
[0012]图2为本技术结构基板的主视示意图；
[0013]图3为本技术结构垫板的立体示意图。
[0014]图中：1、基板；2、转轴；3、底板；4、支撑柱；5、限位销；6、手柄；7、转销；8、防护套；9、垫板。
具体实施方式
[0015]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0016]如图1至图3所示，本技术提供的开PO器，包括基板1，基板1的内部滑动连接有转轴2，转轴2表面的底部通过轴承活动连接有底板3，基板1底部的四角均固定连接有支撑柱4，支撑柱4的底部通过螺栓固定安装在底板3的顶部，基板1顶部的三角均固定连接有限位销5，基板1与底板3的内侧设置有手柄6，手柄6的后端通过连接套和螺栓固定安装在支撑柱4的表面，转轴2顶部的前侧与后侧均固定连接有转销7。
[0017]参考图2，基板1顶部的四角均固定连接有防护套8，支撑柱4的底部与底板3的顶部接触。
[0018]作为本技术的一种技术优化方案，通过设置防护套8，能够对基板1顶部的四角进行防护，提高了基板1的使用寿命。
[0019]参考图2，底板3底部的四角均固定连接有垫板9，基板1和底板3的表面均开设有圆角。
[0020]作为本技术的一种技术优化方案，通过设置垫板9，能够对底板3进行支撑，方便使用者后续对底板3进行搬运移动。
[0021]本技术的工作原理及使用流程：使用时，使用者首先将底板3通过垫板9放置在桌面的顶部，然后将晶圆传送盒放在基板1的顶部，使限位销5对晶圆传送盒进行限位，同时转销7会卡入晶圆传送盒底部的指定位置，然后转动手柄6，手柄6带动支撑柱4转动，支撑柱4带动转销7转动对晶圆传送盒进行打开处理，同时方便对晶圆传送盒进行关闭，从而达到方便打开和关闭晶圆传送盒的优点。
[0022]综上所述：该开PO器，由基板1通过限位销5对晶圆传送盒进行限位，再由手柄6通过支撑柱4带动转销7转动对晶圆传送盒进行打开和关闭，达到方便打开和关闭晶圆传送盒的优点，在打开和关闭时，使用者不易对晶圆造成损伤，提高了晶圆的成品质量。
[0023]需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
[0024]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.开PO器，包括基板(1)，其特征在于：所述基板(1)的内部滑动连接有转轴(2)，所述转轴(2)表面的底部通过轴承活动连接有底板(3)，所述基板(1)底部的四角均固定连接有支撑柱(4)，所述支撑柱(4)的底部通过螺栓固定安装在底板(3)的顶部，所述基板(1)顶部的三角均固定连接有限位销(5)，所述基板(1)与底板(3)的内侧设置有手柄(6)，所述手柄(6)的后端通过连接套和螺...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘红军，秦东魁，
申请(专利权)人：昆山英博尔电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：