一种辅助标尺工具制造技术

本实用新型专利技术提供一种辅助标尺工具，用于硅片切割时辅助测量，该辅助标尺工具包括：刻度板，所述刻度板为透明板，所述刻度板相邻两条边上设有刻度值且所述刻度板表面交错分布有与所述刻度值相对应的刻度线以构成刻度格。根据本实用新型专利技术实施例的辅助标尺工具，透过透明刻度板上的刻度线和刻度格观看硅片异常区域，对硅片异常区域进行网格化分析，使观测结果更精确，设置工艺参数更准确。

【技术实现步骤摘要】
一种辅助标尺工具
本技术涉及硅片生产
，具体涉及一种辅助标尺工具。
技术介绍
硅棒切割工艺技术是硅片生产的重要步骤，现有技术中，硅棒切割工艺技术多采用肉眼估测硅片异常区域，用直尺测量硅片有误差或损坏硅片，此种测量方法工艺精确率低，返工损料率低，且工作效率不高。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供一种高精度、低损料率、能够提高工作效率的辅助标尺工具。为解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案：根据本技术实施例的辅助标尺工具，用于硅片切割时辅助测量，包括：刻度板，所述刻度板为透明板，所述刻度板相邻两条边上设有刻度值且所述刻度板表面交错分布有与所述刻度值相对应的刻度线以构成刻度格。进一步地，所述刻度板形成为方形板。根据本技术实施例的辅助标尺工具，还包括：卡板，所述卡板的一端连接在所述刻度板的形成有刻度值的侧边上且在所述卡板与所述刻度板背面之间形成有用于卡住硅片的卡槽。进一步地，所述卡板包括两个，两个所述卡板分别连接在所述刻度板的形成有刻度值的两边。更进一步地，两个所述卡板形本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种辅助标尺工具，用于硅片切割时辅助测量，其特征在于，包括：/n刻度板，所述刻度板为透明板，所述刻度板相邻两条边上设有刻度值且所述刻度板表面交错分布有与所述刻度值相对应的刻度线以构成刻度格；/n卡板，所述卡板的一端连接在所述刻度板的形成有刻度值的侧边上且在所述卡板与所述刻度板背面之间形成有用于卡住硅片的卡槽。/n

【技术特征摘要】
1.一种辅助标尺工具，用于硅片切割时辅助测量，其特征在于，包括：
刻度板，所述刻度板为透明板，所述刻度板相邻两条边上设有刻度值且所述刻度板表面交错分布有与所述刻度值相对应的刻度线以构成刻度格；
卡板，所述卡板的一端连接在所述刻度板的形成有刻度值的侧边上且在所述卡板与所述刻度板背面之间形成有用于卡住硅片的卡槽。


2.根据权利要求1所述的辅助标尺工具，其特征在于，所述刻度板形成为方形板。


3.根据权利要求1所述的辅助标尺工具，其特征在于，所述卡板包括两个，两个所述卡板分别连接在所述刻度板的形成有刻度值的两边。


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【专利技术属性】
技术研发人员：王辉，崔硕浩，李永峰，
申请(专利权)人：宁晋松宫电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13