蓝宝石长晶炉制造技术

本实用新型专利技术提供一种蓝宝石长晶炉，包括环形的内加热器和外加热器以及均匀设置在所述内加热器与外加热器之间的多个坩埚，所述坩埚底部设有冷却装置，所述内加热器和外加热器的功率为可控的。本实用新型专利技术提供的一种蓝宝石长晶炉，采用两种不同直径的环形钨加热器，将钨坩埚置于两环形加热器之间，且均匀对称分布，每只坩埚底部均设置冷却装置，通过控制加热器的功率和冷却介质的流量及温度，形成稳定的温场和热场，从而极大地提高了蓝宝石长晶材料的利用率和大尺寸晶体的成晶率，降低了生产成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及LED衬底级蓝宝石晶体生长
，特别是涉及一种蓝宝石长晶炉。
技术介绍
LED衬底级蓝宝石晶体生长方法主要有泡生法、热交换法、坩埚下降法等。其中，泡生法生长的晶体市场占有率达85％以上，泡生法采用单一加热器，但随着LED衬底晶棒由2inch逐步转向4inch和6inch等大尺寸时，单纯的通过增大加热器的直径从而增加坩埚3尺寸进而达到增加投料量的目的，这种泡生法生长的蓝宝石晶体存在长晶良率低、晶体横向掏棒利用率低、生产能耗与成本较高等问题。热交换法可以生长较大重量的晶体，但晶体越重，晶体质量越差，且难以生长C向晶体。因此，热交换法生长大尺寸晶体良率较低，且成本较高，仅适合生长A向的晶体，晶体加工需横向掏棒，材料利用率低。坩埚下降法难以生长4inch及以上的大尺寸蓝宝石晶体，产品质量和尺寸不能满足市场需求。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是：泡生法等蓝宝石晶体生长的设备生长大直径蓝宝石的技术难度非常大，且生长的晶体材料只能进行横向取材，材料利用率极低，一般低于40％，为了克服现有技术中蓝宝石晶体生长材料利用率低、长晶良率低以及生产能耗与成本较高的不足，本技术提供一种蓝宝石本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蓝宝石长晶炉，其特征在于：包括环形的内加热器(1)和外加热器(2)以及均匀设置在所述内加热器(1)与外加热器(2)之间的多个坩埚(3)，所述坩埚(3)底部设有冷却装置(4)，所述内加热器(1)和外加热器(2)的功率为可控的。

【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石长晶炉，其特征在于：包括环形的内加热器(1)和外加热器(2)以及均匀设置在所述内加热器(1)与外加热器(2)之间的多个坩埚(3)，所述坩埚(3)底部设有冷却装置(4)，所述内加热器(1)和外加热器(2)的功率为可控的。2.如权利要求1所述的蓝宝石长晶炉，其特征在于：所述冷却装置(4)包括相互连通的一进口(41)和一出口(42)，所述冷却装置(4)内设有冷却介质(43)，所述冷却介质(43)由进口(41)向出口(42)方向流动，所述冷却介质(43)的流量及温度为可控的。3.如权利要求2所述的蓝宝石长晶炉，其特征在于：所述冷却介质(43)为水或氦气。4.如权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵能伟，
申请(专利权)人：常州亿晶光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32