【技术实现步骤摘要】
本公开涉及半导体，具体而言，涉及一种探针卡以及芯片测试系统。
技术介绍
1、cp(chip probe)测试是为了检验集成电路设计规格的一致性而在晶圆切割之前进行的电参数测量与性能测试，是半导体集成电路加工环节中的一个重要环节。cp测试系统是一套精密的测试设备，通常包括三个部分：测试机(tester)、探针台(prober)、探针卡(probe card)。其中，测试机连接探针卡，提供测试信号；探针台承载着测试晶圆并与探针卡连接，从而达到测试晶圆的目的。正常情况下，测试机向芯片输入一串电信号后，芯片端会输出一系列电信号，测试机接收到芯片输出后，可以进行电压或电流等的量测与比较，从而根据量测的结果判断芯片功能或参数是否合格。如果测试机接收到的反馈信号与预期一致，则该测试项合格；如果测试机接收到的信号与预期不一致，则该测试项失效。测试的过程中，如果测试项失效，可能需要进一步排查测试项失效的原因，然而，现有的cp测试系统在排查的过程中，往往效率较低，无法快速、精确地排查出问题所在。
技术实现思路
1、本公开的目的在于提供一种探针卡以及芯片测试系统，能够快速、精确地排查测试项失效的原因，提高测试及调试进度。具体方案如下：
2、根据本公开的具体实施方式，第一方面，提供一种探针卡包括：基板，包括工作面，所述基板设置有印刷电路；探针，设置在所述基板的工作面；测试机通道，设置在所述基板的工作面，用于连接测试机；探针通道，设置在所述基板的工作面，与所述测试机通道通过所述基板上的电路电连接
3、可选的，所述可控开关为多路选择开关，所述多路选择开关的一端连接所述引线预置端，所述多路选择开关的多路选择端分别连接不同的所述测试机通道；所述可控开关配置为响应于所述测试机的第二指令选通某一指定的所述测试机通道。
4、可选的，所述探针卡包括多个所述引线预置端以及多个所述可控开关，每一所述引线预置端对应一个所述可控开关。
5、可选的，所述开关为继电器。
6、可选的，所述测试机通道沿着所述工作面的边缘对称设置；所述探针通道设置在所述测试机通道与所述探针之间；所述引线预置端设置在所述测试机通道与所述探针之间。
7、可选的，所述探针通道相对于所述基板的中心对称分布，所述引线预置端相对于所述基板的中心对称分布。
8、根据本公开的具体实施方式，第二方面，本公开提供一种芯片测试系统包括：测试机、探针台、以所述的探针卡，其中，所述探针卡通过所述引线预置端以及所述外接引线连接所述示波装置的信号输入端，其中，所述测试机进一步包括：控制器，配置为控制所述可控开关在闭合状态与断开状态之间切换。
9、可选的，所述控制器配置为：向测试芯片提供测试信号；获取所述测试芯片基于所述测试信号的响应信号；根据所述响应信号判断测试项是否通过；若所述测试项未通过，向所述可控开关发送所述第一指令，使所述可控开关从断开状态转变为闭合状态，从而使所述测试芯片上的信号接入到所述示波装置；以及若所述测试项通过，标记所述测试芯片为合格。
10、可选的，所述控制器进一步配置为：根据所述示波装置判断导致所述测试项未通过的原因，其中，所述原因为芯片自身原因或测试环境原因；以及若所述导致所述测试项未通过的原因为测试环境原因，保持所述可控开关处于闭合状态，等待对测试环境进行调试；若所述原因为芯片自身原因，标记所述测试芯片为不合格
11、可选的，所述控制器进一步配置为：当所述示波装置输出的测试芯片的输入波形与所述测试信号一致，且所述响应信号的波形与预设的测试芯片输出波形不一致时，判断导致所述测试项未通过的原因为芯片自身原因。
12、本公开实施例的上述方案与现有技术相比，能够快速、精确的排查测试项失效的原因，提高测试及调试进度。
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1.一种探针卡，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述可控开关为多路选择开关，所述多路选择开关的一端连接所述引线预置端，所述多路选择开关的多路选择端分别连接不同的所述测试机通道；所述可控开关配置为响应于所述测试机的第二指令选通某一指定的所述测试机通道。
3.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述探针卡包括多个所述引线预置端以及多个所述可控开关，每一所述引线预置端对应一个所述可控开关。
4.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述可控开关为继电器。
5.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，
6.根据权利要求4所述的探针卡，其特征在于，所述探针通道相对于所述基板的中心对称分布，所述引线预置端相对于所述基板的中心对称分布。
7.一种芯片测试系统，其特征在于，包括：测试机、探针台、以及如权利要求1-6任一权利要求所述的探针卡，其中，所述探针卡通过所述引线预置端以及所述外接引线连接所述示波装置的信号输入端，其中，所述测试机进一步包括：
8.根据权利要求7所述的芯片
9.根据权利要求8所述的芯片测试系统，其特征在于，所述控制器进一步配置为：
10.根据权利要求9所述的芯片测试系统，其特征在于，所述控制器进一步配置为：
...【技术特征摘要】
1.一种探针卡，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述可控开关为多路选择开关，所述多路选择开关的一端连接所述引线预置端，所述多路选择开关的多路选择端分别连接不同的所述测试机通道；所述可控开关配置为响应于所述测试机的第二指令选通某一指定的所述测试机通道。
3.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述探针卡包括多个所述引线预置端以及多个所述可控开关，每一所述引线预置端对应一个所述可控开关。
4.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述可控开关为继电器。
5.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，
6.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：李文敬，祁建华，余琨，沈逸杰，
申请(专利权)人：上海华岭集成电路技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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