一种热屏升降装置及晶体生长炉制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种热屏升降装置及晶体生长炉，热屏升降系统包括：升降组件；测距模块，包括：反射件与可移动部；其中，反射件与升降组件的运动方向垂直固定以形成基准平面；可移动部固定至升降组件且与反射件相对设置，可移动部可随升降组件的运动而远离或靠近反射件；显示模块，与可移动部连接，用于显示可移动部与反射件之间的距离。该热屏升降装置通过设置测距模块和显示模块，将热屏升降数值数字化，可以直观地、实时地显示热屏升降时的位置，不仅使得读数观察方便，便于操作人员进行控制，而且减少了操作过程中的人员需求数量，节约了人员配置，避免了人员过多而导致的机械伤害可能性增大的问题，提高了操作人员的单人工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种热屏升降装置及晶体生长炉
本技术属于单晶硅制备
，具体涉及一种热屏升降装置及晶体生长炉。
技术介绍
在现有单晶硅晶体生长炉中，一般利用热屏来减少热辐射和热量损失，减少热对流，加快蒸汽挥发，加快晶体的冷却以提高晶体生长炉的拉晶速度。目前，市场上部分单晶硅晶体生长炉上配置了热屏升降控制系统，热屏升降控制系统在单晶硅装料过程中将导流筒提起，增加了石英坩埚的空间，使石英坩埚内能装入更多的硅料；这样在化料过程中，导流筒与液面不会有接触，避免导流筒沾上材料液体，使晶体生长有了更好的环境；同时，保护了热场，提高了材料的利用率。然而，目前的热屏升降控制系统仅使用直尺+游标的方式来指示热屏悬挂机构的升降位置。采用直尺和游标构成的测量装置不仅读数观察不方便，而且操作人员在进行操作时，不能单独观察热屏升降时左右悬挂机构的绝对位置，一个人无法完成热屏的调平，需要更多的人员来配合才能完成，降低了人员效率，并且增加了机械伤害操作人员的可能性。
技术实现思路
为了解决现有技术中存在的上述问题，本技术提供了一种热屏升降装置及晶体生长炉。本技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种热屏升降装置，其特征在于，包括：/n升降组件(1)；/n反射件(2)，所述反射件(2)与所述升降组件(1)的运动方向垂直固定以形成基准平面；/n可移动部(3)，所述可移动部(3)与所述反射件(2)相对设置且固定至所述升降组件(1)，并且可随所述升降组件(1)的运动而远离或靠近所述反射件(2)；/n其中，所述反射件(2)和所述可移动部(3)形成测距模块；/n显示模块(4)，与所述可移动部(3)连接，用于显示所述可移动部(3)与所述反射件(2)之间的距离。/n

【技术特征摘要】
1.一种热屏升降装置，其特征在于，包括：
升降组件(1)；
反射件(2)，所述反射件(2)与所述升降组件(1)的运动方向垂直固定以形成基准平面；
可移动部(3)，所述可移动部(3)与所述反射件(2)相对设置且固定至所述升降组件(1)，并且可随所述升降组件(1)的运动而远离或靠近所述反射件(2)；
其中，所述反射件(2)和所述可移动部(3)形成测距模块；
显示模块(4)，与所述可移动部(3)连接，用于显示所述可移动部(3)与所述反射件(2)之间的距离。


2.如权利要求1所述的热屏升降装置，其特征在于，所述升降组件(1)包括主动件(11)和吊杆(12)，其中，
所述吊杆(12)与所述主动件(11)刚性连接以使所述吊杆(12)可随所述主动件(11)的运动而运动，所述可移动部(3)固定在所述主动件(11)的一侧。


3.如权利要求2所述的热屏升降装置，其特征在于，所述可移动部(3)包括测距传感器(31)和连接件(32)，其中，所述测距传感器(31)通过所述连接件(32)固定在所述主动件(11)的一侧以使所述测距传感器(31)正对于所述反射件(2)。


4.如权利要求3所述的热屏升降装置，其特征在于，所述测距传感器(31)包括TOF10120激光测距传感器。


5.如权利要求2所述的热屏升降装置，其特征在于，还包括导向机构(6)，其中，所述主动件(11)与所述导向机构(6)滑动连接以使所述主动件(11)沿所述导向机构(6)进行往复运动；
所述反射件(2)垂直固定在所述导向机构(...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴超，全铉国，刘佳奇，
申请(专利权)人：西安奕斯伟硅片技术有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西;61