【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种控制单晶环状缺陷的生产工艺,其特征在于:所述生产工艺包括以下步骤:a、硅料分检:对硅料进行检测,去除电阻率低于0.5Ω·cm;少子寿命低于2μS,碳含量大于2e17atom/cc的硅料;b、硅料清洗:以氢氟酸与硝酸为原料,配制成体积混合比为氢氟酸:硝酸=1:4~10的硅料清洗液,对硅料进行清洗,清洗完成后进行纯水清洗,将清洗液中酸的残留去除;c、硅成炉料配制:控制单晶头部掺杂剂的使用量,使其电阻率控制在2.5Ω·cm以上;d、拉晶:所述拉晶步骤具体为:1)装料操作,装料过程中,要避免硅料与石墨导流筒的接触,防止碳的混入;2)引颈操作,控制籽晶的转速:6‑9r/min,控制埚转的转速:6‑9r/min,控制坩埚上升速度:0mm/min;3)放肩操作,控制籽晶的转速:6‑9r/min,控制埚转的转速:6‑9r/min,控制坩埚上升速度:0.05‑0.15mm/min;控制放肩速度:0.65‑0.95mm/min;4)转肩操作,控制籽晶转速:6‑9r/min,控制埚转转速:6‑9r/min,控制坩埚上升速度:0.15‑0.2mm/min,控制惰性气体流速:30‑40L/min;5)等径操 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:张浩强,冯立军,闫广宁,曹健民,李永峰,
申请(专利权)人:宁晋松宫电子材料有限公司,
类型:发明
国别省市:河北;13
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