下载一种单晶炉加热电压信号检测报警装置的技术资料

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一种单晶炉加热电压信号检测报警装置,包括炉体、分别固定在炉体上下端部的炉盖和炉底板、坩埚以及用于提拉硅单晶棒的上立柱,坩埚的外周面设有加热器,坩埚通过下立柱固定在炉体内,炉体内部设有保温桶,保温桶下端部设有下保温层,保温桶上端部设有上保温盖...
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