一种耐高温晶圆盒制造技术

本实用新型专利技术公开了一种耐高温晶圆盒，涉及到晶圆存储领域，包括两个固定座，两个所述固定座的两侧均安装有固定板，对应的两个所述固定板相对的一侧安装有侧板，两个所述侧板相对的一侧均开有多个第一卡槽，两个所述固定座相对的一侧靠近两端的位置均安装有卡杆，两个所述卡杆的顶部外壁上均开有多个第二卡槽，所述第二卡槽的数量与所述第一卡槽的数量相同，两个所述侧板的一侧开有多个散热孔。本实用新型专利技术通过设置第一卡槽、卡杆和第二卡槽，利用两侧的第一卡槽和第二卡槽一同夹持晶圆，利用三点定位进行固定，保证晶圆夹持的稳定，不易受到横向抖动的影响，同时间断设置的第一卡槽和第二卡槽，使得晶圆之间留有空隙，不产生堆叠。不产生堆叠。不产生堆叠。

【技术实现步骤摘要】
一种耐高温晶圆盒


[0001]本技术涉及晶圆存储领域，特别涉及一种耐高温晶圆盒。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品，晶圆的原始材料是硅，二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，晶圆在存储时需要使用到耐高温晶圆盒。
[0003]在现有的技术中，多数的耐高温晶圆盒在对晶圆进行存储时做到了耐高温，但是采用堆叠的方式对晶圆的存储，装置在存放时受到横向的抖动后，横向抖动会使得晶圆的存储不够稳定，晶体之间容易产生触碰，而影响晶圆的存储，因此我们公开了一种耐高温晶圆盒来解决上述出现的问题。

技术实现思路

[0004]本申请的目的在于提供一种耐高温晶圆盒，以解决上述
技术介绍
中提出的问题，本技术通过设置第一卡槽和第二卡槽，利用三点定位进行固定，保证晶圆夹持的稳定，不易受到横向抖动的影响，使得晶圆之间留有空隙，不产生堆叠。
[0005]为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：一种耐高温晶圆盒，包括两个固定座，两个所述固定座的两侧均安装有固定板，对应的两个所述固定板相对的一侧安装有侧板，两个所述侧板相对的一侧均开有多个第一卡槽，两个所述固定座相对的一侧靠近两端的位置均安装有卡杆，两个所述卡杆的顶部外壁上均开有多个第二卡槽，所述第二卡槽的数量与所述第一卡槽的数量相同，两个所述侧板的一侧开有多个散热孔，对应的两个所述固定板顶部设有防护机构。
[0006]基于上述结构，通过设置固定座、固定板、侧板、第一卡槽、卡杆和第二卡槽，利用两侧的第一卡槽和第二卡槽一同夹持晶圆，利用三点定位进行固定，保证晶圆夹持的稳定，不易受到横向抖动的影响，同时间断设置的第一卡槽和第二卡槽，使得晶圆之间留有空隙，不产生堆叠。
[0007]优选地，所述防护机构包括安装架，所述安装架安装在对应的两个所述固定板的顶部，所述安装架的两侧均开有卡口，对应的两个所述卡口安装有限位杆，两个所述限位杆的外壁上均套接有海绵棒。
[0008]进一步地，通过设置安装架、限位杆和海绵棒，海绵棒在限位杆外侧起到辅助限位的作用，同时海绵棒起到缓冲保护晶圆的作用。
[0009]优选地，两个所述固定座的顶部均安装有支撑杆，两个所述支撑杆的顶部均安装有固定块，两个所述固定块的顶端分别安装在两个所述安装架的底部。
[0010]进一步地，通过设置支撑杆和固定块，利用支撑杆和固定块将固定座与安装架相连，提高装置整体的支撑性能。
[0011]优选地，所述固定块的两侧均安装有连接杆，两个所述连接杆的一端分别安装在两个固定板的一侧。
[0012]进一步地，通过设置连接杆，利用连接杆将固定块与两侧的固定板相连，加强装置的整体性与连贯性。
[0013]优选地，两个所述固定板的一侧均安装有固定架，对应的两个固定架安装有夹持机构。
[0014]进一步地，通过设置夹持机构，利用夹持机构方便提取整个装置进行移动，从而方便将多个晶圆进行同时移动。
[0015]优选地，所述夹持机构包括插杆，所述插杆插接在对应的两个所述固定架的外壁上，所述插杆的外壁上套接有把手。
[0016]进一步地，通过设置插杆和把手，工作人员手握把手即可带动整个装置以及晶圆进行移动。
[0017]优选地，两个所述固定座的底部外壁上安装有橡胶垫板。
[0018]进一步地，通过设置橡胶垫板，橡胶垫板在底部起到保护的作用，对掉落物体起到缓冲支撑作用。
[0019]综上，本技术的技术效果和优点：
[0020]1、本技术中，通过设置固定座、固定板、侧板、第一卡槽、卡杆和第二卡槽，利用两侧的第一卡槽和第二卡槽一同夹持晶圆，利用三点定位进行固定，保证晶圆夹持的稳定，不易受到横向抖动的影响，同时间断设置的第一卡槽和第二卡槽，使得晶圆之间留有空隙，不产生堆叠。
[0021]2、本技术中，通过设置限位杆和海绵棒，海绵棒在限位杆外侧起到辅助限位的作用，同时海绵棒起到缓冲保护晶圆的作用，通过设置散热孔，方便装置以及晶圆的散热，通过设置的橡胶垫板，橡胶垫板在底部起到保护的作用，对掉落物体起到缓冲支撑作用，通过设置的把手，方便装置的拿取。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0023]图1为本技术中的立体结构示意图；
[0024]图2为本技术中的主视结构示意图；
[0025]图3为图1中A处放大结构示意图；
[0026]图4为本技术中的局部俯视结构示意图。
[0027]图中：1、固定座；2、固定板；3、安装架；4、散热孔；5、侧板；6、海绵棒；7、橡胶垫板；8、支撑杆；9、连接杆；10、插杆；11、固定架；12、固定块；13、限位杆；14、把手；15、第一卡槽；16、卡杆；17、第二卡槽。
具体实施方式
[0028]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0029]实施例：参考图1
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4所示的一种耐高温晶圆盒，包括两个固定座1，两个固定座1的两侧均安装有固定板2，对应的两个固定板2相对的一侧安装有侧板5，两个侧板5相对的一侧均开有多个第一卡槽15。
[0030]两个固定座1相对的一侧靠近两端的位置均安装有卡杆16，两个卡杆16的顶部外壁上均开有多个第二卡槽17，第二卡槽17的数量与第一卡槽15的数量相同，两个侧板5的一侧开有多个散热孔4，对应的两个固定板2顶部设有防护机构，通过设置第一卡槽15和第二卡槽17，利用三点定位进行固定，保证晶圆夹持的稳定，不易受到横向抖动的影响，使得晶圆之间留有空隙，不产生堆叠。
[0031]基于上述结构，通过设置固定座1、固定板2、侧板5、第一卡槽15、卡杆16和第二卡槽17，利用两侧的第一卡槽15和第二卡槽17一同夹持晶圆，利用三点定位进行固定，保证晶圆夹持的稳定，不易受到横向抖动的影响，同时间断设置的第一卡槽15和第二卡槽17，使得晶圆之间留有空隙，不产生堆叠。
[0032]本实施例中，如图1所示，防护机构包括安装架3，安装架3安装在对应的两个固定板2的顶部，安装架3的两侧均开有卡口，对应的两个卡口安装有限位杆13，两个限位杆13的外壁上均套接有海绵棒6，通过设置安装架3、限位杆13和海绵棒6，海绵棒6在限位杆13外侧起到辅助限位的作用，同本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种耐高温晶圆盒，包括两个固定座(1)，其特征在于：两个所述固定座(1)的两侧均安装有固定板(2)，对应的两个所述固定板(2)相对的一侧安装有侧板(5)，两个所述侧板(5)相对的一侧均开有多个第一卡槽(15)，两个所述固定座(1)相对的一侧靠近两端的位置均安装有卡杆(16)，两个所述卡杆(16)的顶部外壁上均开有多个第二卡槽(17)，所述第二卡槽(17)的数量与所述第一卡槽(15)的数量相同，两个所述侧板(5)的一侧开有多个散热孔(4)，对应的两个所述固定板(2)顶部设有防护机构。2.根据权利要求1所述的一种耐高温晶圆盒，其特征在于：所述防护机构包括安装架(3)，所述安装架(3)安装在对应的两个所述固定板(2)的顶部，所述安装架(3)的两侧均开有卡口，对应的两个所述卡口安装有限位杆(13)，两个所述限位杆(13)的外壁上均套接有海绵棒(6)。3.根据权利要求2所述的一种耐高温晶圆...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘红军，
申请(专利权)人：昆山英博尔电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：