本实用新型专利技术公开了一种稳定性好的开放式晶圆盒用夹具，涉及到夹具领域，包括基架，所述基架的顶部安装有升降机构，所述基架内转动安装有双向螺纹驱动机构，所述双向螺纹驱动机构上传动套接有两个移动机构，所述移动机构底端一侧安装有两个导向杆，所述导向杆滑动套接有夹持机构，所述导向杆远离所述移动机构的一端固定有第一限位块，所述第一限位块与所述夹持机构之间设置有夹持弹簧，所述夹持弹簧的两端分别与所述夹持机构和所述第一限位块的侧壁接触，所述基架的底部中心位置安装有多个固定杆，所述固定杆上滑动套接有防护机构。本实用新型专利技术能够在夹持工作时起到防护作用，避免初始挤压作用力过大，造成晶圆盒外壳发生变形。造成晶圆盒外壳发生变形。造成晶圆盒外壳发生变形。
【技术实现步骤摘要】
一种稳定性好的开放式晶圆盒用夹具
[0001]本技术涉及夹具领域，特别涉及一种稳定性好的开放式晶圆盒用夹具。
技术介绍
[0002]半导体、光伏、蓝宝石晶圆或硅片或蓝宝石片是一种非常贵重的产品，在运输过程中放入开放式晶圆盒或封闭式晶圆盒中进行运输，其中在开放式晶圆盒是其行业常见物品，在生产过程中大量周转，现在一般由人工搬取，或放入手推车，对其精细附加定位，然后推到机台边上下料，在搬放过程需要非常小心慢拿慢放，对操作人员的素质要求很高，而且效率低下，同时人工拿取有损伤或掉落，会给公司带来极大的效益损失。
[0003]随着工业机器人等智能装备技术的快速发展和劳动力成本的不断上升，行业对自动化生产制造的需求也越来越高，利用夹具对晶圆盒进行夹持转运工作，其中现有夹具在向下运动时与晶圆盒顶部接触，夹持工作上与晶圆盒侧壁接触，由于初始挤压作用力过大会造成晶圆盒侧壁变形，影响晶圆盒内物件的安全，不能够对初始挤压作用力进行缓冲，因此我们公开了一种稳定性好的开放式晶圆盒用夹具来解决上述出现的问题。
技术实现思路
[0004]本申请的目的在于提供一种稳定性好的开放式晶圆盒用夹具，以解决上述
技术介绍
中提出的问题，本技术通过在夹持工作时起到防护作用，避免初始挤压作用力过大，造成晶圆盒外壳发生变形。
[0005]为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：一种稳定性好的开放式晶圆盒用夹具，包括基架，所述基架的顶部安装有升降机构，所述基架内转动安装有双向螺纹驱动机构，所述双向螺纹驱动机构上传动套接有两个移动机构，所述移动机构底端一侧安装有两个导向杆，所述导向杆滑动套接有夹持机构，所述导向杆远离所述移动机构的一端固定有第一限位块，所述第一限位块与所述夹持机构之间设置有夹持弹簧，所述夹持弹簧的两端分别与所述夹持机构和所述第一限位块的侧壁接触，所述基架的底部中心位置安装有多个固定杆，所述固定杆上滑动套接有防护机构，所述固定杆的顶端套设有缓冲弹簧，所述固定杆的底端固定有第二限位块。
[0006]基于上述结构，通过设置升降机构能够带动两个夹持机构向下运动，直至防护机构对的底部与晶圆盒的顶部接触后，由于挤压作用力会对缓冲弹簧进行压缩，避免挤压作用力过大造成晶圆盒的顶部变形，双向螺纹驱动机构能够带动两个移动机构相互靠近，进而使得两个夹持机构之间的间距减小，实现夹持工作目的，当夹持机构的一侧与晶圆盒侧壁接触后由于挤压作用力会作用于导向杆上的夹持弹簧，夹持弹簧会对挤压作用力进行蓄能，避免初始挤压作用力过大，对晶圆盒侧壁起到防护作用，综上，能够在夹持工作时起到防护作用，避免初始挤压作用力过大，造成晶圆盒外壳发生变形。
[0007]优选地，所述夹持机构包括夹持板，所述夹持板活动套接在所述导向杆上。
[0008]进一步地，通过设置夹持板能够在双向螺纹驱动机构和移动机构带动下对晶圆盒
两侧进行夹持工作，实现装置的夹持目的。
[0009]优选地，所述夹持板的顶端一侧固定有限位杆，所述限位杆远离所述夹持板的一端与所述移动机构的一侧接触。
[0010]进一步地，通过设置限位杆能够对夹持板与移动机构之间的间距进行限位工作，实现夹持板的侧面支撑作用。
[0011]优选地，所述移动机构包括套管，所述套管螺纹套接在所述双向螺纹驱动机构上，所述套管的侧壁固定有驱动块，所述驱动块的一侧与所述导向杆的一端固定连接。
[0012]进一步地，通过设置套管能够在双向螺纹驱动机构的转动作用下配合驱动块进行横向运动，实现夹持板的夹持工作目的。
[0013]优选地，所述双向螺纹驱动机构包括双向丝杠，所述双向丝杠转动安装在所述基架内，所述双向丝杠的一端穿过所述基架的移动固定有传动齿轮，所述传动齿轮的顶部传动连接有动力输出机构。
[0014]进一步地，通过设置双向丝杠能够在动力输出机构带动下进行转动，对套管和驱动块提供螺纹驱动作用力，实现套管和驱动块横向运动工作目的。
[0015]优选地，所述动力输出机构包括驱动电机，所述驱动电机固定安装在所述基架的顶部，所述驱动电机的输出轴固定有与所述传动齿轮啮合的驱动齿轮。
[0016]进一步地，通过设置驱动电机能够带动驱动齿轮进行转动，进而带动传动齿轮进行传动，驱动齿轮带动双向丝杠进行转动，为双向丝杠的转动工作提供驱动力。
[0017]优选地，所述防护机构包括活动板，所述活动板活动套设在所述固定杆上，所述缓冲弹簧的底端与所述活动板的顶部接触，所述活动板的底部固定有挤压块。
[0018]进一步地，通过设置挤压块能够在与晶圆盒底部接触后带动活动板在固定杆上滑动并对缓冲弹簧进行压缩，实现缓冲防护工作目的。
[0019]综上，本技术的技术效果和优点：
[0020]1、本技术中，通过设置升降机构能够带动两个夹持机构向下运动，直至防护机构对的底部与晶圆盒的顶部接触后，由于挤压作用力会对缓冲弹簧进行压缩，避免挤压作用力过大造成晶圆盒的顶部变形，双向螺纹驱动机构能够带动两个移动机构相互靠近，进而使得两个夹持机构之间的间距减小，实现夹持工作目的，当夹持机构的一侧与晶圆盒侧壁接触后由于挤压作用力会作用于导向杆上的夹持弹簧，夹持弹簧会对挤压作用力进行蓄能，避免初始挤压作用力过大，对晶圆盒侧壁起到防护作用，综上，能够在夹持工作时起到防护作用，避免初始挤压作用力过大，造成晶圆盒外壳发生变形。
[0021]2、本技术中，通过设置夹持板能够在双向螺纹驱动机构和移动机构带动下对晶圆盒两侧进行夹持工作，实现装置的夹持目的，套管能够在双向螺纹驱动机构的转动作用下配合驱动块进行横向运动，实现夹持板的夹持工作目的。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0023]图1为本技术的剖面结构示意图；
[0024]图2为本技术中夹持机构的立体示意图；
[0025]图3为本技术中防护机构的立体示意图；
[0026]图4为本技术中夹持工作的结构示意图。
[0027]图中：1、基架；2、双向丝杠；3、套管；4、驱动块；5、升降机构；6、驱动电机；7、驱动齿轮；8、传动齿轮；9、限位杆；10、导向杆；11、夹持弹簧；12、第一限位块；13、夹持板；14、固定杆；15、缓冲弹簧；16、挤压块；17、活动板；18、第二限位块。
具体实施方式
[0028]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0029]实本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种稳定性好的开放式晶圆盒用夹具，包括基架(1)，所述基架(1)的顶部安装有升降机构(5)，其特征在于：所述基架(1)内转动安装有双向螺纹驱动机构，所述双向螺纹驱动机构上传动套接有两个移动机构，所述移动机构底端一侧安装有两个导向杆(10)，所述导向杆(10)滑动套接有夹持机构，所述导向杆(10)远离所述移动机构的一端固定有第一限位块(12)，所述第一限位块(12)与所述夹持机构之间设置有夹持弹簧(11)，所述夹持弹簧(11)的两端分别与所述夹持机构和所述第一限位块(12)的侧壁接触，所述基架(1)的底部中心位置安装有多个固定杆(14)，所述固定杆(14)上滑动套接有防护机构，所述固定杆(14)的顶端套设有缓冲弹簧(15)，所述固定杆(14)的底端固定有第二限位块(18)。2.根据权利要求1所述的一种稳定性好的开放式晶圆盒用夹具，其特征在于：所述夹持机构包括夹持板(13)，所述夹持板(13)活动套接在所述导向杆(10)上。3.根据权利要求2所述的一种稳定性好的开放式晶圆盒用夹具，其特征在于：所述夹持板(13)的顶端一侧固定有限位杆(9)，所述限位杆(9)远离所述夹持板(13)的一端与所述移动机构的一侧接...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘红军，
申请(专利权)人：昆山英博尔电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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