一种用于区熔炉的内轴运动装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及内轴运动装置，特别涉及一种用于区熔炉的内轴运动装置，其特征在于，包括：外轴，其里侧有内孔；固定导向套，其与外轴内孔固定；轴承座，其位于固定导向套的下端，内装有调心球轴承；内轴，其穿过固定导向套与轴承座上端连接；滚珠花键轴，其与轴承座下端连接；滚珠丝杠轴，其上端与滚珠花键轴连接，下端与旋转同步带连接；其中，内轴的旋转由外轴的旋转驱动。本发明专利技术中当一台电机带动外轴旋转时，内轴随之旋转；另一台电机驱动旋转同步带进而带动滚珠丝杠轴转动，滚珠丝杠轴将转动变成直线运动，使滚珠花键轴移动，带动内轴轴向直线移动。本发明专利技术通过增加阻尼以减小震动，提高内轴运动的稳定性，改善内轴和外轴的同心度，更有利于成晶。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及内轴运动装置领域，特别涉及一种用于区熔炉的内轴运动装置。
技术介绍
区熔单晶炉主要用于生产硅半导体材料，包括晶体熔化生长的主炉室、位于主炉室上端的籽晶提升结构和电控系统。成晶过程主要是通过控制和调整内轴移动和外轴转动来完成的，由于传统的区熔炉内轴与外轴同心度不好保证，同心度差，导致内轴在固定导向套内做直线滑动时会产生震动和摩擦阻力，直接影响内轴和外轴相对运动的稳定性，从而影响成晶率。
技术实现思路
本专利技术的目的是改善内轴和外轴的同心度，提高内轴的运动稳定性。为此，本专利技术提出了一种用于区熔炉的内轴运动装置，其特征在于，包括外轴，其里侧有内孔；固定导向套，其与外轴内孔固定；轴承座，其位于固定导向套的下端，内装有调心球轴承；内轴，其穿过固定导向套与轴承座上端连接；滚珠花键轴，其与轴承座下端连接；滚珠丝杠轴,其上端与滚珠花键轴连接,下端与旋转同步带连接。其中，内轴的旋转由外轴的旋转驱动。优选的是，所述的用于区熔炉的内轴运动装置中，所述固定导向套与外轴内孔利用锥度紧配合固定。优选的是，所述的用于区熔炉的内轴运动装置中，还包括滑动导向套，其固定在内轴上，并选用聚四氟乙烯和石墨本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于区熔炉的内轴运动装置，其特征在于，包括：外轴，其里侧有内孔；固定导向套，其与外轴内孔固定；轴承座，其位于固定导向套的下端，内装有调心球轴承；内轴，其穿过固定导向套与轴承座上端连接；滚珠花键轴，其与轴承座下端连接；滚珠丝杠轴，其上端与滚珠花键轴连接，下端与旋转同步带连接；其中，内轴的旋转由外轴的旋转驱动。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周鹏，张继宏，徐振斌，王军，
申请(专利权)人：北京京运通科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：