直拉单晶炉用取晶车制造技术

技术编号:15673588 阅读:595 留言:0更新日期:2017-06-22 22:23
本实用新型专利技术公开了一种直拉单晶炉用取晶车,包括两根平行的底杆。底杆同一端连接有第一连接杆。第一连接杆上设置有油缸。油缸设置有活动固定于油缸的滑动板。滑动板上沿垂直于油缸的方向设置有旋转装置、机械手装置和固定夹棒装置。使得单晶炉将多晶硅加热拉制成单晶硅棒结束后,可从单晶炉副室中降下单晶棒落入固定夹棒装置中。该运晶车的固定夹棒起到了固定的作用,又因为底杆中第一滚轮的作用将单晶棒运至放置处,通过旋转装置将单晶棒平放,随后松开达到运输的目的。

Crystal pulling car for direct drawing single crystal furnace

The utility model discloses a crystal pulling car for a direct drawing single crystal furnace, comprising two parallel bottom rods. A first connecting rod is connected with the bottom end of the bottom rod. The first connecting rod is provided with an oil cylinder. The oil cylinder is provided with a sliding plate which is movably fixed on the oil cylinder. A rotating device, a mechanical hand device and a fixed clamping rod device are arranged on the sliding plate along the direction perpendicular to the oil cylinder. A single crystal furnace is used to heat the polysilicon into a single crystal silicon rod. After the end, the single crystal rod is dropped from the chamber of the single crystal furnace into the fixed clamping rod device. The fixed clamping rod of the utility model plays a fixed role, and the single crystal roller is transported to the placing position because of the role of the first roller in the bottom rod, and the single crystal bar is flatly placed by the rotating device, and then released to achieve the purpose of transportation.

【技术实现步骤摘要】
直拉单晶炉用取晶车
本技术涉及单晶棒取放装置领域,特别涉及一种直拉单晶炉用取晶车。
技术介绍
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必要设备。本领域的专业技术人员通过单晶炉将多晶硅加热拉制成单晶硅棒。在单晶硅拉制结束后从单晶炉副室中降下单晶棒,落在正下方的取晶架内。公开号为CN203320184U的中国专利公开了一种取晶车,该取晶车包括基板和基板一侧设置的车轮。基板端部设有垂直基板的支撑板。支撑板上固连有呈圆形的承接桶。基板上沿着基板的纵向设置有若干个承接座。该取晶车通过直接在单晶炉下方承接单晶硅棒,可直接将单晶硅棒运输至特定工位。该取晶车运输、取晶以及放置晶棒的过程中无法调整取晶车的工作角度,只能人工改变取晶车的工作角度,增大了人工取晶碎伤、掉落和烫伤的风险,有待改进。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种可旋转的直拉单晶炉用取晶车。本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:一种直拉单晶炉用取晶车,包括多根平行的底杆,所述底杆同一端连接有第一连接杆,所述第一连接杆上设置有油缸,所述油缸设置有活动固定于油缸的滑动板,所述滑动板上沿垂直于油缸的方向设置有旋转装置、机械手装置和固定夹棒装本文档来自技高网...
直拉单晶炉用取晶车

【技术保护点】
一种直拉单晶炉用取晶车,包括多根平行的底杆(1),所述底杆(1)同一端连接有第一连接杆(2),所述第一连接杆(2)上设置有油缸(3),其特征是:所述油缸(3)设置有活动固定于油缸(3)的滑动板(4),所述滑动板(4)上沿垂直于油缸(3)的方向设置有旋转装置(5)、机械手装置(6)和固定夹棒装置(7),所述旋转装置(5)包括紧贴在滑动板(4)上的第一固定块(8),所述第一固定块(8)设置有穿过第一固定块(8)且平行于滑动板(4)的蜗杆(10),所述蜗杆(10)上啮合有蜗轮(9),所述蜗轮(9)的轴心处穿设有与蜗轮(9)固接的第二连接杆(11),所述第二连接杆(11)远离蜗轮(9)的一端连接有转动...

【技术特征摘要】
1.一种直拉单晶炉用取晶车,包括多根平行的底杆(1),所述底杆(1)同一端连接有第一连接杆(2),所述第一连接杆(2)上设置有油缸(3),其特征是:所述油缸(3)设置有活动固定于油缸(3)的滑动板(4),所述滑动板(4)上沿垂直于油缸(3)的方向设置有旋转装置(5)、机械手装置(6)和固定夹棒装置(7),所述旋转装置(5)包括紧贴在滑动板(4)上的第一固定块(8),所述第一固定块(8)设置有穿过第一固定块(8)且平行于滑动板(4)的蜗杆(10),所述蜗杆(10)上啮合有蜗轮(9),所述蜗轮(9)的轴心处穿设有与蜗轮(9)固接的第二连接杆(11),所述第二连接杆(11)远离蜗轮(9)的一端连接有转动轴(14),所述转动轴(14)与机械手装置(6)连接。2.根据权利要求1所述的直拉单晶炉用取晶车,其特征是:所述底杆(1)远离第一连接杆(2)的一端设置有多个滚轮(15)。3.根据权利要求1所述的直拉单晶炉用取晶车,其特征是:所述第一连接杆(2)的一侧连接有第二固定块(16),所述第二固定块(16)远离第一连接杆(2)的一端设置有第三固定块(18),所述第三固定块(18)设置有第一把手(12)。4.根据权利要求3所述的直拉单晶炉用取晶车,其特征是:所述第三固定块(18)设置有多个滚轮(15),所述第二固定块(16)设置有驱动滚轮(15)和滑动板(4)的电动装置。5.根据权利要求1所述的直拉单晶炉用取晶车,其特征是:所述第一连接杆(2)设置有平行油缸(3)且分布油缸(3)两侧的第二固定杆(20)和第三固定杆(21),所述油缸(3)、第二固定杆(20)和第三固定杆(21)上设置有多个固定板(22)。6.根据权利要求1所述的直拉单晶炉用取晶车,其特征是:所述固定夹棒装置(7)包括底板(23),所述底板(23)包括底盘...

【专利技术属性】
技术研发人员:周云龙
申请(专利权)人:温州永泰电器有限公司
类型:新型
国别省市:浙江,33

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