半导体晶棒熔炼拉晶装置制造方法及图纸

技术编号:15167578 阅读:73 留言:0更新日期:2017-04-13 14:17
本实用新型专利技术涉及半导体致冷件的原材料—晶棒的生产技术领域,名称是半导体晶棒熔炼拉晶装置,半导体晶棒熔炼拉晶装置,包括机座,在机座上具有可以升降的主立杆,主立杆和机座上有拉晶管的固定夹具,在机座上还有副立杆,副立杆上有升降动力装置,升降动力装置连接电磁加热线圈,电磁加热线圈内部具有套接在拉晶管外面的结构,在所述的电磁加热线圈内部和盛装拉晶管外面还安装有不锈钢套管;使用本实用新型专利技术可以得到受热更均匀、品质更好的晶棒。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体致冷件的原材料—晶棒的生产
,具体地说是涉及半导体晶棒熔炼拉晶装置
技术介绍
半导体致冷件的原材料—晶棒的主要原料是三碲化二铋,这些原料在拉晶管中经过高温形成分子排列整齐的晶棒,在高温下原料的分子重新排列的过程就是拉晶,拉晶后的晶棒进行线切割生成半导体晶粒,然后将晶粒焊接在瓷板上就制造成半导体致冷件。晶粒排列的整齐程度决定了半导体致冷件的效率,原料分子排列越整齐,半导体致冷件的致冷效率越高,反之,原料分子排列越杂乱,半导体致冷件的致冷效率越低,所以拉晶的效果决定了半导体致冷件的品质。晶棒是在拉晶装置上进行的,拉晶装置具有加热环,现有技术中,拉晶炉的加热环是电加热的,这样的拉晶炉具有晶板温度升高不均匀的缺点,影响了拉晶的质量。
技术实现思路
本专利技术的目的就是针对上述缺点,提供一种晶棒受热更均匀、品质更好半导体晶棒熔炼拉晶装置。本专利技术半导体晶棒的拉晶装置是这样实现的:半导体晶棒熔炼拉晶装置,包括机座,在机座上具有可以升降的主立杆,主立杆和机座上有拉晶管的固定夹具,其特征是:在机座上还有副立杆,副立杆上有升降动力装置,升降动力装置连接电磁加热线圈,电磁加热线圈内部具有套接在拉晶管外面的结构,在所述的电磁加热线圈内部和盛装拉晶管外面还安装有不锈钢套管。本专利技术的有益效果是:这样的使用半导体晶棒的装置,可以得到受热更均匀、品质更好的晶棒。附图说明图1是本专利技术半导体晶棒的拉晶装置的结构示意图。其中:1、机座2、主立杆3、固定夹具4、副立杆5、升降动力装置6、电磁加热线圈7、拉晶管8、不锈钢套管。具体实施方式下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步的的说明。如图1所示,半导体晶棒熔炼拉晶装置,包括机座1,在机座上具有可以升降的主立杆2,主立杆和机座上有拉晶管的固定夹具3,其特征是:在机座上还有副立杆4,副立杆上有升降动力装置5,升降动力装置连接电磁加热线圈6,电磁加热线圈内部具有套接在拉晶管7外面的结构,在所述的电磁加热线圈内部和盛装拉晶管外面还安装有不锈钢套管8。这样不锈钢管耐温1200℃,可以起到切割磁力线的作用,产生热量,还具有防止拉晶管破裂,另外其还具有均温的作用,拉晶的效果也更好。以上所述仅为本专利技术的具体实施例,但本专利技术的结构特征并不限于此,任何本领域的技术人员在本专利技术的领域内,所作的变化或修饰皆涵盖在本专利技术的专利范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
半导体晶、半导体晶棒熔炼拉晶装置,包括机座,在机座上具有可以升降的主立杆,主立杆和机座上有拉晶管的固定夹具,其特征是:在机座上还有副立杆,副立杆上有升降动力装置,升降动力装置连接电磁加热线圈,电磁加热线圈内部具有套接在拉晶管外面的结构,在所述的电磁加热线圈内部和盛装拉晶管外面还安装有不锈钢套管。

【技术特征摘要】
1.半导体晶、半导体晶棒熔炼拉晶装置,包括机座,在机座上具有可以升降的主立杆,主立杆和机座上有拉晶管的固定夹具,其特征是:在机座上还有副立杆,副立杆上...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈磊陈建民赵丽萍钱俊友张文涛蔡水占张会超王东胜
申请(专利权)人:河南鸿昌电子有限公司
类型:新型
国别省市:河南;41

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