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本实用新型公开了一种用于芯片制造的智能控温单晶炉，包括炉室、永磁场、下炉室、电极、转轴进口、第一电机、上炉盖、光学传感器、温度感应器、第二电机，所述炉室左右两端固定有永磁场，所述炉室下端固定有下炉室，所述下炉室下端左右两部竖直贯穿固定有电极...
该专利属于山东圣诺实业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东圣诺实业有限公司授权不得商用。

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