蓝宝石长晶炉真空系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种蓝宝石长晶炉真空系统，它包括真空管道（1），所述真空管道（1）连接于蓝宝石长晶炉炉体上，其特征在于所述真空管道（1）的下端通过分子泵接管（6）连接有复合分子泵（8），所述真空管道（1）与分子泵接管（6）之间设置有旋转式插板阀（4），所述复合分子泵（8）的下端连接有真空出口抽气管道（9），所述真空出口抽气管道（9）上设置有第一电磁阀（2），所述第一电磁阀（2）后方的真空出口抽气管道（9）与真空管道（1）之间连接有抽气旁通管路（3），所述抽气旁通管路（3）上设置有第二电磁阀（5）。本实用新型专利技术蓝宝石长晶炉真空系统具有可以保证蓝宝石长晶炉系统稳定运行的优点。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种蓝宝石长晶炉，尤其涉及一种蓝宝石长晶炉真空系统，属于蓝宝石

技术介绍
蓝宝石即AL2O3单晶体，具有熔点高、硬度高、导热性好、透过光波段宽、电绝缘性好、耐强酸强碱腐蚀等特点，因此作为重要的技术晶体材料，被广泛应用在国防、军事、科研等一系列高科技
，同时在民用工业上也有大量的应用，如发光二极管、微电子电路、光学传感性、光波导器件及LED节能领域。蓝宝石晶体的生产方法有多种:提拉法(柴氏拉晶法)、泡生法(凯氏长晶法)和温度梯度法等方法。但无论是采用哪一种的生长方法，都需要将长晶炉炉体的空气抽净，达到一定的真空度后，才开始对炉体进行加热，晶体原料在炉内温度达2050°C后开始熔化，等原料完全熔化后，有一个熔料排杂过程，然后才会进行晶体的生长，晶体生长结束后，需逐步进行冷却，直到冷却完全结束。在这一系列过程中，炉体的保温材料、晶体熔液都会排放出大量的杂质和气体，如果不及时排出炉外，会影响晶体的质量，这就需要蓝宝石长晶炉系统中的真空泵通过真空系统将这些杂质和气体排出炉外。真空系统的质量的稳定关系到蓝宝石长晶炉系统的安全运行及生产出的晶体质量。原设计的真空系统中采本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蓝宝石长晶炉真空系统，它包括真空管道（1），所述真空管道（1）连接于蓝宝石长晶炉炉体上，其特征在于所述真空管道（1）的下端通过分子泵接管（6）连接有复合分子泵（8），所述真空管道（1）与分子泵接管（6）之间设置有旋转式插板阀（4），所述复合分子泵（8）的下端连接有真空出口抽气管道（9），所述真空出口抽气管道（9）上设置有第一电磁阀（2），所述第一电磁阀（2）后方的真空出口抽气管道（9）与真空管道（1）之间连接有抽气旁通管路（3），所述抽气旁通管路（3）上设置有第二电磁阀（5）。

【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石长晶炉真空系统，它包括真空管道(I)，所述真空管道(I)连接于蓝宝石长晶炉炉体上，其特征在于所述真空管道(I)的下端通过分子泵接管(6)连接有复合分子泵(8)，所述真空管道(I)与分子泵接管(6)之间设置有旋转式插板阀(4)，所述复合分...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵春山，于民华，郑伟，吴国兴，
申请(专利权)人：江苏双良新能源装备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：