The invention discloses a spacing adjustable lifting platform, including a coarse Guide (1), coarse motor (2), (3) fine-tuning platform is composed of three parts, the coarse adjustment slide (1) consists of two parallel metal rails, coarse spacing of 10 cm, guide for the font structure, arranged on the guide slot (5) for connection. The coarse adjusting motor (2) is connected with the coarse adjusting guide rail (1) by a screw rod (5) and automatically adjusts the horizontal position of the equipment along the coarse adjusting guide rail (1). Fine tuning platform (3) can be within 10 mm lifting platform and the mouth trimming distance in the coarse motor (2) on a set distance, along the guide rail (1) to complete the coarse coarse, and then adjust the tuning platform (3), to ensure the seed rod center and mouth Center concentric, meet the requirement of different equipment. The lifting platform adjustment range of more than 10 cm, kyropoulos method match sapphire equipment and arbitrary spacing, high degree of automation, the seed center is easy to adjust, easy to ensure the consistency of crystal growth.
【技术实现步骤摘要】
一种间距可调的蓝宝石长晶提拉平台
本专利技术涉及蓝宝石晶体制备工艺
,尤其涉及一种间距可调的蓝宝石长晶提拉平台。
技术介绍
蓝宝石又称白宝石,是世界上硬度仅次于金刚石的晶体材料,由于具有优良的物理、机械、化学及红外透光性能,一直是微电子、航空航天、军工等领域急需的材料,尤其是光学级大尺寸蓝宝石材料,由于其具有性能稳定、市场需求量大、综合利用率及产品附加值高等特点,生长高质量大尺寸蓝宝石的泡生法设备,成为近年国内外研究开发和产业化热点。对于泡生法蓝宝石设备,提拉平台是其中不可或缺的组成部分。其作用是保持水平的条件下,调节籽晶杆位置至路口中心,使晶体能稳定的沿垂直方向生长。目前使用的泡生法设备由于炉体尺寸的不同,其提拉平台与炉口的间距也就不同,因此,不同设备其提拉平台尽管结构相似但不具有通用性,往往造成设备的浪费。本专利技术采用的提拉平台间距调节系统,能根据提拉平台与路口的距离大范围的自动调节水平位置,这样就能在任意的设备上使用相同的提拉平台,从而实现了生长设备之间的通用同时减少不同设备保养维护的成本。
技术实现思路
一种间距可调的蓝宝石晶体生长提拉平台,其特征在于,该提拉平台包括粗调滑轨1,粗调电机2,微调平台3三个组成部分,其中:微调平台3位于粗调滑轨1上方,并通过左右两个卡槽4相连接;粗调电机2位于粗调滑轨1右上方,并与右侧卡槽通过丝杆5相连接。优选的,所述的间距可调的蓝宝石晶体生长提拉平台,其特征在于,粗调滑轨1由两条平行的金属滑轨组成,粗调间距10厘米。优选的,所述的间距可调的蓝宝石晶体生长提拉平台,其特征在于,所述粗调滑轨1为工字结构,卡槽4可在 ...
【技术保护点】
一种间距可调的蓝宝石晶体生长提拉平台,其特征在于,该提拉平台包括粗调导轨(1),粗调电机(2),微调平台(3)三个组成部分,其中:微调平台(3)位于粗调导轨(1)上方,并通过卡槽(4)相连接;粗调电机(2)位于粗调导轨(1)右上方,并通过丝杆(5)与右侧卡槽相连接。
【技术特征摘要】
1.一种间距可调的蓝宝石晶体生长提拉平台,其特征在于,该提拉平台包括粗调导轨(1),粗调电机(2),微调平台(3)三个组成部分,其中:微调平台(3)位于粗调导轨(1)上方,并通过卡槽(4)相连接;粗调电机(2)位于粗调导轨(1)右上方,并通过丝杆(5)与右侧卡槽相连接。2.根据权利要求1所述的间距可调的蓝宝石晶体生长提拉平台,其特征在于,粗调节滑轨(1)由两条平行的金属导轨组成,粗调间距10厘米。3.根据权利要求2所述的间距可调的蓝宝石晶体生长提拉平台,其特征在于,所述粗调节滑轨(1)为工字结构,卡...
【专利技术属性】
技术研发人员:承刚,闫焓,张瑾,李旭东,章永新,张义,
申请(专利权)人:深圳市晶格材料科技有限公司,四川大学,深圳浩源兴自动化设备有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
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