【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶硅
，具体涉及一种单晶炉加热电压信号检测报警装置。
技术介绍
单晶炉正常运行期间，处于连续的加热状态的时间要在40~80h，在此生产期间，单晶炉内的多晶硅处于融化后1420°C的液态状态，在此期间不允许出现任何异常的加热功率丢失及大幅度波动情况。等径拉制过程中，是利用对多晶硅液态和固态的临界温度的精准控制，保证多晶硅能稳定的从液态变为固态晶棒，对温度的要求更高，炉内液态多晶硅的温度波动量要控制在± I °C之内。单晶炉加热控制系统是个非常复杂的系统，偶尔会出现一些硬性或软性故障，导致加热功率突然丢失或大幅度下降。若正处于等径生长拉制期间，5s左右炉内温度波动量就会超出正常拉晶范围，导致炉内单晶硅棒出现晶变，变成废品，Imin左右液态硅就开始在晶棒周围结晶，3min左右液面就会整个结晶，使石英坩祸和晶棒结为一体。由于晶棒和石英坩祸是一直在做相反方向的转动，相对速度为20r/min左右，而此时如果不能及时发现故障，并采取紧急措施使晶棒和石英坩祸停止旋转，就会造成上轴的软钢丝绳因一直朝一个方向绞动而绞断，导致上轴上吊着的籽晶卡具连带已拉制出...
【技术保护点】
一种单晶炉加热电压信号检测报警装置，单晶炉包括炉体（1）、分别固定在炉体（1）上下端部的炉盖（2）和炉底板（3）、坩埚（4）以及用于提拉硅单晶棒（8）的上立柱（5），坩埚（4）的外周面设有加热器（7），所述的坩埚（4）通过下立柱（6）固定在炉体（1）内，上立柱（5）固定在正对坩埚（4）中心位置的炉盖（2）上，炉体（1）内部设有保温桶（9），保温桶（9）下端部设有下保温层（11），保温桶（9）上端部设有上保温盖（10），且上保温盖（10）中心设有供硅单晶棒（8）通过的缺口（12），其特征在于：炉体（1）外壁上设有一构成电连接回路的用于接收加热器（7）输出加热电压信号的数字信号...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：焦二强，张明亮，韩子萌，司鹏辉，令狐铁兵，
申请(专利权)人：麦斯克电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河南;41
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。