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本发明涉及一种晶圆的测试设备，具体地说是一种通过负压吸附的方式对晶圆在测试时实现固定的测试台晶圆吸盘装置。按照本发明提供的技术方案，在负压吸盘与隔热盘之间设置有加热器，在负压吸盘上表面设有若干负压气槽，在负压吸盘内设有与负压气槽连通的负压气...
该专利属于无锡市易控系统工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡市易控系统工程有限公司授权不得商用。

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