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本实用新型提供了一种用于晶圆的退火舟以及退火装置，所述用于晶圆的退火舟包括基座和设置在基座表面的一圆弧形侧壁，所述侧壁上平行设置有多个水平凹槽，所述凹槽内壁上设置有至少三个的突起。本实用新型的优点在于，实现了在卧式炉上让晶圆水平进行热处理，...
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