采用复合材料的蓝宝石长晶炉上部保温屏制造技术

技术编号:15213281 阅读:186 留言:0更新日期:2017-04-24 21:16
本实用新型专利技术公开了一种采用复合材料的蓝宝石长晶炉上部保温屏,包括不锈钢板(1),钼拉杆(2),钼上屏(4)和钨下屏(3),所述的钼上屏(1)和钨下屏(3)设置为外径和内径相同的圆环状保温层,相互之间通过所述的钼拉杆(2)连接固定,并通过所述的不锈钢板(1)进行安装,所述的钨下屏(3)设置在所述的钼上屏(4)的下方,处在高温区,所述的钼上屏(4)设置为钼材质。所述的钨下屏(3)设置为钨材质。本实用新型专利技术可实现处于高温区的部件不宜损坏,延长使用寿命。

Upper insulation screen of sapphire long crystal furnace using composite material

The utility model discloses a sapphire crystal growth furnace upper composite insulation screen, including stainless steel plate (1), molybdenum, molybdenum rod (2) on the screen (4) and w (3) under the screen, the screen on Mo (1) and w (3) is set to the next screen outer diameter and inner diameter of the same circle insulation layer, through the interaction between the molybdenum rod (2) is connected and fixed, and through the stainless steel plate (1) installed, wherein the tungsten under the screen (3) is arranged on the molybdenum screen (4) below, in the high temperature region. The mo on the screen (4) is set to molybdenum material. The tungsten lower screen (3) is provided with a tungsten material. The utility model can realize that the components in the high temperature zone are not damaged, and the service life is prolonged.

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及泡生法蓝宝石长晶炉的热场领域,尤其涉及采用复合材料的蓝宝石长晶炉上部保温屏,同时可适用于其他相似领域。
技术介绍
蓝宝石又称白宝石,是世界上硬度仅次于金刚石的晶体材料,由于具有高声速、耐高温、抗腐蚀、高硬度、高透光性、熔点高(2045℃)等优良的物理、机械、化学及红外透光性能,一直是微电子、航空航天、军工等领域急需的材料,凭借其极高的强度、硬度、红外透过性能和抗热冲击性能。该材料在光学窗口、半导体照明、微波器件等领域都有广泛的应用,已成为用量仅次于硅单晶的一种功能晶体材料。尤其是光学级大尺寸蓝宝石材料,由于其具有性能稳定、市场需求量大、综合利用率及产品附加值高等特点,成为近年国内外研究开发和产业化热点。蓝宝石晶体的生长方法很多,但只有泡生法才能获得缺陷和应力少的大尺寸高光学质量的蓝宝石晶体,目前70%的蓝宝石材料是由泡生法制造的。泡生法蓝宝石长晶炉包括炉体、热场、控制系统、真空系统、水冷系统及动力系统。为保证原料三氧化二铝能够保持在熔融状态,从化料到长晶结束,内部需要维持2000℃以上的高温,因此热场作为保温材料具有非常重要的作用。同时,因为温度高,热场经常损坏,必须更换,这就大大增加了蓝宝石的生产成本。而其中,上部保温屏更换的频率最高,价格也较昂贵。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题为了克服上述技术问题,本技术设计了采用复合材料的蓝宝石长晶炉上部保温屏,将上部保温屏最容易损坏的地方设置为耐高温材料,降低更换频率,因此可以降低成本。(二)技术方案为达到上述目的,本技术提供了采用复合材料的蓝宝石长晶炉上部保温屏,包括不锈钢板1,钼拉杆2,钼上屏4和钨下屏3,所述的钼上屏1和钨下屏3设置为外径和内径相同的圆环状保温层,相互之间通过所述的钼拉杆2连接固定,并通过所述的不锈钢板1进行安装。所述的钨下屏3设置在所述的钼上屏4的下方,处在高温区。所述的钼上屏4设置为钼材质。所述的钨下屏3设置为钨材质。本技术的有益效果主要表现在:将上部保温屏最容易损坏的地方设置为耐高温材料,降低更换频率,从而达到降低成本的目的。附图说明图1为采用复合材料的蓝宝石长晶炉上部保温屏的结构图。具体实施方式下面结合具体的实施例对本技术作进一步展开说明,但需要指出的是,本技术所要求保护的结构并不限于实施例及说明书附图中的具体结构。对于本领域普通技术人员可以推知的其他结构形式,亦属于本专利技术所要求保护的范围之内。请一并参阅图1,采用复合材料的蓝宝石长晶炉上部保温屏,包括不锈钢板1,钼拉杆2,钼上屏4和钨下屏3,钨钼材料都是耐高温材料,钼与钨比较起来,熔点低,价格便宜,而钨熔点高,价格更加贵。通过在不同位置设置不同的材料,达到延长使用寿命,实现降低成本的目的。将所述的钼上屏4和钨下屏3设置为外径和内径相同的圆环状保温层,相互间保持固定距离,通过所述的钼拉杆2连接固定,并通过所述的不锈钢板1进行安装。所述的钼上屏4设置为钼材质,所述的钨下屏3设置为钨材质,因为下部位置温度更高,采用钨材料可以延长使用寿命。本文档来自技高网...
采用复合材料的蓝宝石长晶炉上部保温屏

【技术保护点】
采用复合材料的蓝宝石长晶炉上部保温屏,其特征在于:包括不锈钢板(1),钼拉杆(2),钼上屏(4)和钨下屏(3),所述的钼上屏(1)和钨下屏(3)设置为外径和内径相同的圆环状保温层,相互之间通过所述的钼拉杆(2)连接固定,并通过所述的不锈钢板(1)进行安装。

【技术特征摘要】
1.采用复合材料的蓝宝石长晶炉上部保温屏,其特征在于:包括不锈钢板(1),钼拉杆(2),钼上屏(4)和钨下屏(3),所述的钼上屏(1)和钨下屏(3)设置为外径和内径相同的圆环状保温层,相互之间通过所述的钼拉杆(2)连接固定,并通过所述的不锈钢板(1)进行安装。2.如权利要求1所述的采用复合材料的蓝宝...

【专利技术属性】
技术研发人员:胡轩付江
申请(专利权)人:杭州晶一智能科技有限公司
类型:新型
国别省市:浙江;33

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