闪烁器面板以及放射线检测器制造技术

在本发明专利技术所涉及的闪烁器面板(2A)中，通过厚度为150μm以下的玻璃基板(11)成为支撑体从而就能够获得优异的放射线透过性以及可挠性，并且还能够缓和热膨胀系数的问题。另外，在该闪烁器面板(2A)中以覆盖玻璃基板(11)的一面(11a)侧和侧面(11c)侧的形式形成有机树脂层(12)。由此，玻璃基板被增强并且能够抑制边缘部分缺损或龟裂的发生。再有，除了能够防止来自玻璃基板(11)的侧面(11c)的杂散光之外，通过不将有机树脂层(12)形成于玻璃基板(11)的另一面(11b)侧，从而能够确保光到达玻璃基板(11)的另一面(11b)侧的透过性。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】闪烁器面板以及放射线检测器
本专利技术涉及闪烁器面板以及放射线检测器。
技术介绍
作为现有的闪烁器面板有例如专利文献1所记载的闪烁器面板。在现有的闪烁器面板的结构中，作为闪烁器层的支撑体是使用0.05mm的玻璃基板。另外，缓和来自框体外部的力的缓冲材料和刚性比闪烁器层更高的高刚性构件被配置于框体与闪烁器层之间。另外，在专利文献2所记载的闪烁器面板中，以聚酰亚胺类树脂膜或者聚对二甲苯膜进行覆膜的石墨基板被作为支撑体来进行使用。再有，在专利文献3所记载的闪烁器面板中，由无定形碳构成的基板的整个面被聚对二甲苯膜等中间膜覆盖。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2006-58124号公报专利文献2：国际公开WO2009/028275号册子专利文献3：日本特开2007-279051号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题例如关于适用于被称作为薄膜晶体管(TFT)面板的固体检测器的闪烁器面板，要求能够满足相对于固体检测器的形状追随性的可挠性。另外，如果在TFT面板的热膨胀系数与闪烁器面板的基板的热膨胀系数之间存在着差异的话，则闪烁器面板的基板上的细微伤痕、或由在通过蒸镀来形成闪烁器层的情况下产生的异常生长部分而在与TFT面板之间产生的伤痕会由于工作时的热而相对于受光面发生移动，恐怕会产生校正的工夫变得繁杂的问题。为了解决像这样的可挠性的问题或热膨胀系数的问题，例如可以考虑将厚度为150μm以下的极薄玻璃作为闪烁器面板的基板来使用。然而，在使用极薄玻璃的情况下，玻璃的端部(边缘部分)相对于冲击而会有发生发脆、缺损或龟裂的问题。本专利技术为了解决上述技术问题而完成，其目的在于提供一种既能够防止玻璃基板发生缺损或龟裂又能够确保可挠性的闪烁器面板以及使用了该闪烁器面板的放射线检测器。解决技术问题的手段为了解决上述技术问题，本专利技术所涉及的闪烁器面板的特征在于，具备：具有放射线透过性的厚度为150μm以下的玻璃基板、以覆盖玻璃基板的一面侧和侧面侧的形式形成的有机树脂层、在形成有有机树脂层的玻璃基板的一面侧形成的闪烁器层、以覆盖形成有有机树脂层的玻璃基板和闪烁器层的形式形成的耐湿性的保护层。在该闪烁器面板中，通过厚度为150μm以下的玻璃基板成为支撑体，从而就能够获得优异的放射线透过性以及可挠性，并且还能够缓和热膨胀系数的问题。另外，在该闪烁器面板中以覆盖玻璃基板的一面侧和侧面侧的形式形成有机树脂层。由此，玻璃基板被补强并且能够抑制边缘部分缺损或龟裂的发生。再有，除了能够防止来自玻璃基板的侧面的杂散光之外，通过不将有机树脂层形成于玻璃基板的另一面侧从而能够确保光到达玻璃基板的另一面侧的透过性。另外，本专利技术所涉及的闪烁器面板的特征在于，具备：具有放射线透过性的厚度为150μm以下的玻璃基板、以覆盖玻璃基板的另一面侧和侧面侧的形式形成的有机树脂层、在形成有有机树脂层的玻璃基板的一面侧形成的闪烁器层、以覆盖形成有有机树脂层的玻璃基板和闪烁器层的形式形成的耐湿性的保护层。在该闪烁器面板中，通过厚度为150μm以下的玻璃基板成为支撑体从而就能够获得优异的放射线透过性以及可挠性，并且还能够缓和热膨胀系数的问题。另外，在该闪烁器面板中以覆盖玻璃基板的另一面侧和侧面侧的形式形成有机树脂层。由此，玻璃基板被补强并且能够抑制边缘部分缺损或龟裂的发生。再有，除了能够防止来自玻璃基板的侧面的杂散光之外，通过有机树脂层处于玻璃基板的另一面侧从而能够消除闪烁器层的内部应力，并且能够抑制玻璃基板翘曲。另外，在上述闪烁器面板中，有机树脂层可以选自硅树脂、聚氨酯树脂、环氧树脂以及氟树脂。另外，本专利技术所涉及的闪烁器面板的特征在于，具备：具有放射线透过性的厚度为150μm以下的玻璃基板、以覆盖玻璃基板的一面侧的形式贴附的树脂薄膜层、在贴附有树脂薄膜的玻璃基板的一面侧形成的闪烁器层、以覆盖贴附有树脂薄膜的玻璃基板和闪烁器层的形式形成的耐湿性的保护层。在该闪烁器面板中，通过厚度为150μm以下的玻璃基板成为支撑体从而就能够获得优异的放射线透过性以及可挠性，并且还能够缓和热膨胀系数的问题。另外，在该闪烁器面板中以覆盖玻璃基板的一面侧的形式形成有树脂薄膜层。由此，玻璃基板被补强并且能够抑制边缘部分缺损或龟裂的发生。再有，通过树脂薄膜层被形成于玻璃基板的另一面侧从而能够确保到达玻璃基板的另一面侧的光的透过性。另外，本专利技术所涉及的闪烁器面板的特征在于，具备：具有放射线透过性的厚度为150μm以下的玻璃基板、以覆盖玻璃基板的另一面侧的形式贴附的树脂薄膜层、在贴附有树脂薄膜被的玻璃基板的一面侧形成的闪烁器层、以覆盖贴附有树脂薄膜的玻璃基板和闪烁器层的形式形成的耐湿性的保护层。在该闪烁器面板中，通过厚度为150μm以下的玻璃基板成为支撑体从而就能够获得优异的放射线透过性以及可挠性，并且还能够缓和热膨胀系数的问题。另外，在该闪烁器面板中以覆盖玻璃基板的另一面侧的形式形成有树脂薄膜层。由此，玻璃基板被补强并且能够抑制边缘部分缺损或龟裂的发生。再有，通过树脂薄膜层处于玻璃基板的另一面侧从而就能够消除闪烁器层的内部应力，并且能够抑制玻璃基板翘曲。另外，本专利技术所涉及的闪烁器面板的特征在于，具备：具有放射线透过性的厚度为150μm以下的玻璃基板、以覆盖玻璃基板的一面侧以及另一面侧的形式贴附的树脂薄膜层、在贴附有树脂薄膜的玻璃基板的一面侧形成的闪烁器层、以覆盖贴附有树脂薄膜的玻璃基板和闪烁器层的形式形成的耐湿性的保护层。在该闪烁器面板中，通过厚度为150μm以下的玻璃基板成为支撑体从而就能够获得优异的放射线透过性以及可挠性，并且还能够缓和热膨胀系数的问题。另外，在该闪烁器面板中以覆盖玻璃基板的一面侧以及另一面侧的形式形成有树脂薄膜层。由此，玻璃基板被补强并且能够进一步有效抑制边缘部分缺损或龟裂的发生。再有，通过树脂薄膜层被形成于玻璃基板的一面侧以及另一面侧从而能够抑制玻璃基板翘曲。另外，在上述闪烁器面板中，树脂薄膜可以选自PET、PEN、COP以及PI。另外，本专利技术所涉及的闪烁器面板的特征在于，具备：具有放射线透过性的厚度为150μm以下的玻璃基板、以覆盖玻璃基板的一面侧和侧面侧的形式形成的有机树脂层、以覆盖玻璃基板的另一面侧的形式贴附的树脂薄膜层、在形成有有机树脂层以及树脂薄膜层的玻璃基板的一面侧形成的闪烁器层、以覆盖形成有有机树脂层以及树脂薄膜层的玻璃基板和闪烁器层的形式形成的耐湿性的保护层。在该闪烁器面板中，通过厚度为150μm以下的玻璃基板成为支撑体从而就能够获得优异的放射线透过性以及可挠性，并且还能够缓和热膨胀系数的问题。另外，在该闪烁器面板中以覆盖玻璃基板的一面侧和侧面侧的形式形成有机树脂层，并且以覆盖玻璃基板的另一面侧的形式形成有树脂薄膜层。由此，玻璃基板被补强并且能够抑制边缘部分缺损或龟裂的发生。再有，除了能够防止来自玻璃基板的侧面的杂散光之外，通过在表面整体至少形成有机树脂层以及树脂薄膜层中的任意一方，从而能够抑制玻璃基板翘曲。另外，本专利技术所涉及的闪烁器面板的特征在于，具备：具有放射线透过性的厚度为150μm以下的玻璃基板、以覆盖玻璃基板的另一面侧和侧面侧的形式形成的有机树脂层、以覆盖玻璃基板的一面侧的形式贴附的树脂薄膜层、在形成有有机树脂层以及树脂薄膜层的玻璃基板的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种闪烁器面板，其特征在于：具备：具有放射线透过性的厚度为150μm以下的玻璃基板；以覆盖所述玻璃基板的一面侧和侧面侧的形式形成的有机树脂层；在形成有所述有机树脂层的所述玻璃基板的所述一面侧形成的闪烁器层；以及以覆盖形成有所述有机树脂层的所述玻璃基板和所述闪烁器层的形式形成的耐湿性的保护层。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.07.20 JP 2012-1617871.一种闪烁器面板，其特征在于：具备：具有放射线透过性的厚度为150μm以下的玻璃基板；以覆盖所述玻璃基板的一面侧和侧面侧的形式形成的有机树脂层；在形成有所述有机树脂层的所述玻璃基板的所述一面侧形成的闪烁器层；以及以覆盖形成有所述有机树脂层的所述玻璃基板和所述闪烁器层的形式形成的耐湿性的保护层，所述有机树脂层由涂布形成，所述有机树脂层选自硅树脂、聚氨酯树脂、环氧树脂以及氟树脂，所述保护层为聚对二甲苯。2.一种闪烁器面板，其特征在于：具备：具有放射线透过性的厚度为150μm以下的玻璃基板；以覆盖所述玻璃基板的另一面侧和侧面侧的形式形成的有机树脂层；在形成有所述有机树脂层的所述玻璃基板的一面侧形成的闪烁器层；以及以覆盖形成有所述有机树脂层的所述玻璃基板和所述闪烁器层的形式形成的耐湿性的保护层，所述有机树脂层由涂布形成，所述有机树脂层选自硅树脂、聚氨酯树脂、环氧树脂以及氟树脂，所述保护层为聚对二甲苯。3.一种闪烁器面板，其特征在于：具备：具有放射线透过性的厚度为150μm以下的玻璃基板；以覆盖所述玻璃基板的一面侧和侧面侧的形式形成的有机树脂层；以覆盖所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：上西秀典，式田宗功，楠山泰，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP