搬运机械手及晶圆传送装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于晶圆搬运技术领域，公开了一种搬运机械手及晶圆传送装置。搬运机械手用于晶圆搬运，其包括真空手指、定位块以及限位件。真空手指具有用于与机械臂连接的第一端和与第一端相对的第二端，第一端和第二端之间依次间隔分布有多个限位区域；定位块固定于第二端；限位件通过固定件可拆卸连接于任一限位区域内，以与定位块之间形成供晶圆放置的空间，且限位件与定位块的相对侧面分别与晶圆的两侧贴合。通过该搬运机械手能够适配不同尺寸的晶圆，使得该晶圆传送装置能够对多种不同尺寸的晶圆进行传输，而且无需对机械手进行更换，也就不需要对机械手进行重新校对，使得晶圆整体的传输流程更为简单，有利于提高晶圆的传送效率。效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
搬运机械手及晶圆传送装置


[0001]本技术涉及晶圆搬运
，尤其涉及一种搬运机械手及晶圆传送装置。

技术介绍

[0002]晶圆作为半导体设备的重要构成之一，其在生产过程中涉及到在不同工艺腔室内的传输，传输设备往往都是通过工业机器人来实现，以尽可能地避免对晶圆造成损伤。
[0003]现有技术中，工业机器人包括机械手指，机械手包括手指和设置手指上的定位块，手指采用真空手指以吸附晶圆，定位块则设置在晶圆外围以限制晶圆的位置。在晶圆固定在机械手指后，就利用机械臂的移动来带动机械手指移动，从而实现晶圆的转运。
[0004]但是上述机械手指中的定位块并不能根据晶圆尺寸的改变而进行调整，导致该机械手不能适配不同规格的晶圆，当需要对不同尺寸的晶圆进行搬运输送时，就需要更换机械手，还需要对机械手进行重新校准，导致晶圆的输送过程操作复杂，效率低下。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种搬运机械手及晶圆传送装置，解决了现有技术中机械手难以适配不同尺寸的晶圆，导致不同尺寸晶圆在搬运过程中需要更换不同的机械手并重新进行校准本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.搬运机械手，用于晶圆(4)搬运，其特征在于，所述搬运机械手包括：真空手指(1)，所述真空手指(1)具有用于与机械臂连接的第一端(11)和与所述第一端(11)相对的第二端(12)，所述第一端(11)和所述第二端(12)之间依次间隔分布有多个限位区域；定位块(2)，固定于所述第二端(12)；以及限位件(3)，通过固定件(5)可拆卸连接于任一所述限位区域内，以与所述定位块(2)之间形成供所述晶圆(4)放置的空间，且所述限位件(3)与所述定位块(2)的相对侧面分别与所述晶圆(4)的两侧贴合。2.根据权利要求1所述的搬运机械手，其特征在于，所述固定件(5)包括穿设于所述限位件(3)的固定螺钉，所述限位区域内设有与所述固定螺钉螺纹连接的螺纹孔(14)。3.根据权利要求2所述的搬运机械手，其特征在于，所述螺纹孔(14)和所述固定螺钉均设置两个且一一对应，两个所述固定螺钉分别位于限位件(3)的相对两侧。4.根据权利要求2所述的搬运机械手，其特征在于，所述限位件(3)开设...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴建波，朱磊，孙光明，
申请(专利权)人：无锡邑文微电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：