闪烁体面板及闪烁体面板的制备方法技术

本发明专利技术的目的在于：提供大面积且高精度地形成宽度窄的间壁，并且发光效率高，实现清晰的画质的闪烁体面板。本发明专利技术提供闪烁体面板，其具有平板状的基板、在该基板上设置的间壁和由在通过上述间壁分隔的单元内填充的荧光体构成的闪烁体层，其中，上述间壁由以含有2~20质量%的碱金属氧化物的低熔点玻璃作为主要成分的材料构成，将上述间壁的顶部宽度Lt或上述间壁的90%高度的宽度L90除以上述间壁的半高宽度Lh而得到的值为0.45~1，并且将上述间壁的底部宽度Lb或上述间壁的10%高度的宽度L10除以上述半高宽度Lh而得到的值为1~3。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】闪烁体面板及闪烁体面板的制备方法
本专利技术涉及构成用于医疗诊断装置、非破坏性检查设备等的放射线检测装置的闪烁体面板。
技术介绍
目前，在医疗现场，使用胶片的X射线图像得到广泛使用。但是，由于使用胶片的X射线图像为模拟图像信息，所以近年来开发了计算机X射线摄影(computedradiography：CR)或平板型的放射线检测器(flatpaneldetector：FPD)等数字式放射线检测装置。在平板X射线检测装置(FPD)中，为了将放射线转换为可见光，使用闪烁体面板。闪烁体面板含有碘化铯(CsI)等X射线荧光体，根据照射的X射线，该X射线荧光体发出可见光，用TFT(薄膜晶体管)或CCD(电荷耦合元件)将此发光转换为电信号，由此将X射线的信息转换为数字图像信息。但是，FPD有S/N比低的问题。其原因在于：在X射线荧光体发光时，可见光会因X射线荧光体本身而散射等。为了减小该光的散射的影响，提出了在以间壁隔开的单元内填充X射线荧光体的方法(专利文献1~4)。虽然这些间壁的形状因间距而不同，但大体上宽度为5~40μm的范围，高度为100~800μm的范围。作为形成这样的间壁的方法，目前使用的方法为对硅晶片进行蚀刻加工的方法，或在通过丝网印刷法对作为颜料或陶瓷粉末与低熔点玻璃粉末的混合物的玻璃糊剂进行多层图案印刷后煅烧以形成间壁的方法等。但是，在对硅晶片进行蚀刻加工的方法中，可形成的闪烁体面板的尺寸因硅晶片的尺寸而受到限制，无法得到如500mm四方形那样的大尺寸的闪烁体面板。为了制备大尺寸的闪烁体面板，需要将多个小尺寸的面板并列以制备，但难以精密地进行这样的制备，因而难以制备大面积的闪烁体面板。另外，在使用玻璃糊剂的多层丝网印刷法中，因丝网印刷版的尺寸变化等而难以进行高精度的加工。另外，在进行多层丝网印刷时，由于为了防止间壁的坍陷缺损而提高间壁的强度，所以需要一定的间壁宽度。但是，若间壁宽度变宽，则相对地间壁间的空间变窄，不仅可填充X射线荧光体的体积变小，而且填充量变得不均匀。因此，以该方法得到的闪烁体面板因X射线荧光体的量少而有发光变弱或产生发光不均匀的缺点。在低放射量下的摄影中，该缺点会成为进行清晰的摄影的障碍。换言之，为了制备发光效率高且实现清晰的画质的闪烁体面板，需要可以高精度加工大面积、并且可使间壁的宽度变窄的间壁的加工技术，和不使X射线荧光体发出的可见光向间壁外部泄露的技术。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开平5-60871号公报专利文献2：日本特开平5-188148号公报专利文献3：日本特开2011-007552号公报专利文献4：日本特开2011-021924号公报。
技术实现思路
专利技术所要解决的课题本专利技术的课题在于：消除上述缺点，提供大面积且高精度地形成宽度窄的间壁，并且发光效率高、实现清晰的画质的闪烁体面板。解决课题的手段该课题可通过以下任意技术手段达成。(1)闪烁体面板，其具有平板状的基板、在该基板上设置的间壁和由在通过上述间壁分隔的单元内填充的荧光体构成的闪烁体层，其中，上述间壁由以含有2~20质量%的碱金属氧化物的低熔点玻璃作为主要成分的材料构成，将上述间壁的顶部宽度Lt或上述间壁的90%高度的宽度L90除以上述间壁的半高宽度Lh而得到的值为0.45~1，并且将上述间壁的底部宽度Lb或上述间壁的10%高度的宽度L10除以上述半高宽度Lh而得到的值为1~3。(2)上述(1)所记载的闪烁体面板，其中，上述间壁的间距P为50~120μm，上述半高宽度Lh为5~30μm，并且上述间壁的高度H为100~500μm。(3)上述(1)所记载的闪烁体面板，其中，上述间壁的间距P为120~240μm，上述半高宽度Lh为10~40μm，并且上述间壁的高度H为200~800μm。(4)上述(1)~(3)中的任一项所记载的闪烁体面板，其中，与上述间壁的长度方向垂直的截面中连接间壁中部边缘与间壁底面边缘的线为曲线。(5)上述(1)~(4)中的任一项所记载的闪烁体面板，其中，上述间壁在表面形成反射膜。(6)上述(1)~(5)中的任一项所记载的闪烁体面板的制备方法，所述方法具备：在基板上涂布含有低熔点玻璃和感光性有机成分的感光性糊剂以形成感光性糊剂涂膜的工序，将得到的感光性糊剂涂膜曝光成规定图案的曝光工序，溶解除去曝光后的感光性糊剂涂膜的可溶于显像液中的部分的显像工序，在将显像后的感光性糊剂涂膜图案加热至500℃~700℃的煅烧温度以除去有机成分的同时使低熔点玻璃软化并烧结以形成间壁的煅烧工序，和填充荧光体的工序。专利技术的效果通过本专利技术，可大面积且高精度地形成强度高的间壁，可有效地利用荧光体发出的可见光，由此可提供大尺寸且用于实现清晰的画质的闪烁体面板及其制备方法。附图说明图1是示出本专利技术的第一方式的间壁的与长度方向垂直的截面的示意图。图2是示出本专利技术的第二方式的间壁的与长度方向垂直的截面的示意图。图3是示出本专利技术的第三方式的间壁的与长度方向垂直的截面的示意图。图4是示出本专利技术的第四方式的间壁的与长度方向垂直的截面的示意图。图5是示出本专利技术中未包含的间壁的与长度方向垂直的截面的示意图。图6是示出本专利技术中未包含的间壁的与长度方向垂直的截面的示意图。图7是示意性地表示含有本专利技术的闪烁体面板的放射线检测装置的构成的截面图。图8是示意性地表示本专利技术的闪烁体面板的构成的透视图。具体实施方式以下，使用附图对本专利技术的闪烁体面板和使用该面板的放射线检测装置的优选的构成进行说明，但本专利技术不限于此。图7为示意性地表示含有本专利技术的闪烁体面板的放射线检测装置的构成的截面图。图8为示意性地表示本专利技术的闪烁体面板的构成的透视图。放射线检测装置1由闪烁体面板2、输出基板3和电源部12构成。闪烁体面板2含有由荧光体构成的闪烁体层7，吸收X射线等入射的放射线的能量，发出波长为300~800nm的范围的电磁波，即发出以可见光为中心从紫外光至红外光的范围的电磁波(光)。闪烁体面板2由基板4、用于分隔在基板4上形成的单元的格子状的间壁6和闪烁体层7构成，闪烁体层7由在通过间壁形成的单元内填充的荧光体构成。另外，通过在基板4与间壁6之间进一步形成缓冲层5，可稳定地形成间壁6。优选在间壁6和基板4上形成反射膜13。通过反射膜13，荧光体发出的可见光不会透过间壁6，而可使其反射，结果可使在闪烁体层7发出的光有效地到达输出基板3上的光电转换层9。输出基板3具有在基板11上二维地形成由光传感器和TFT构成的像素的光电转换层9和输出层10。将闪烁体面板2的出光面和输出基板3的光电转换层9通过由聚酰亚胺树脂等构成的隔膜层8粘接或粘附，由此形成放射线检测装置1。闪烁体层7中发出的光到达光电转换层9，在光电转换层9进行光电转换并输出。就本专利技术的闪烁体面板而言，由于间壁分隔各单元，所以通过使配置成格子状的光电转换元件的像素的大小和间距与闪烁体面板的单元的大小和间距一致，即使光因荧光体而散射，也可防止散射光到达邻近的单元。由此可降低由光散射导致的图像的不正常，使得可进行高精度的摄影。就构成本专利技术的闪烁体面板的间壁而言，在将间壁的顶部宽度计为Lt，将间壁的半高宽度计为Lh，将间壁的底部宽度计为Lb时，需要将Lt除以Lh而得到的值为0.45~1，并且将Lb除以Lh而得本文档来自技高网...

【技术保护点】
闪烁体面板，其具有平板状的基板、在所述基板上设置的间壁和由在通过所述间壁分隔的单元内填充的荧光体构成的闪烁体层，其中，所述间壁由以含有2~20质量%的碱金属氧化物的低熔点玻璃作为主要成分的材料构成，将所述间壁的顶部宽度Lt或所述间壁的90%高度的宽度L90除以所述间壁的半高宽度Lh而得到的值为0.45~1，并且，将所述间壁的底部宽度Lb或所述间壁的10%高度的宽度L10除以所述半高宽度Lh而得到的值为1~3。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.10.03 JP 2012-2210191.闪烁体面板，其具有平板状的基板、在所述基板上设置的间壁和由在通过所述间壁分隔的单元内填充的荧光体构成的闪烁体层，其中，所述间壁由以含有2~20质量%的碱金属氧化物的低熔点玻璃作为主要成分的材料构成，将所述间壁的顶部宽度Lt或所述间壁的90%高度的宽度L90除以所述间壁的半高宽度Lh而得到的值为0.45~1，并且，将所述间壁的底部宽度Lb或所述间壁的10%高度的宽度L10除以所述半高宽度Lh而得到的值为1~3，所述间壁的间距P为120~240μm，所述半高宽度Lh为10~40μm，以及所述间壁的高...

【专利技术属性】
技术研发人员：冈村昌纪，井口雄一朗，木下英树，
申请(专利权)人：东丽株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP