【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种可对各规格晶圆进行测试及判别、使得晶圆测试的操作结 果符合晶圆的产品标准的全自动各规格晶圆测试及判别装置。技术背景随着科技的进步与发展,半导体技术已普遍的被大众所使用,半导体产品 也就大量的出现,作为半导体产品的基础元器件-晶圆也大量的生产出来,使得 晶圆测试的操作结果符合晶圆片的产品标准,通过人工的完成需要花费许多的 时间与人力,对于测试的效率就会造成很大的影响,因此,出现了半自动晶圆 测试装置提高了测试的效率。但是,平自动测试装置在测试的效率以及准确上 还是不够的。首先,在放置晶圆时它还是要通过人工来实现,这样测试的效率 也就相应的降低了,其次,由于是人工放置晶圆势必在测试时的一致性上就会 有所欠缺,这也就影响了测试的准确性。因此,有需要开发一种全自动各规格 晶圆探针装置,以解决上述问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服现有技术中存在的不足,提供一种效率高、准确性好 的全自动各规格晶圆测试及判别装置。按照本专利技术提供的技术方案,在机架上设置置片及数片装置,在置片及数 片装置一侧的机架上设有晶圆传输装置,在晶圆传输装置一侧设有与其配合的 晶圆测试平台装置,所述晶圆传输装置包括在旋转轴上设置的转盘,转盘上设 有支架,在支架上横向架设若干根滑轨,在滑轨上滑动连接取片钳,在取片钳 下方设有升降板及其升降驱动装置,升降板和固定设置的导杆滑动连接,在升 降板上转动连接有检测转轴,检测转轴的顶端部设有吸盘装置,检测转轴与其 转动驱动装置相连;所述晶圆测试平台装置包括在底架上设置的横向直线导轨, 横向直线导轨上设有与其滑动连接的底板,在底 ...
【技术保护点】
一种全自动各规格晶圆测试及判别装置,包括设置在机架(4)上的置片及数片装置(1),其特征是:在置片及数片装置(1)一侧的机架(4)上设有晶圆传输装置(2),在晶圆传输装置(2)一侧设有与其配合的晶圆测试平台装置(3),所述晶圆传输装置(2)包括在旋转轴(201)上设置的转盘(202),转盘(202)上设有支架(203),在支架(203)上横向架设若干根滑轨(204),在滑轨(204)上滑动连接取片钳(205),在取片钳(205)下方设有升降板(206)及其升降驱动装置,升降板(206)和固定设置的导杆(207)滑动连接,在升降板(206)上转动连接有检测转轴(208),检测转轴(208)的顶端部设有吸盘装置(209),检测转轴(208)与其转动驱动装置相连;所述晶圆测试平台装置(3)包括在底架(302)上设置的横向直线导轨(305),横向直线导轨(305)上设有与其滑动连接的底板(309),在底架(304)上设有底板(309)的滑动驱动装置,在底板(309)上设有与横向直线导轨(305)垂直的纵向直线导轨(312),纵向直线导轨(312)上滑动连接有支承板(314)及其滑动驱动装置,支 ...
【技术特征摘要】
1、一种全自动各规格晶圆测试及判别装置,包括设置在机架(4)上的置片及数片装置(1),其特征是在置片及数片装置(1)一侧的机架(4)上设有晶圆传输装置(2),在晶圆传输装置(2)一侧设有与其配合的晶圆测试平台装置(3),所述晶圆传输装置(2)包括在旋转轴(201)上设置的转盘(202),转盘(202)上设有支架(203),在支架(203)上横向架设若干根滑轨(204),在滑轨(204)上滑动连接取片钳(205),在取片钳(205)下方设有升降板(206)及其升降驱动装置,升降板(206)和固定设置的导杆(207)滑动连接,在升降板(206)上转动连接有检测转轴(208),检测转轴(208)的顶端部设有吸盘装置(209),检测转轴(208)与其转动驱动装置相连;所述晶圆测试平台装置(3)包括在底架(302)上设置的横向直线导轨(305),横向直线导轨(305)上设有与其滑动连接的底板(309),在底架(304)上设有底板(309)的滑动驱动装置,在底板(309)上设有与横向直线导轨(305)垂直的纵向直线导轨(312),纵向直线导轨(312)上滑动连接有支承板(314)及其滑动驱动装置,支承板(314)上设有晶圆吸附及卸落装置(6),在晶圆吸附及卸落装置(6)的上方铰接有探针架(301),在晶圆吸附及卸落装置(6)一侧的支架(304)上设有光学定位识别装置的安装槽(303)。2、 如权利要求l所述的全自动各规格晶圆测试及判别装置,其特征是晶 圆传输装置(2)中的吸盘装置(209)上表面设有若干负压气槽(210),在负 压气槽(210)内设有与负压气槽(210)连通的负压气孔(211),在旋转轴(201) 底端部设有负压气管接头(212),所述的负压气管接头(212)与负压气孔(211) 连通,所述负压气槽(210)为吸盘装置(209)上表面开设的同心圆槽体。3、 如权利要求l所述的全自动各规格晶圆测试及判别装置,其特征是晶 圆传输装置(2)中的取片钳(205)在滑轨(204)设有若干个,它们呈层叠状 设置在同一竖直平面内,取片钳(205)的下端固定设有与滑轨(204)滑动连 接的滑块(213),在滑块(213)的侧边设有伸出的夹片(214),所述的夹片(214) 装夹在驱动带(215)上,在取片钳(205)后端部设有负压接头(216),在取 片钳(205)的钳体部位开设有与负压接头(216)连通的负压孔(217),升降 板(206)的升降驱动装置为设置在转盘(202)与支架(203)之间的丝杆(218), 在丝杆(218)的两侧各设一根导杆(207)。4、 如权利要求l所述的全自动各规格晶圆测试及判别装置,其特征是晶 圆测试平台装置(3)中的晶圆吸附及卸落装置(6)包括机架的纵向方向设置 的管状内套(601)顶端设置的晶圆吸盘装置(629),所述的内套(601)与升 降装置与旋转装置相连,该晶圆吸盘装置(629)包括在负压吸盘(635)与隔 热盘(636)之间设置的加热器(6...
【专利技术属性】
技术研发人员:单晔,孙盘泉,董晓清,戴京东,陈仲宇,
申请(专利权)人:无锡市易控系统工程有限公司,
类型:发明
国别省市:32[中国|江苏]
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