The utility model belongs to the technical field of optical synthesis apparatus for wafer defect detection, structure light consists of light source, the light source is used for emitting light detection; beam splitter, the beam splitter receives the light detection, the detection of light beam, two beam forming the first road; the mirror, the first reflector receives the two beams, and the two beams in a symmetrical way transmission, so that the two beams from different direction oblique to be measured on the wafer, the formation of the spot; the two beams and the angle between the normals of the same vertical test wafer, the the two beams in the measurement of the light spot formed on the wafer completely overlapped; the two beams from the beam splitter to the measured optical path on the wafer after the same. The technical problem solved by the utility model is to provide a structure light synthesizing device for wafer defect detection, and simultaneously realize coherent beam synthesis and oblique incidence, and the light period of the structure is easy to adjust.
【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆缺陷检测的结构光合成装置
本技术涉及光学
,尤其涉及一种用于晶圆缺陷检测的结构光合成装置。
技术介绍
产生特定空间分布光束的方法主要有两种:使用空间光调制器以及通过相干光合成,这两种方法均有各自的优劣:采用空间光调制器可对每个像素点的光独立调制,能产生各种复杂空间分布的光束,但光束结构最小尺寸受像素点尺寸限制;通过相干光合成的方法成本较低,可产生的光束空间最小周期与光波波长同一量级,但产生光束分布种类有限,现有技术没有同时实现相干光束合成与斜入射,且光周期易调的应用。
技术实现思路
本技术解决的技术问题是提供一种用于晶圆缺陷检测的结构光合成装置,同时实现相干光束合成与斜入射,且结构光周期易调节。本申请实施例提供一种用于晶圆缺陷检测的结构光合成装置,包括:光源,所述光源用于发出检测光;分束器,所述分束器接收所述检测光,将所述检测光进行分束,形成两路光束;第一反射镜,所述第一反射镜接收所述两路光束,并将所述两路光束以对称方式传输,使所述两路光束从不同方向斜入射至待测晶圆上,形成光斑;其中,所述两路光束与所述待测晶圆垂直法线之间的夹角相同,所述两路光束在所述待测晶圆上形成的所述光斑完全重叠;所述两路光束从所述分束器至所述待测晶圆上经过的光程相同。优选的,所述光源为连续输出的激光光源或者准连续输出的激光光源。优选的,所述光路还可以包括功率偏振调节模块,所述功率偏振调节模块排布在所述光源后,所述功率偏振调节模块用于将所述光源调节为功率稳定的p偏振光。优选的,所述光路还可以包括排布在所述光源和所述分束器之间的第二反射镜,所述第二反射镜接收所述检测光,并改变所 ...
【技术保护点】
一种用于晶圆缺陷检测的结构光合成装置,其特征在于,包括:光源,所述光源用于发出检测光;分束器,所述分束器接收所述检测光,将所述检测光进行分束,形成两路光束;第一反射镜,所述第一反射镜接收所述两路光束,并将所述两路光束以对称方式传输,使所述两路光束从不同方向斜入射至待测晶圆上,形成光斑;其中,所述两路光束与所述待测晶圆垂直法线之间的夹角相同,所述两路光束在所述待测晶圆上形成的所述光斑完全重叠;所述两路光束从所述分束器至所述待测晶圆上经过的光程相同。
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆缺陷检测的结构光合成装置,其特征在于,包括:光源,所述光源用于发出检测光;分束器,所述分束器接收所述检测光,将所述检测光进行分束,形成两路光束;第一反射镜,所述第一反射镜接收所述两路光束,并将所述两路光束以对称方式传输,使所述两路光束从不同方向斜入射至待测晶圆上,形成光斑;其中,所述两路光束与所述待测晶圆垂直法线之间的夹角相同,所述两路光束在所述待测晶圆上形成的所述光斑完全重叠;所述两路光束从所述分束器至所述待测晶圆上经过的光程相同。2.如权利要求1所述的用于晶圆缺陷检测的结构光合成装置,其特征在于,所述光源为连续输出的激光光源或者准连续输出的激光光源。3.如权利要求1所述的用于晶圆缺陷检测的结构光合成装置,其特征在于,所述装置还可以包括功率偏振调节模块,所述功率偏振调节模块排布在所述光源后,所述功率偏振调节模块用于将所述光源调节为功率稳定的p偏振光。4.如权利要求1所述的用于晶圆缺陷检测的结构光合成装置,其特征在于,所述装置还可以包括排布在所述光源和所...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈鲁,刘虹遥,张朝前,马砚忠,杨乐,路鑫超,
申请(专利权)人:中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心,
类型:新型
国别省市:浙江,33
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