下载蓝宝石长晶炉真空系统的技术资料

文档序号:8665604

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本实用新型涉及一种蓝宝石长晶炉真空系统,它包括真空管道(1),所述真空管道(1)连接于蓝宝石长晶炉炉体上,其特征在于所述真空管道(1)的下端通过分子泵接管(6)连接有复合分子泵(8),所述真空管道(1)与分子泵接管(6)之间设置有旋转式插板...
该专利属于江苏双良新能源装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏双良新能源装备有限公司授权不得商用。

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