【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种蓝宝石长晶炉,尤其是一种热交换法蓝宝石长晶炉。
技术介绍
现有的热交换法蓝宝石长晶炉的结构如图I所示,其换热装置的换热管是在装料前进行位置固定,之后于炉体一直处于相对静止状态。该结构蓝宝石长晶炉的不足有I、在换热装置固定后再装坩埚,需要精确调制支持坩埚的支撑环,以确保坩埚的中心位置与换热装置的中心位置重合,同时调整坩埚处于水平位置,这样既难以同时达到两个目的,又很花费时间,直接影响到生产效率; 2、坩埚先固定位置后,在装载大重量原料情况下,由于重力作用下容易使热交换器变形,也可能导致坩埚内籽晶的偏向和位移,影响晶体质量和热交换器的使用寿命。
技术实现思路
为解决上述现有技术的不足,本技术提供了一种对载重自适应的蓝宝石长晶炉,能适应不同重量的载重,能始终保持换热管的外形完整及与坩埚相对位置的稳定。本技术的具体技术方案是一种自适应蓝宝石长晶炉,包括炉体,包含炉盖和炉体底板的密闭容器;坩埚,用于蓝宝石晶体生长的容器;保温装置,炉体内围绕坩埚外周设置的保温装置,用于维持坩埚热场;加热装置,用于提供蓝宝石生长所需热量的装置;换热装置,包括设于坩埚底部的托座、与托 ...
【技术保护点】
一种自适应蓝宝石长晶炉,包括炉体,包含炉盖和炉体底板的密闭容器;坩埚,用于蓝宝石晶体生长的容器;保温装置,炉体内围绕坩埚外周设置的保温装置;加热装置;换热装置,包括设于坩埚底部的托座、与托座相连的换热管以及提供换热管中冷却介质循环的压缩机,换热管炉外部分配有卡套机构,换热管通过该卡套机构与炉体底板固定连接;其特征在于所述卡套机构的卡套接头和炉体底板之间设有一段密闭的弹性伸缩波纹管。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:罗庆波,吴云才,周国清,
申请(专利权)人:浙江上城科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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