The invention discloses a feeding device for a silicon wafer production workshop, which comprises a frame and a roller installed on the bottom of the frame, wherein the frame is provided with a movable lifting frame and driven by the driving mechanism to move the lifting frame, the lifting frame is provided with a stick and stick for packing industry with the boom of the connection; the bottom of the frame is fixed on the arm frame mortar is always below the collection box, the box is opened up to collect mortar exposure. The structure of the present invention is reasonable, the use of the feeding device can avoid mortar fell on the ground and the influence of the workshop environment cutting silicon wafer good at the time of transfer, and will stick rod tooling from slicing machine and unloaded also more convenient.
【技术实现步骤摘要】
单晶硅片生产车间用下料装置
本专利技术涉及一种单晶硅片生产车间用设备,具体涉及一种单晶硅片生产车间用下料装置。
技术介绍
硅晶片的生产流程是先在铸锭炉中铸锭形成晶锭,再将晶锭在开方机上开方形成晶棒,然后将晶棒粘接在粘棒工装上,最后将载有晶棒的粘棒工装装于切片机上进行切片制成硅晶片,最后经过脱胶、清洗、烘干后得到硅晶片成品,切片机是利用钢线的高速运动带动砂浆中的碳化硅粒子与晶棒进行研磨,并通过砂浆把研磨中产生的热量和研磨产生的杂质带走,实现晶硅片的切割,当在切片机上完成晶棒的切片后一般要采用下料装置将装载有硅晶片的粘棒工装从切片机上卸下,并在转移至脱胶工位进行脱胶处理。现有技术中在利用下料装置转移时,由于此时粘棒工装及硅晶片上还粘附有大量的砂浆,在转移过程中大量砂浆会滴在地面上而导致车间环境变差。
技术实现思路
对此,本专利技术旨在提供一种结构合理的下料装置,使用该下料装置在转移切割好的硅晶片时能够避免砂浆落在地面上而影响车间环境。实现本专利技术目的的技术方案是:一种单晶硅片生产车间用下料装置,包括机架和安装在所述机架底部的滚轮,所述机架上设有可上下移动的升降架和驱动所述升降架上下移动的驱动机构,所述升降架上设有用于与粘棒工装相配合连接的臂架;所述机架底部固定有始终处于所述臂架下方的砂浆收集盒,所述砂浆收集盒具有朝上开设的敞口。上述技术方案中,所述砂浆收集盒的数量为两个,分别为第一砂浆收集盒和第二砂浆收集盒,所述第一砂浆收集盒固定在所述机架上,所述第二砂浆收集盒的一端与所述第一砂浆收集盒的一端铰接,以使所述第二砂浆收集盒绕铰接处向上转动180度后与所述第一砂浆收 ...
【技术保护点】
一种单晶硅片生产车间用下料装置,包括机架(1)和安装在所述机架(1)底部的滚轮,所述机架(1)上设有可上下移动的升降架(2)和驱动所述升降架(2)上下移动的驱动机构,所述升降架(2)上设有用于与粘棒工装(6)相配合连接的臂架(3);其特征在于:所述机架(1)底部固定有始终处于所述臂架(3)下方的砂浆收集盒(4),所述砂浆收集盒(4)具有朝上开设的敞口。
【技术特征摘要】
1.一种单晶硅片生产车间用下料装置,包括机架(1)和安装在所述机架(1)底部的滚轮,所述机架(1)上设有可上下移动的升降架(2)和驱动所述升降架(2)上下移动的驱动机构,所述升降架(2)上设有用于与粘棒工装(6)相配合连接的臂架(3);其特征在于:所述机架(1)底部固定有始终处于所述臂架(3)下方的砂浆收集盒(4),所述砂浆收集盒(4)具有朝上开设的敞口。2.根据权利要求1所述的单晶硅片生产车间用下料装置,其特征在于:所述砂浆收集盒(4)的数量为两个,分别为第一砂浆收集盒(41)和第二砂浆收集盒(42),所述第一砂浆收集盒(41)固定在所述机架(1)上,所述第二砂浆收集盒(42)的一端与所述第一砂浆收集盒(41)的一端铰接,以使所述第二砂浆收集盒(42)绕铰接处向上转动180度...
【专利技术属性】
技术研发人员:孙明祥,
申请(专利权)人:浙江好亚能源股份有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江,33
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