用于在处理腔中对物体进行退火的装置和方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及用于对物体（２、１５）进行退火的一种装置（１）和一种方法。在此按本发明专利技术使用暂时的过程盒（１１），由此在投资成本低的同时克服了以往已知的退火的缺点，尤其实现了退火的高的可再现性和高的产量，从而在总体上以非常有利的成本实现退火过程。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种按权利要求1前序部分所述的用于对物体进行退火的装置和一种按权利要求13前序部分所述的用于对物体进行退火的方法。
技术介绍
退火方法以多种多样的方式用在物体上，用于比如在薄膜太阳能电池上调节特定的化学的和/或物理的特性。因此基于黄铜矿半导体(比如Cdr^e2，简称“CIS”)的太阳能模块属于用于成本显著更加有利的太阳能发电设备的前景极为广阔的竞争产品。这样的薄膜太阳能模块作为主要的组成部分至少具有基片(比如玻璃、陶瓷、金属薄膜或塑料薄膜)、第一电极(比如 Mo或者金属氮化物)、吸收层(比如Cuhk2或者更为一般的(Ag、Cu) (In.Ga.Al) (Se、S)2)、 正面电极(比如ZnO或者SnO2)以及封装和覆盖材料(比如EVA/玻璃或者PVB/玻璃，其中 EVA代表乙烯-醋酸乙烯共聚物并且PVB代表聚乙烯醇缩丁醛)，其中下面相应地注明用于特定的元素的化学符号，比如“Mo”代表钼或者“Se”代表硒。其它的层比如处于玻璃与钼之间的碱阻挡层或者吸收器与窗层之间的缓冲层可以用于提高效率和/或长期稳定性。典型的薄膜太阳能模块的另一个重要的组成部分是集成的串联线路，所述串本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．用于对至少一个物体尤其对具有至少两个层（２、１５）的多层体进行退火的装置（１），具有带有腔室（１７）的处理腔（３）、至少一个能源（１０）和过程罩（１１），所述过程罩（１１）定义了过程室（１６），所述物体（２、１５）能够至少部分地布置在该过程室（１６）中，其中，所述过程罩（１１）相对于所述腔室（１７）的容积减少了所述过程室（１６）的容积，在所述过程室（１６）中对所述物体（２、１５）的至少一部分进行退火，其特征在于，所述过程罩（１１）至少构造为静止地布置在所述处理腔（３）中的盖板（１２）。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：J·帕尔姆，
申请(专利权)人：法国圣戈班玻璃厂有限公司，
类型：发明
国别省市：FR