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本发明涉及一种排气装置，其包括：晶圆盒，其用于堆栈晶圆；排放器，其用于排出堆栈于晶圆盒内的晶圆的气体，其中，晶圆盒包括堆栈架，堆栈架设置在两侧，用于堆栈晶圆；以及前开口，以供堆栈于堆栈架内的晶圆的进出，其中，堆栈架包括多个倾斜的斜面部分，斜...
该专利属于禹范济所有，仅供学习研究参考，未经过禹范济授权不得商用。

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