一种单晶炉炉压调节装置制造方法及图纸

一种单晶炉炉压调节装置，包括不锈钢环架、电控部分，还包括阀板和环形胶木阀套；阀板的边缘呈减少接触面积的锯齿结构，锯齿结构的外围相配合设置环形胶木阀套，环形胶木阀套嵌于所述不锈钢环架和阀板之间，且环形胶木阀套不做运转，电控部分设置在不锈钢环架的一侧且分别与不锈钢环架、阀板电连接，所述电控部分带动阀板做正反转动。本实用新型专利技术一方面降低了运行过程中挥发物沉积、减少负载运行过重对电路的损坏的风险；另一方面，阀板比起原来结构减小，紧贴周围有环形胶木阀套防护，机械运行的力度大大降低，阀板与环形胶木阀套的密封性能完好结合，设备压力控制稳定可靠。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉炉压调节装置
本技术涉及单晶生产
，特别涉及一种单晶炉炉压调节装置。
技术介绍
EKZ2700单晶炉是单晶产品拉制过程的基础环节，也是半导体材料硅由多晶硅转换成单晶硅成品的关键设备。炉压受控，设备才能可靠运行，才能保证产品拉制合格，单晶炉炉压控制的比例阀更是单晶拉制合格产品不可缺少的一部分。单晶拉制过程使用的单晶炉EKZ2700设备，比例阀在拉制过程随着工艺的要求，不停地改变阀板的开启度进而调整压力的变化。开炉过程处于热态运行，气流运行的不稳定性需要时刻调整比例阀的位置开启度，才能满足工艺的炉压的控制要求，进而满足合格产品收率，提高产值，增产增效。再者，设备运行过程，挥发物在阀板的周围汇集，阀板壁上挥发物沉积，当挥发物集到一定程度，阀板卡在一定位置不能自由移动，内部电路控制超载运转，易引发机械和电路故障，炉压失去控制，设备就不能正常运行。综上所述，需要设计一种改进的内部阀板结构，才能满足设备生产需求，大大提高设备的可靠运行效率。
技术实现思路
有鉴于此，为解决上述现有技术的不足，本技术的目的在于提供了一种单晶炉炉压调节装置，一方面降低了运行过程中挥发物沉积、减少负载运行过重对电路的损坏的风险；另一方面，阀板比起原来结构减小，紧贴周围有环形胶木阀套防护，机械运行的力度大大降低，阀板与环形胶木阀套的密封性能完好结合，设备压力控制稳定可靠。为实现上述目的，本技术所采用的技术方案是：一种单晶炉炉压调节装置，包括不锈钢环架、电控部分，还包括阀板和环形胶木阀套；所述阀板的边缘呈减少接触面积的锯齿结构，所述锯齿结构的外围相配合设置环形胶木阀套，环形胶木阀套嵌于所述不锈钢环架和阀板之间，且环形胶木阀套不做运转，所述电控部分设置在不锈钢环架的一侧且分别与不锈钢环架、阀板电连接，所述电控部分带动阀板做正反转动。进一步的，所述锯齿结构为多个V字形板依次连接且组成阀板边缘的环形结构。进一步的，多个所述的V字形板的端部均处于同一平面上。进一步的，所述不锈钢环架为环形结构。进一步的，所述阀板为圆形结构。进一步的，所述不锈钢环架与阀板形状相配合。进一步的，所述环形胶木阀套为分别与不锈钢环架、阀板均相配合的环形结构。进一步的，所述电控部分为电控盒，其中的内部电路控制且带动阀板做正反转动，进而调整比例阀的位置开启度。本技术的有益效果是：本技术中，改进的阀板减小了原来的阀板结构，并且阀板的边缘呈减少接触面积的锯齿结构，锯齿结构为多个V字形板依次连接且组成阀板边缘的环形结构，则减少了阀板与环形胶木阀套的接触面积，当有挥发物沉积时，与原来阀板摩擦力比较，本技术的阀板结构使得摩擦力大大降低；另外，电控部分更易于带动较小的阀板灵活运转，使用稳定可靠。具体表现在：一、加装改进的阀板，更加小巧灵活，阀板通过其边缘的锯齿结构与环形胶木阀套实现减少接触面积的连接且运行稳定，其中，环形胶木阀套不做运转，电控部分带动阀板做正反转动，则沉积挥发物不易于在阀板与环形胶木阀套的接触处间隙沉积；二、阀板的结构改小后，在不影响设备正常使用的基础上，电控部分阻力减小，电气结构运行更加稳定可靠，避免了电控故障过快损坏的机率；三、改进的阀板的结构，其边缘呈减少接触面积的锯齿结构，所述锯齿结构为多个V字形板依次连接且组成阀板边缘的环形结构；该阀板在电控部分的带动下运行稳定灵活，压力控制稳定，减少了设备的故障率，更加利于拉直合格产品需求，大大提高生产效率。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术的结构示意图；图2为阀板的结构示意图；图3为锯齿结构的主视图；图4为环形胶木阀套的结构示意图；图5为不锈钢环架的结构示意图；图中标记：1、不锈钢环架，2、电控部分，3、阀板，4、环形胶木阀套，5、锯齿结构，501、V字形板。具体实施方式下面给出具体实施例，对本技术的技术方案作进一步清楚、完整、详细地说明。本实施例是以本技术技术方案为前提的最佳实施例，但本技术的保护范围不限于下述的实施例。一种单晶炉炉压调节装置，包括不锈钢环架1、电控部分2，还包括阀板3和环形胶木阀套4；所述阀板3的边缘呈减少接触面积的锯齿结构5，所述锯齿结构5的外围相配合设置环形胶木阀套4，本技术中，改进的阀板3减小了原来的阀板结构，则减少了阀板3与环形胶木阀套4的接触面积，当有挥发物沉积时，与原来阀板摩擦力比较，本技术的阀板结构使得摩擦力大大降低；环形胶木阀套4嵌于所述不锈钢环架1和阀板3之间，加装改进的阀板3，更加小巧灵活，阀板3通过其边缘的锯齿结构5与环形胶木阀套4实现减少接触面积的连接且运行稳定，且环形胶木阀套4不做运转，则沉积挥发物不易于在阀板3与环形胶木阀套4的接触处间隙沉积；所述电控部分2设置在不锈钢环架1的一侧且分别与不锈钢环架1、阀板3电连接，所述电控部分2带动阀板3做正反转动。电控部分2更易于带动较小的阀板3灵活运转，使用稳定可靠。阀板3的结构改小后，在不影响设备正常使用的基础上，电控部分2阻力减小，电气结构运行更加稳定可靠，避免了电控故障过快损坏的机率。进一步的，所述电控部分2为电控盒，其中的内部电路控制且带动阀板3做正反转动，进而调整比例阀的位置开启度。然而，电控部分2只带动阀板3转动，环形胶木阀套4不做运转，这样则减小了摩擦力，减小了电控部分2的负担和阻力。进一步的，所述不锈钢环架1为环形结构，与阀板3相适应。进一步的，所述阀板3为圆形结构，配合比例阀。进一步的，所述不锈钢环架1与阀板3形状相配合。不锈钢环架1的内径大于阀板3的半径。进一步的，所述环形胶木阀套4为分别与不锈钢环架1、阀板3均相配合的环形结构。环形胶木阀套4嵌于所述不锈钢环架1和阀板3之间，环形胶木阀套4的内径等于阀板3的半径，环形胶木阀套4的外径等于不锈钢环架1的内径。进一步的，所述锯齿结构5为多个V字形板501依次连接且组成阀板3边缘的环形结构。进一步的，多个所述的V字形板501的端部均处于同一平面上。这样，减少了阀板3与环形胶木阀套4的接触面积，当有挥发物沉积时，与原来阀板摩擦力比较，本技术的阀板结构使得摩擦力大大降低。该结构组成的阀板3在电控部分2的带动下运行稳定灵活，压力控制稳定，减少了设备的故障率，更加利于拉直合格产品需求，大大提高生产效率。综上所述，本技术的一种单晶炉炉压调节装置，改进的阀板减小了原来的阀板结构，并且阀板的边缘呈减少接触面积的锯齿结构，锯齿结构为多个V字形板依次连接且组成阀板边缘的环形结构，则减少了本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶炉炉压调节装置，包括不锈钢环架（1）、电控部分（2），其特征在于：还包括阀板（3）和环形胶木阀套（4）；/n所述阀板（3）的边缘呈减少接触面积的锯齿结构（5），所述锯齿结构（5）的外围相配合设置环形胶木阀套（4），环形胶木阀套（4）嵌于所述不锈钢环架（1）和阀板（3）之间，且环形胶木阀套（4）不做运转，所述不锈钢环架（1）与阀板（3）形状相配合，所述环形胶木阀套（4）为分别与不锈钢环架（1）、阀板（3）均相配合的环形结构；所述电控部分（2）设置在不锈钢环架（1）的一侧且分别与不锈钢环架（1）、阀板（3）电连接，所述电控部分（2）带动阀板（3）做正反转动。/n

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉炉压调节装置，包括不锈钢环架（1）、电控部分（2），其特征在于：还包括阀板（3）和环形胶木阀套（4）；
所述阀板（3）的边缘呈减少接触面积的锯齿结构（5），所述锯齿结构（5）的外围相配合设置环形胶木阀套（4），环形胶木阀套（4）嵌于所述不锈钢环架（1）和阀板（3）之间，且环形胶木阀套（4）不做运转，所述不锈钢环架（1）与阀板（3）形状相配合，所述环形胶木阀套（4）为分别与不锈钢环架（1）、阀板（3）均相配合的环形结构；所述电控部分（2）设置在不锈钢环架（1）的一侧且分别与不锈钢环架（1）、阀板（3）电连接，所述电控部分（2）带动阀板（3）做正反转动。


2.根据权利要求1所述的一种单晶炉炉压调节装...

【专利技术属性】
技术研发人员：王松涛，孙金召，吴继伟，冯冰冰，
申请(专利权)人：麦斯克电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河南;41