一种用于芯片制造的智能控温单晶炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于芯片制造的智能控温单晶炉，包括炉室、永磁场、下炉室、电极、转轴进口、第一电机、上炉盖、光学传感器、温度感应器、第二电机，所述炉室左右两端固定有永磁场，所述炉室下端固定有下炉室，所述下炉室下端左右两部竖直贯穿固定有电极，所述下炉室下端中部开有转轴进口，所述第一电机上部通过转轴进口伸入下炉室，所述炉室上端固定有上炉盖，所述上炉盖上端右部固定有斜向内方向的光学传感器，所述上炉盖上端左部固定有斜向内方向的温度感应器，所述上炉盖上端中部安装有第二电机，本实用新型专利技术可以在单晶拉制的过程中时时有效的将热场的温度控制在适当的温度水平，大大保证了单晶的生产品质，提升了制作效率。

An intelligent temperature controlled single crystal furnace for chip manufacturing

【技术实现步骤摘要】
一种用于芯片制造的智能控温单晶炉
本技术涉及芯片制造设备
，尤其涉及一种用于芯片制造的智能控温单晶炉。
技术介绍
单晶炉在芯片制作中的作用是熔融半导体材料，拉单晶，为后续半导体芯片制造，提供单晶体的半导体晶坯，单晶直径在生长过程中温度主要决定能否成晶，而温度分布合适的热场，不仅单晶生长顺利，而且品质较高；如果热场的温度分布不是很合理，生长单晶的过程中容易产生各种缺陷，影响质量，情况严重的出现变晶现象生长不出来单晶。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于芯片制造的智能控温单晶炉，以解决上述技术问题。为实现上述目的本技术采用以下技术方案：一种用于芯片制造的智能控温单晶炉，包括炉室、永磁场、下炉室、电极、惰性气体排出口、转轴进口、第一电机、上炉盖、光学传感器、温度感应器、第二电机、隔离阀，所述炉室左右两端固定有永磁场，所述炉室下端固定有下炉室，所述下炉室下端左右两部竖直贯穿固定有电极，所述下炉室下端左右两部开有竖直方向的惰性气体排出口，所述下炉室下端中部开有竖直方向的转轴进口，所述第一电机上部通过转轴进口伸本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于芯片制造的智能控温单晶炉，包括炉室(1)、永磁场(2)、下炉室(3)、电极(4)、惰性气体排出口(5)、转轴进口(6)、第一电机(7)、上炉盖(8)、光学传感器(9)、温度感应器(10)、第二电机(11)、隔离阀(12)，其特征在于：所述炉室(1)左右两端固定有永磁场(2)，所述炉室(1)下端固定有下炉室(3)，所述下炉室(3)下端左右两部竖直贯穿固定有电极(4)，所述下炉室(3)下端左右两部开有竖直方向的惰性气体排出口(5)，所述下炉室(3)下端中部开有竖直方向的转轴进口(6)，所述第一电机(7)上部通过转轴进口(6)伸入下炉室(3)，所述炉室(1)上端固定有上炉盖(8)，所述上...

【技术特征摘要】
1.一种用于芯片制造的智能控温单晶炉，包括炉室(1)、永磁场(2)、下炉室(3)、电极(4)、惰性气体排出口(5)、转轴进口(6)、第一电机(7)、上炉盖(8)、光学传感器(9)、温度感应器(10)、第二电机(11)、隔离阀(12)，其特征在于：所述炉室(1)左右两端固定有永磁场(2)，所述炉室(1)下端固定有下炉室(3)，所述下炉室(3)下端左右两部竖直贯穿固定有电极(4)，所述下炉室(3)下端左右两部开有竖直方向的惰性气体排出口(5)，所述下炉室(3)下端中部开有竖直方向的转轴进口(6)，所述第一电机(7)上部通过转轴进口(6)伸入下炉室(3)，所述炉室(1)上端固定有上炉盖(8)，所述上炉盖(8)上端右部固定有斜向内方向的光学传感器(9)，所述上炉盖(8)上端左部固定有斜向内方向的温度感应器(10)，所述上炉盖(8)上端中部安装有竖直方向的第二电机(11)，所述上炉盖(8)下部内侧固定有隔离阀(12)。


2.根据权利要求1所述的一种用于芯片制造的智能控温单晶炉，其特征在于：所述电极(4)上端...

【专利技术属性】
技术研发人员：张继栓，
申请(专利权)人：山东圣诺实业有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37