下载一种晶圆测试系统的技术资料

文档序号:15544099

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本发明提供一种晶圆测试系统,包括:探针台,用于得到当前位置坐标,并将测试结果进行显示;工作站,用于将所述当前位置坐标和开始测试指令发送给测试机,并接收测试机的测试结果;测试机,用于根据当前位置坐标开始测试;探针台接收器,用于接收测试结果;探...
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