一种单晶硅加热防尘装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种单晶硅加热防尘装置，包括坩埚轴、托盘、法兰、磁流体、压板和多层保温板，所述坩埚轴顶部设有托盘，所述托盘下方设有法兰，所述法兰下方设有磁流体，包裹在坩埚轴外部，所述磁流体下方设有压板，所述压板下方设有多层保温板。该防尘装置的构思独特，结构简单，该装置的整体性结构，既方便快捷，有增强了其周密性，大大提高了生产效率，延长设备的使用寿命，避免了浪费。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于机电
，主要涉及的是ー种单晶硅加热防尘装置。
技术介绍
目前，我国应用于单晶硅的加热技术及生产规模已在世界上处于领先地位，但在单晶硅的加热过程中由于设备的原因，使得温差波动较大，影响产品质量，其采用的防尘装置周密性的缺陷，也容易导致设备损坏，缩短设备的使用寿命。
技术实现思路
本技术的目的即由此产生，提出ー种单晶硅加热防尘装置，使其具有更好的严密性。为实现上述目的，本技术通过以下技术方案实现的，一种单晶硅加热防尘装置，包括坩埚轴、托盘、法兰、磁流体、压板和多层保温板，所述坩埚轴顶部设有托盘，所述托盘下方设有法兰，所述法兰下方设有磁流体，包裹在坩埚轴外部，所述磁流体下方设有压板，所述压板下方设有多层保温板。本技术的有益效果该防尘装置的构思独特，结构简单，该装置的整体性结构，既方便快捷，有增强了其周密性，大大提高了生产效率，延长设备的使用寿命，避免了浪费。附图说明图I为本技术的结构示意图。其中I-坩埚轴，2-托盘，3-法兰，4-磁流体，5-压板，6_多层保温板。具体实施方式结合图1，给出本技术的实施例如下如图所示本实施例ー种单晶硅加热防尘装置，包括坩埚轴I、托盘2、法兰3、磁流本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单晶硅加热防尘装置，包括坩埚轴、托盘、法兰、磁流体、压板和多层保温板，其特征在于：所述坩埚轴顶部设有托盘，所述托盘下方设有法兰，所述法兰下方设有磁流体，包裹在坩埚轴外部，所述磁流体下方设有压板，所述压板下方设有多层保温板。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：林游辉，
申请(专利权)人：合肥景坤新能源有限公司，
类型：实用新型
国别省市：