一种用于区熔单晶炉高频电源的闭式冷却水循环系统技术方案

本发明专利技术涉及冷却水循环系统，旨在提供一种用于区熔单晶炉高频电源的闭式冷却水循环系统。该闭式冷却水循环系统包括水箱、机架、换热器、循环水泵；所述水箱安装于机架上，水箱上有设有一个进水口与循环冷却水回水管连接、一个出水口与循环水泵连接；所述换热器上设有一个被冷却介质出口与循环冷却水进水管连接、一个被冷却介质进口与循环水泵连接、一个冷却介质出口与外部冷却水回水管连接、一个冷却介质进口与外部冷却水进水管连接；所述换热器为板式换热器。本发明专利技术通过控制外部冷却水的流量，可实现循环冷却水温度根据拉晶工艺自动调节，且具有使用方便、结构简单、体积小、能耗低、成本低的优点。

【技术实现步骤摘要】
—种用于区熔单晶炉高频电源的闭式冷却水循环系统
本专利技术是关于冷却水循环系统，特别涉及一种用于区熔单晶炉高频电源的闭式冷却水循环系统。
技术介绍
区熔法(FZ)生产单晶硅是区别于直拉法(CZ)的一种新型的单晶生长方法，它利用高频感应加热线圈将高纯度的多晶料局部融化，熔区依靠熔硅的表面张力和加热线圈提供的磁托浮力而处于悬浮状态，然后从熔区的下方利用籽晶将熔硅拉制成单晶。随着国家对能源、交通、大规模集成电路等影响国民经济发展的瓶颈行业的支持，对大电流的电力电子器件需要越来越大，要求也越来越高，要求硅单晶向大直径、大投料量、高纯度、高均匀性方向发展。区熔单晶炉高频电源是区熔炉的关键设备，其品质直接决定化料、成晶效果，其稳定性也直接影响区熔炉拉晶稳定性。在拉晶过程中，由于高频感应加热传递效率较低，高频电源尤其是高频感应加热线圈会产生很大的热量，需要冷却水对其进行冷却。用一般的自来水作为冷却水，一方面耗水量大，另一方面自来水易腐蚀电源内管路及线圈，影响设备寿命。另外市场现有的冷水机结构较复杂、体积庞大、能耗高、成本高，用于区熔炉高频电源冷却不合算。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于克服现有本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于区熔单晶炉高频电源的闭式冷却水循环系统，包括水箱，其特征在于，所述闭式冷却水循环系统还包括机架、换热器、循环水泵；所述水箱安装于机架上，水箱上有设有一个进水口和一个出水口，进水口与循环冷却水回水管连接，出水口与循环水泵连接；所述换热器上设有一个被冷却介质出口、一个被冷却介质进口、一个冷却介质出口和一个冷却介质进口，被冷却介质出口与循环冷却水进水管连接，被冷却介质进口与循环水泵连接，冷却介质出口与外部冷却水回水管连接，冷却介质进口与外部冷却水进水管连接；所述换热器为板式换热器。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：欧阳鹏根，石刚，傅林坚，曹建伟，陈明杰，王丹涛，邱敏秀，蒋庆良，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：