排气装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种排气装置，其包括：晶圆盒，其用于堆栈晶圆；排放器，其用于排出堆栈于晶圆盒内的晶圆的气体，其中，晶圆盒包括堆栈架，堆栈架设置在两侧，用于堆栈晶圆；以及前开口，以供堆栈于堆栈架内的晶圆的进出，其中，堆栈架包括多个倾斜的斜面部分，斜面部分随其向着前开口移动而向着堆栈于堆栈架内的晶圆方向倾斜，其中，净化气体出口其设置在倾斜的斜面部分内，用于将净化气体供应给堆栈于堆栈架内的晶圆。根据本发明专利技术，能够有效地移除晶圆上的剩余工艺气体。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种排气装置。
技术介绍
一般来说，半导体工艺包括光刻、沉积、刻蚀等，而这些工艺大部分都会在充满工艺气体的情况下进行。大部分的工艺气体会在工艺过程中排出。然而，有些气体仍会残留在晶圆表面上，造成晶圆的损坏或工艺仪器的污染。为了解决上述问题，本案申请人先前所申请并注册的第10-1294143号韩国专利揭示了一种晶圆处理装置，其中气体移除功能内建于EFEM盒中。然而，该晶圆处理装置的缺点在于无法均匀地移除晶圆表面上的所有气体。
技术实现思路
技术问题本专利技术提供一种排气装置，该排气装置可移除晶圆上的剩余工艺气体。技术方案依据本专利技术的一个示例性实施例，一种排气装置包括：晶圆盒，其用于堆栈晶圆；以及排放器，其用于排出堆栈于晶圆盒内的晶圆的气体，其中，晶圆盒包括：堆栈架，其设置于两侧，用于堆栈晶圆；以及前开口，以供堆栈于堆栈架内的晶圆的进出，其中堆栈架包括多个倾斜的斜面部分，斜面部分随其向着前开口移动而向着堆栈于堆栈架内的晶圆方向倾斜，其中净化气体出口设置在该倾斜的斜面部分内，用于将净化气体供应给堆栈于堆栈架内的晶圆。当从前开口观看时，设置在两侧的堆栈架之间的间距小于堆栈于晶圆盒内的晶圆的直径。设置多个净化气体排放器，且净化气体排放器的至少一部分设置在倾斜的斜面部分，并且堆栈架还包括用于使进入堆栈架的净化气体流入净化气体排放器的净化气体流动路径。净化气体流动路径还包括主要流动路径和多个分支流动路径，多个分支流动路径从主要流动路径分支成多个独立净化气体出口，并且每个分支流动路径被布置为与主
要流动路径之间形成钝角。设置多个净化气体出口，且多个净化气体出口的至少一部分设置在倾斜的斜面部分，其中，设置多个净化气体出口，使得布置为较接近前开口的净化气体出口的直径相对大于其它净化气体出口的直径。将堆栈架垂直间隔开，使得晶圆垂直堆栈于晶圆盒内。将净化气体出口设置给每个垂直间隔开的堆栈架，使得净化气体被供应给垂直堆栈的每个晶圆。。堆栈架还可以包括用于支撑晶圆的销。晶圆盒可以设置为使得其至少一部分可为透明的。冲孔板设置在背面，与晶圆盒和排放器相通，其中，冲孔板包括数组的空气吸入孔，数组的空气吸入孔的宽度随着越向上面区域移动而增加。排放器可以包括压缩空气排放器，压缩空气排放器通过供应压缩空气来控制积聚于晶圆盒内的气体的排出气压。与用于检测气体的排出压力的排气压力传感器相通的管子设置在压缩空气排放器的内部。管子的尾端可以设置为使得其指向经由压缩空气排放器排出的气体的方向。在晶圆盒的内部还可以包括第一传感器，第一传感器用于检测是否有任何晶圆存在于晶圆盒中。还可以包括第二传感器，第二传感器用于检测堆栈于晶圆盒内的晶圆是否堆栈于正确的位置。还可以包括照明单元，照明单元用于照亮晶圆盒的内部。还可以包括加热组件，其用于加热晶圆盒的内部，其中加热组件包括：上部加热器，其设置在晶圆盒的外壳的上表面上；下部加热器，其设置在晶圆盒的外壳的下表面上；以及加热棒，其设置在晶圆盒的外壳的侧面上。根据本专利技术的另一个示例性实施例，一种排气装置包括：本体；晶圆盒，其以可拆卸方式地设置在本体内，用于堆栈晶圆；以及排放器，其设置在该本体内，用于排出堆栈于晶圆盒内部的晶圆的气体，其中，晶圆盒包括：外壳，其用于将堆栈于晶圆盒内的晶圆从上到下及旁边都包围起来；堆栈架，其设置在两侧且彼此垂直间隔开，用于堆栈多个晶圆；以及冲孔板，其设置在外壳的背面，与晶圆盒和排放器相通，其中，堆栈架包括净化气体出口，净化气体出口独立地设置给每个堆栈架，使堆栈架可作多个组合，用于供应净化气体；以及净化气体通过在堆栈的晶圆之间流动而不泄漏到晶圆盒的外部的方式经由冲孔板排出。堆栈架还可以包括用于最小化晶圆支撑区域的销。堆栈架的宽度可对应于堆栈于该销上晶圆的间隔及与该外壳两边的空间。还可以包括框架，框架用于通过将晶圆盒与本体连接，以防止净化气体流入晶圆盒和本体之间的空间。还可以包括底座，底座设置在晶圆盒和本体之间，并能够调节水平位置，其中，晶圆盒以可拆卸方式地设置在底座上。晶圆盒还可以包括数字水平脚座，当数字水平脚座设置在底座上时，如果水平位置不适当，就会输出异常信号。该本体包括用于从外部供应净化气体的净化气体进气孔。晶圆盒包括净化气体进气接头，净化气体进气接头具有与净化气体进气孔相对应的形状，并且选择性地与净化气体进气孔耦合。当该气体进气接头与净化气体进气孔耦合时，净化气体经由净化气体进气接头排出到堆栈架的净化气体出口。净化气体出口包括凸起，并且净化气体进气接头包括凹槽，凹槽具有与所述凸起相对应的形状。当净化气体进气接头耦合到净化气体进气孔时，所述凸起被插入凹槽内。可旋转的脚轮和通过垂直移动来固定本体的水平脚座安装在本体的底部。接口单元设置在本体的外侧，而接口单元可以包括用于显示操作状态的显示单元。接口单元还可以包括能够与外部相通的通信端口。在本体内设置有用于连接晶圆盒与排放器的气体出口，并且气体出口的位置是可变的。依据本专利技术的另一个示例性实施例，一种排气装置，包括：晶圆盒，其用于堆栈晶圆；以及排放器，其用于排出堆栈于晶圆盒内的晶圆的气体，其中，晶圆盒包括：堆栈架，其设置在两侧，用于堆栈晶圆；以及净化气体进气孔，其设置在堆栈架内，用于将净化气体供应给堆栈于堆栈架内的晶圆，其中，排放器可以包括压缩空气排放器，压缩空气排放器通过供应流体来控制积聚于晶圆盒内的气体的排出速度。压缩空气排放器可以包括：压缩空气出口，供给的流体经由其流入压缩空气排放器；以及压缩空气过渡区，其形成为使得供给的流体均匀地流入压缩空气出口。压缩空气排放器还可以包括扩展部，扩展部向着气体的排出方向扩展，以便引导流入到压缩空气出口的流体的方向。压缩空气出口的尺寸可以是可变的。还可以包括：调节器，其用于控制由压缩空气排放器供给的流体的压力；以及排气
压力传感器，其用于检测气体的排出压力，其中，通过将由排气压力传感器测量出的气体的排出压力与大气压力相比较来控制调节器。管子设置在压缩空气排放器内部包括一，用于与排气压力传感器相通，并且管子的尾端设置为使得其取向于经由压缩空气排放器排出的气体的方向。在晶圆盒内设置有冲孔板，冲孔板包括与排放器相通的多个空气吸入孔。从冲孔板通过的晶圆气体由具有至少部分的流线型形状的上部斗槽引导而流向排放器。由上部斗槽所引导的流向排放器的气体可以由排放器的下部斗槽再次引导并排出。专利技术的有益效果依据本专利技术，晶圆上的剩余工艺气体可有效的被移除。附图说明图1为图示了依据本专利技术的一个示例性实施例的一种排气装置的透视图。图2为图示了依据本专利技术的一个示例性实施例的一种排气装置的透视图。图3为图示了依据本专利技术的一个示例性的实施例的一种排气装置的分解透视图。图4(a)为图示了依据本专利技术的一个示例性实施例的一种排气装置的上部本体的结构的透视图，而图4(b)为沿着线I-I’截取的剖视图。图5为图示了依据本专利技术的一个示例性实施例的一种排气装置的上部本体的结构的平面视图。图6为图示了依据本专利技术的一个示例性实施例的一种排气装置的仰视图。图7为图示了依据本专利技术的一个示例性实施例的一种排气装置的晶圆盒的透视图。图8为图示了依据本专利技术的一个示例性实施例的一种排气装置的晶圆盒的透视图和分解透视图。图9为图示本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种排气装置，包括：晶圆盒，其用于堆栈晶圆；以及排放器，其用于排出堆栈于晶圆盒内的晶圆的气体，其中，晶圆盒包括：堆栈架，其设置在两侧，用于堆栈晶圆；以及前开口，用于使得堆栈于堆栈架内的晶圆的进出，其中，堆栈架包括多个倾斜的斜面部分，斜面部分随其向着前开口移动而向着堆栈于堆栈架内的晶圆方向倾斜，其中，净化气体出口设置在该倾斜的斜面部分内，用于将净化气体供应给堆栈于堆栈架内的晶圆。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.01.21 KR 10-2014-00073681.一种排气装置，包括：晶圆盒，其用于堆栈晶圆；以及排放器，其用于排出堆栈于晶圆盒内的晶圆的气体，其中，晶圆盒包括：堆栈架，其设置在两侧，用于堆栈晶圆；以及前开口，用于使得堆栈于堆栈架内的晶圆的进出，其中，堆栈架包括多个倾斜的斜面部分，斜面部分随其向着前开口移动而向着堆栈于堆栈架内的晶圆方向倾斜，其中，净化气体出口设置在该倾斜的斜面部分内，用于将净化气体供应给堆栈于堆栈架内的晶圆。2.如权利要求1所述的排气装置，其中，当从前开口观看时，设置在两侧的堆栈架之间的间距小于堆栈于晶圆盒内的晶圆的直径。3.如权利要求1所述的排气装置，其中，设置多个净化气体排放器，且净化气体排放器的至少一部分设置在倾斜的斜面部分；堆栈架还包括用于使进入堆栈架的净化气体流入净化气体排放器的净化气体流动路径；净化气体流动路径还包括主要流动路径和多个分支流动路径，多个分支流动路径从主要流动路径分支成多个独立净化气体出口；以及每个分支流动路径被布置为与主要流动路径之间形成钝角。4.如权利要求1所述的排气装置，其中，设置多个净化气体出口，且多个净化气体出口的至少一部分设置在倾斜的斜面部分，其中，设置多个净化气体出口，使得布置为较接近前开口的净化气体出口的直径相对大于其它净化气体出口的直径。5.如权利要求1所述的排气装置，其中，将堆栈架垂直间隔开，使得晶圆垂直堆栈于晶圆盒内；以及将净化气体出口设置给每个垂直间隔开的堆栈架，使得净化气体被供应给垂直堆栈
\t的每个晶圆。6.如权利要求1所述的排气装置，其中，堆栈架还包括用于支撑晶圆的销。7.如权利要求1所述的排气装置，其中，晶圆盒设置为使得其至少一部分为透明的。8.如权利要求1所述的排气装置，其中，冲孔板设置在背面，与晶圆盒和排放器相通，其中，冲孔板包括空气吸入孔阵列，空气吸入孔阵列的宽度随着越向上面区域移动而增加。9.如权利要求1所述的排气装置，其中排放器包括压缩空气排放器，压缩空气排放器通过供应压缩空气来控制积聚于晶圆盒内的气体的排出气压。10.如权利要求1所述的排气装置，其中，与用于检测气体的排出压力的排气压力传感器相通的管子设置在压缩空气排放器的内部。11.如权利要求1所述的排气装置，其中，在晶圆盒的内部还包括第一传感器，第一传感器用于检测是否有任何晶圆存在于晶圆盒中。12.如权利要求1所述的排气装置，其中，还包括第二传感器，第二传感器用于检测堆栈于晶圆盒内的晶圆是否堆栈于正确的位置。13.如权利要求1所述的排气装置，其中，还包括照明单元，照明单元用于照亮晶圆盒的内部。14.如权利要求1所述的排气装置，其中，还包括加热组件，其用于加热晶圆盒的内部，其中，加热组件包括：上部加热器，其设置在晶圆盒的外壳的上表面上；下部加热器，其设置在晶圆盒的外壳的下表面上；以及加热棒，其设置在晶圆盒的外壳的侧面上。15.一种排气装置，包括：本体；晶圆盒，其以可拆卸方式设置在本体内，用于堆栈晶圆；以及排放器，其设置在该本体内，用于排出堆栈于晶圆盒内部的晶圆的气体，其中，晶圆盒包括：外壳，其用于将堆栈于晶圆盒内的晶圆从上到下及旁边都包围起来；堆栈架，其设置在两侧且彼此垂直间隔开，用于堆栈多个晶圆；以及冲孔板，其设置在外壳的背面，与晶圆盒和排放器相通，其中，堆栈架包括净化气体出口，净化气体出口独立地设置给每个堆栈架，使堆栈架具有多个组合，用于供应净化气体；以及净化气体通过在堆栈的晶圆之间流动而不泄漏...

【专利技术属性】
技术研发人员：禹范济，金相铉，韩命锡，金荣喆，
申请(专利权)人：禹范济，
类型：发明
国别省市：韩国;KR