The utility model relates to an automatic monocrystalline silicon slicing machine, including feeding manipulator, cutting platform, cutting tool, camera device, manipulator, conveyor and controller, feeding manipulator, manipulator, cutting tool, camera device and belt are connected with the controller, camera device camera on the manipulator, cutting platform and conveying platform, cutting platform in the mobile range on the manipulator, the conveyor belt and the cutting platform are in the range of movement of manipulator in the end connected to the belt conveying cutting platform. Adopt the automatic machine of this kind of structure of monocrystalline silicon slice, by setting the feeding manipulator, manipulator and conveyor belt, realizes the automatic feeding, cutting and transmission, so as to realize the automatic process of monocrystalline silicon slice, the application is very convenient, no staff stood beside the slicing machine has the operation, save manpower, simple structure, and has wide application area.
【技术实现步骤摘要】
自动化单晶硅切片机
本技术涉及单晶硅
,尤其涉及单晶硅生产设备
,具体是指一种自动化单晶硅切片机。
技术介绍
单晶硅片是一种具有基本完整的点阵结构的晶体,不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料,广泛用于制造半导体器件、太阳能电池等,而单晶硅片则是通过切片机有序的从硅棒上加工出来。目前市场上出现了很多种单晶硅切片机,然而,现有技术中的切片机普遍存在如下问题:(1)在切割的时候会产生大量的硅片雾,如果这些雾不排出去的话,被人吸入之后会对人体造成损害,而且还会使得切片机上覆盖上一层硅粉,导致散热出现问题,使得机器损害,而一般的单晶硅切片机的排雾系统都是靠手动去操作开关的,这样容易出现当打开机器以后,由于不能及时的打开排雾系统,导致出现生产安全事故,或是提早打开了排雾系统,浪费资源不说,而且也可能会出现一些故障;(2)目前的单晶硅片生产无法实现自动化,必需要有操作工人一直站在机器旁操作,进行取料和上料,并实时观察单晶硅的切片状况。这样会造成人力物力的损失,不利于单晶硅的大规模生产,并且由于切割时产生大量的硅片雾,对于操作工人的身体健康也有一定的无法避免的损害。
技术实现思路
本技术的目的是克服了上述现有技术的缺点,提供了一种能够实现全自动化生产、实时监控切片机工作、在切割时自动打开排雾系统、结构简单、应用方便、具有更广泛应用范围的自动化单晶硅切片机。为了实现上述目的,本技术具有如下构成:该自动化单晶硅切片机,其主要特点是,所述的切片机包括上料机械手、切割平台、切割刀架、摄像装置、下料机械手、输送带和控制器,所述的上料机械手、下料机械手、切割刀架、摄像装 ...
【技术保护点】
一种自动化单晶硅切片机,其特征在于,所述的切片机包括上料机械手、切割平台、切割刀架、摄像装置、下料机械手、输送带和控制器,所述的上料机械手、下料机械手、切割刀架、摄像装置和输送带均与所述的控制器相连接,所述的摄像装置的摄像头对准所述的上料机械手、切割平台和输送平台,所述的切割平台在所述的上料机械手的移动范围内,所述的输送带和切割平台均在所述的下料机械手的移动范围内,所述的输送带连接至切割平台的一端。
【技术特征摘要】
1.一种自动化单晶硅切片机,其特征在于,所述的切片机包括上料机械手、切割平台、切割刀架、摄像装置、下料机械手、输送带和控制器,所述的上料机械手、下料机械手、切割刀架、摄像装置和输送带均与所述的控制器相连接,所述的摄像装置的摄像头对准所述的上料机械手、切割平台和输送平台,所述的切割平台在所述的上料机械手的移动范围内,所述的输送带和切割平台均在所述的下料机械手的移动范围内,所述的输送带连接至切割平台的一端。2.根据权利要求1所述的自动化单晶硅切片机,其特征在于,所述的摄像装置包括三个摄像机,所述的三个摄像机的摄像头分别对准所述的上料机械手、切割平台和输送平台。3.根据权利要求1所述的自动化单晶硅切片机,其特征在于,所述的输送带的下端设置有重量传感器,所述的重量传感器与所述的控制器相连接。4.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱汪龙,朱玲,袁亚彬,
申请(专利权)人:无锡乐东微电子有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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