用于晶圆的退火舟以及退火装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种用于晶圆的退火舟以及退火装置，所述用于晶圆的退火舟包括基座和设置在基座表面的一圆弧形侧壁，所述侧壁上平行设置有多个水平凹槽，所述凹槽内壁上设置有至少三个的突起。本实用新型专利技术的优点在于，实现了在卧式炉上让晶圆水平进行热处理，舟在放置于桨的一端时，即使桨发生翘曲差异，也不会造成晶圆的倾斜，不会对晶圆侧面造成损伤，且晶圆侧边也不再承担本身重量，有效减少崩边和缺口等现象。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术是关于一种晶圆加固舟，特别涉及一种能够降低晶圆在退火过程中表面损伤的用于晶圆的退火舟以及退火装置。
技术介绍
晶圆的退火加固エ艺中需要将晶圆置于专门的支架上，业内通常将此加固架称之为“舟”。附图IA所示是现有技术中ー种典型采用加固舟的退火装置结构示意图，包括桨 11、舟12和晶圆13。桨11水平放置，一端固定在可以前后移动的导轨(未图示)上，另一端悬空可以自由进出炉管(未图示)进行热处理。舟12放置于桨11的悬空端，并具有U型卡槽。晶圆13垂直放入舟12的U型卡槽内。附图IB所示是沿附图IA箭头所示方向的舟12和晶圆13的位置关系视图，从附图IB可以看出，晶圆13的重量仅Φ晶圆13与舟12的几个接触点支持。现有技术的缺点在于晶圆13垂直放置，与舟12的接触点承受硅片的重量，高温过程中，晶圆13侧边会有损伤；如果是在氧气气氛中退火，晶圆13与舟12接触部分，在高温氧化过程中，接触到的氧气较少，氧化层必然较薄，后续腐蚀エ艺会将此差异放大，造成侧边亮点；晶圆13重量导致桨11发生弹性形变，装片多桨悬空端下降，装片少悬空端上升，晶圆13不会完全竖直，要么前倾，要么后仰，倾斜会造成晶圆本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于晶圆的退火舟，其特征在于，包括基座和设置在基座表面的一圆弧形侧壁，所述侧壁上平行设置有多个水平凹槽，所述凹槽内壁上设置有至少三个的突起。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：叶斐，王中党，蒋爱国，
申请(专利权)人：上海新傲科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：