晶片盒放置架制造技术

本实用新型专利技术提供了一种晶片盒放置架，所述晶片盒放置架具有编号，其包括固定支架以及位于所述固定支架上水平放置的多层支撑板，每层所述支撑板上均设置有多组用于放置晶片盒的晶片盒固定槽，所述每组晶片盒固定槽上安装有传感器与译码器，所述传感器与译码器通过数据线与一设备自动化系统连接；传感器检测到晶片盒固定槽上放置有晶片盒，译码器将晶片盒放置架的编号信息与译码器读取到的晶片盒的编号等信息传输至设备自动化系统，从设备自动化系统可以了解到某一晶片盒的具体放置位置，从而避免了晶片盒的丢失，节省了工作人员寻找晶片盒所花费的时间，同时优化了晶片的周转率，减少了机台的等待时间。

【技术实现步骤摘要】
晶片盒放置架
本技术涉及半导体生产中的存储装置，具体涉及一种晶片盒放置架。
技术介绍
在半导体晶片的制造过程中，不论制造部操作人员还是工程部的工程师经常会遭遇到晶片盒(pod)丢失的情况发生，造成晶片盒丢失的原因基本上是由于前一个工艺的工作人员随意把晶片盒放在了某个晶片架(wafer rack)或某个晶片推车(wafer trolley)上，一旦这种情况发生，常常需要花费制造部和工程部工作人员的大量时间与精力来寻找丢失的晶片盒，并且由于晶片盒的丢失可能造成晶片排队时间延长(wafer over Q-timeissue),严重的还会导致晶片废弃(over Q-time defect worse scrap)。 目前业界一般通过机台SMIF(Standard Mechanical Interface,标准机械界面)以及晶片存储间(lot Stocker)来记录晶片盒的位置,例如:机台的工作记录、机台SMIFEAP(Equipment Automat1n Programming,设备自动化系统)输入/输出记录以及lotStocker进出传送记录，但是由于在半导体制造厂的不同区域的晶片架或晶片推车上存放大量的各种晶片盒，一旦晶片盒被随机放置在任意一个晶片架或晶片推车上就很难追踪，而且区域较大，单单人力寻找效率非常低下，会严重影响晶片的周转率(turn rate)。 因此，亟需提供一种晶片盒放置架，以方便追踪每个晶片盒的具体位置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种晶片盒放置架，以跟踪每个晶片盒的具体位置，并将晶片盒的位置信息自动反馈到设备自动化系统。 为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种晶片盒放置架，所述晶片盒放置架具有编号，其包括固定支架以及位于所述固定支架上水平放置的多层支撑板，每层所述支撑板上均设置有多组用于放置晶片盒的晶片盒固定槽，所述每组晶片盒固定槽上安装有传感器与译码器，所述传感器与译码器通过数据线与一设备自动化系统连接。 可选的，所述每组晶片盒固定槽具有唯一的地址以及独立的编号。 可选的，根据所述晶片盒放置架所处的不同位置进行编号，所述晶片盒放置架的编号与所述晶片盒固定槽在所述晶片盒放置架上的具体位置一起构成所述晶片盒固定槽的编号。 可选的，所述译码器位于所述晶片盒固定槽的边缘。 可选的，所述每组晶片盒固定槽上还安装有防止晶片盒晃动的定位销。 可选的，所述定位销为突起的柱状物。 可选的，所述定位销的数量为三个，分别位于所述晶片盒固定槽相对的两侧，并紧贴放置于所述晶片盒固定槽上的晶片盒。 可选的，所述传感器位于所述晶片盒固定槽对应所述晶片盒底部的位置。 可选的，所述固定支架的底部设置有滚轮。 与现有技术相比，本技术提供的晶片盒放置架的有益效果是: 1、本技术通过对晶片盒放置架进行编号，并且在每组晶片盒固定槽上都安装传感器与译码器，传感器检测到晶片盒固定槽上放置有晶片盒，译码器将晶片盒放置架的编号信息与译码器读取到的晶片盒的编号等信息传输至设备自动化系统，从设备自动化系统可以了解到某一晶片盒的具体放置位置，从而避免了晶片盒的丢失，节省了工作人员寻找晶片盒所花费的时间，同时优化了晶片的周转率，减少了机台的等待时间； 2、本技术对每组晶片盒固定槽进行编号，并且晶片盒固定槽的编号上同时体现其所在的晶片盒放置架的编号，从而更为详细的确定晶片盒所在的具体位置。 【附图说明】 图1为本技术一实施例所提供的晶片盒放置架的结构示意图。 图2为本技术一实施例所提供的晶片盒放置架中晶片盒固定槽的结构示意图。 图3为图2在C处的截面图。 【具体实施方式】 为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的【具体实施方式】做详细的说明。 本技术可以利用多种替换方式实现，下面通过较佳的实施例来加以说明，当然本技术并不局限于该具体实施例，本领域内的普通技术人员所熟知的一般的替换无疑涵盖在本技术的保护范围内。 其次，本技术利用示意图进行了详细的描述，在详述本技术实施例时，为了便于说明，示意图不依一般比例局部放大，不应以此作为对本技术的限定。 请参考图1，其为本技术一实施例所提供的晶片盒放置架的结构示意图，如图1所示，所述晶片盒放置架10包括固定支架11以及位于所述固定支架上水平放置的多层支撑板12，每层支撑板12上设置有多组用于放置晶片盒的晶片盒固定槽13，所述每组晶片盒固定槽13上安装有传感器14以及译码器15，所述传感器14与译码器15通过数据线与一设备自动化系统(Equipment Automat1n Programming, ΕΑΡ)连接。 本实施例中，所述的晶片盒放置架10具有编号，根据编号追踪晶片盒放置架10的位置来跟踪放置于晶片盒放置架10上的晶片盒20的具体位置，根据所述晶片盒放置架10所处的不同位置进行编号，例如:将半导体厂内的所有的晶片盒放置架根据厂房及区域的不同进行统一编号，AETRKOI/BPHRKOI/CCVDRKO3, A、B、C代表的是厂房，ET, PH, CVD分别代表的是刻蚀区域、曝光区域以及化学气相沉积区域，RK01、RK02、RK03代表的是序列号，从而使得每个晶片盒放置架都具有唯一的编号；需要说明的是，本实施例中是按照厂房及区域的不同进行的编号，在其他实施例中也可以采用其他的方式进行编号，达到区分晶片盒放置架的目的即可。 所述的每组晶片盒固定槽13具有唯一的地址以及独立的编号，所述晶片盒放置架10的编号与所述晶片盒固定槽13在晶片盒放置架10上的具体位置一起构成所述晶片盒固定槽13的编号，即根据晶片盒放置架10的编号以及晶片盒固定槽13在晶片盒放置架上的位置进行编号，例如按照晶片盒固定槽13在晶片盒放置架10上从上往下从左往右的顺序进行编号，编号为AETRK01-11，其代表的是晶片盒放置架AETRK01上第一排左边第一个晶片盒固定槽，译码器15将晶片盒固定槽13的编号传递至设备自动化系统，则可以直接找到相对应的晶片盒20。 本实施例中,所述译码器15为红外智能标签阅读器(smart tag reader),能够将晶片盒20所在的晶片盒固定槽13的编号传输给所述设备自动化系统，并且所述译码器15位于所述晶片盒固定槽13的边缘，方便读取晶片盒的编号、晶片的制造进程等信息，并同时将该信息传至所述设备自动化系统；从所述设备自动化系统上读取到晶片盒20的信息以及晶片盒20所在的晶片盒固定槽13的编号，则可以确定晶片盒20的具体位置，从而避免了人工寻找；所述传感器14位于所述晶片盒固定槽13对应所述晶片盒20底部的位置，晶片盒20放置于所述晶片盒固定槽13上时，所述传感器14位于所述晶片盒20的底部，用于检测所述晶片盒固定槽13上是否放置晶片盒；所述传感器14与译码器15的具体位置如图2所示。 所述每组晶片盒固定槽13上还安装有定位销16，可以有效的防止晶片盒20的晃动以及避免晶片盒20因运输而跌落。所述定位销16为突起的柱状物，如图3所示。本实施例中，所述定位销16的数量为三个，所述定位销16位于所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶片盒放置架，其特征在于，所述晶片盒放置架具有编号，其包括固定支架以及位于所述固定支架上水平放置的多层支撑板，每层所述支撑板上均设置有多组用于放置晶片盒的晶片盒固定槽，所述每组晶片盒固定槽上安装有传感器与译码器，所述传感器与译码器通过数据线与一设备自动化系统连接。

【技术特征摘要】
1.一种晶片盒放置架，其特征在于，所述晶片盒放置架具有编号，其包括固定支架以及位于所述固定支架上水平放置的多层支撑板，每层所述支撑板上均设置有多组用于放置晶片盒的晶片盒固定槽，所述每组晶片盒固定槽上安装有传感器与译码器，所述传感器与译码器通过数据线与一设备自动化系统连接。2.如权利要求1所述的晶片盒放置架，其特征在于，所述每组晶片盒固定槽具有唯一的地址以及独立的编号。3.如权利要求2所述的晶片盒放置架，其特征在于，根据所述晶片盒放置架所处的不同位置进行编号，所述晶片盒放置架的编号与所述晶片盒固定槽在所述晶片盒放置架上的具体位置一起构成所述晶片盒固定槽的编号。4.如权利要求3所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：张韬，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31