金刚线切片机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种金刚线切片机，包括具有切片室的机架、两个导线轮、金刚线和升降台，升降台上设有可拆卸的粘棒工装，粘棒工装上粘接有树脂板，树脂板上粘接有晶棒；升降台上具有T型滑槽，粘棒工装上具有T型滑轨，T型滑槽内设置有活动条，在T型滑槽的一侧壁上设置有锁紧螺栓，锁紧螺栓的内端伸入T型滑槽内与活动条相抵，T型滑轨与T型滑槽配合后，通过旋紧锁紧螺栓带动活动条移动从而将T型滑轨锁紧在T型滑槽内。本实用新型专利技术中的金刚线切片机在使用时，晶棒定位可靠，能保证切片精度和合格率。

Diamond wire slicer

The utility model discloses a Jin Gang wire cutting machine, which comprises a frame, a section room two wire wheels, Jin Gang line and the lifting platform, the lifting platform is removable sticky bar tooling, sticky bar tooling is bonded on the resin plate, resin plate is bonded on the crystal rod with T type chute; the lifting platform, stick rod tooling with T type T type slide chute is arranged in the bar, the side wall of the T type slot is arranged on the lock bolt, the lock bolt in the end into a balance with the activity of T type groove, T type and T type slide sliding chutes, through rotary locking bolt to drive the mobile to T slide lock in T type chute. When the diamond wire slicer is used in the utility model, the positioning of the crystal rod is reliable, and the slicing accuracy and the qualified rate can be ensured.

【技术实现步骤摘要】
金刚线切片机
本技术涉及一种金刚线切片机，属于硅晶片生产用设备。
技术介绍
所谓金刚线切片机主要是利用在钢线上镶嵌微小颗粒的金刚石，从而做成金刚线，由于金刚线具有了金刚石微型锯齿，因而金刚线本身具备了切割能力，将金刚线在导线轮上织成金刚线网，然后通过金刚线网的高速运动，将晶棒切割成硅晶片的机器。现有的金刚线切片机包括具有切片室的机架、平行设置在所述切片室内的两个导线轮、缠绕在所述的两导线轮上的金刚线和设置在所述切片室内所述金刚线上方的可上下移动的升降台，所述升降台上设有可拆卸的粘棒工装，所述粘棒工装上粘接有树脂板，所述树脂板上粘接有晶棒；所述升降台上具有沿所述导线轮轴线方向延伸的T型滑槽，所述粘棒工装上具有适于与所述T型滑槽相配合的T型滑轨，在所述T型滑槽的一侧壁上设置有锁紧螺栓，所述锁紧螺栓的内端伸入所述T型滑槽内，在将粘棒工装定位在切片室内时，先将所述T型滑轨插入所述T型滑槽内使两者相配合，然后通过旋拧锁紧螺栓将T型滑轨锁定在T型滑槽内部，锁紧螺栓的数量为三个以上。上述现有金刚线切片机存在的问题是，对粘棒工装的定位效果一般，在切片过程中粘棒工装仍有活动可能，不利于保证硅晶片的加工本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种金刚线切片机，包括具有切片室(1)的机架、平行设置在所述切片室(1)内的两个导线轮(2)、缠绕在所述的两导线轮(2)上的金刚线(3)和设置在所述切片室(1)内所述金刚线(3)上方的可上下移动的升降台(4)，所述升降台(4)上设有可拆卸的粘棒工装(5)，所述粘棒工装(5)上粘接有树脂板(6)，所述树脂板(6)上粘接有晶棒(7)；其特征在于：所述升降台(4)上具有沿所述导线轮(2)轴线方向延伸的T型滑槽(41)，所述粘棒工装(5)上具有适于与所述T型滑槽(41)相配合的T型滑轨(51)，所述T型滑槽(41)内一侧设置有沿T型滑槽(41)长度方向延伸的活动条(8)，在所述T型滑槽(41)的一侧壁...

【技术特征摘要】
1.一种金刚线切片机，包括具有切片室(1)的机架、平行设置在所述切片室(1)内的两个导线轮(2)、缠绕在所述的两导线轮(2)上的金刚线(3)和设置在所述切片室(1)内所述金刚线(3)上方的可上下移动的升降台(4)，所述升降台(4)上设有可拆卸的粘棒工装(5)，所述粘棒工装(5)上粘接有树脂板(6)，所述树脂板(6)上粘接有晶棒(7)；其特征在于：所述升降台(4)上具有沿所述导线轮(2)轴线方向延伸的T型滑槽(41)，所述粘棒工装(5)上具有适于与所述T型滑槽(41)相配合的T型滑轨(51)，所述T型滑槽(41)内一侧设置有沿T型滑槽(41)长度方向延伸的活动条(8)，在所述T型滑槽(41)的一侧壁上设置有锁紧螺栓(9)，所述锁紧螺栓(9)的内端伸入所述T型滑槽(41)内与所述活动条(8)相抵，所述T型滑轨(51)与所述T型滑槽(41)插接配合后，通过旋紧所述锁紧螺栓(9)带动所述活动条(8)移动从而将T型滑轨(51)锁紧在所述T型滑槽(41)内；所述T型滑轨(51)两侧设有受压斜面(52)，所述活动条(8...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙明祥，
申请(专利权)人：浙江好亚能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33