生长蓝宝石单晶晶棒用生长室制造技术

生长蓝宝石单晶晶棒用生长室。作为一种新型的半导体材料，蓝宝石以其优良的物理化学特性和电特性成为制造短波长光电子器件、高温器件、抗辐照器件和大功率/高额电子器件最重要的半导体材料。一种生长蓝宝石单晶晶棒用生长室，其组成包括:带有底座体（1）的炉体（2），所述的炉体装有氧化铝空心砖(3)，所述的氧化铝空心砖连接隔热屏，所述的隔热屏连接保温筒焊合（7），钨棒(8)插入所述的隔热屏和所述的氧化铝空心砖内,所述的钨棒连接钨盘(9),所述的钨盘连接坩埚(10),所述的隔热屏上端连接大盖（11）,所述的炉体上端连接小盖（12）。本实用新型专利技术用于蓝宝石单晶晶棒生长。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种生长蓝宝石单晶晶棒用生长室。
技术介绍
作为一种新型的半导体材料，蓝宝石以其优良的物理化学特性和电特性成为制造短波长光电子器件、高温器件、抗辐照器件和大功率/高 额电子器件最重要的半导体材料。特别是在极端条件和恶劣条件下应用时，蓝宝石器件的特性远远超过了 Si器件和GaAs器件。因此，蓝宝石器件和其各类传感器已逐步成为关键器件之一，发挥着越来越重要的作用。但是蓝宝石晶体的生长条件苛刻，需在2100°C以上保持高真空一周以上，且对籽晶质量、固定方式等也有很高要求。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种对于光伏太阳能产业具有积极推动作用的生长蓝宝石单晶晶棒用生长室。上述的目的通过以下的技术方案实现一种生长蓝宝石单晶晶棒用生长室，其组成包括带有底座体的炉体，所述的炉体装有氧化铝空心砖，所述的氧化铝空心砖连接隔热屏，所述的隔热屏连接保温筒焊合，钨棒插入所述的隔热屏和所述的氧化铝空心砖内，所述的钨棒连接钨盘，所述的钨盘连接坩埚，所述的隔热屏上端连接大盖，所述的炉体上端连接小盖。所述的生长蓝宝石单晶晶棒用生长室，所述的隔热屏包括下隔热屏，所述的下隔热屏连接内隔热屏，所述的内隔热屏连接上隔热屏，所述的上隔热屏连接所述的大盖，所述的上隔热屏连接所述的保温筒焊合。有益效果I.本技术很好的解决了 A1203单晶晶棒生长困难的问题，保证了蓝宝石晶体的苛刻生长条件，为生产高质量蓝宝石晶体提供了支持。本技术解决了蓝宝石晶体的苛刻生长条件，对于光伏太阳能产业具有积极推动作用。附图说明附图I是本产品的结构示意图。具体实施方式实施例I :一种生长蓝宝石单晶晶棒用生长室，其组成包括带有底座体I的炉体2，所述的炉体装有氧化铝空心砖3，所述的氧化铝空心砖连接隔热屏，所述的隔热屏连接保温筒焊合7，钨棒8插入所述的隔热屏和所述的氧化铝空心砖内，所述的钨棒连接钨盘9，所述的钨盘连接坩埚10，所述的隔热屏上端连接大盖11，所述的炉体上端连接小盖12。实施例2:实施例I所述的生长蓝宝石单晶晶棒用生长室，所述的隔热屏包括下隔热屏4，所述的下隔热屏连接内隔热屏5，所述的内隔热屏连接上隔热屏6，所述的上隔热屏连接所述的大盖，所述的上隔热屏连接所述的保温筒焊合。实施例3 实施例I或2所述的生长蓝宝石单晶晶棒用生长室，它主要由九个部件组成，它包括底座体，炉体，氧化铝空心砖，下隔热屏，内隔热屏，上隔热屏，保温筒焊合，钨棒，钨盘，坩埚，大盖，小盖。生长室内安装有石墨加热器、隔热屏和为更高温度下生长所需真空或惰性气氛条件下所需的内部石墨装置。电阻直流(DC)加热系统加热内部装置和加热坩埚到生长温度，以生长碳化硅晶棒，同时通过电阻加热器精确调整电力消耗，生长室内部配置用做隔热和形成晶体生长所需的温度梯度的坩埚。主要材料是不锈钢。工作过程生长室用于安装生长单晶的热系统、石英坩埚和多晶硅原料等。底盘固定在底座 平面上，其中心孔是坩埚轴的定位基准，孔下端与坩埚轴驱动装置。炉体与底座用6个不同规格螺栓连接，底层装有氧化铝空心砖，在上层装有下隔热屏，通过中心孔装有钨棒，钨盘与钨棒相连接，在钨盘上装有坩埚，坩埚用坩埚盖密封，坩埚左右放有内隔热屏，上部放有上隔热屏，在炉体的上部有大盖和小盖，盖上带有孔槽用来与其他部位连接。权利要求1.一种生长蓝宝石单晶晶棒用生长室，其组成包括带有底座体的炉体，其特征是所述的炉体装有氧化铝空心砖，所述的氧化铝空心砖连接隔热屏，所述的隔热屏连接保温筒焊合，钨棒插入所述的隔热屏和所述的氧化铝空心砖内，所述的钨棒连接钨盘，所述的钨盘连接坩埚，所述的隔热屏上端连接大盖，所述的炉体上端连接小盖。2.根据权利要求I所述的生长蓝宝石单晶晶棒用生长室，其特征是所述的隔热屏包括下隔热屏，所述的下隔热屏连接内隔热屏，所述的内隔热屏连接上隔热屏，所述的上隔热屏连接所述的大盖，所述的上隔热屏连接所述的保温筒焊合。专利摘要生长蓝宝石单晶晶棒用生长室。作为一种新型的半导体材料，蓝宝石以其优良的物理化学特性和电特性成为制造短波长光电子器件、高温器件、抗辐照器件和大功率/高额电子器件最重要的半导体材料。一种生长蓝宝石单晶晶棒用生长室，其组成包括:带有底座体(1)的炉体(2)，所述的炉体装有氧化铝空心砖(3)，所述的氧化铝空心砖连接隔热屏，所述的隔热屏连接保温筒焊合(7)，钨棒(8)插入所述的隔热屏和所述的氧化铝空心砖内,所述的钨棒连接钨盘(9),所述的钨盘连接坩埚(10),所述的隔热屏上端连接大盖(11),所述的炉体上端连接小盖(12)。本技术用于蓝宝石单晶晶棒生长。文档编号C30B29/20GK202558972SQ20122018006公开日2012年11月28日 申请日期2012年4月26日 优先权日2012年4月26日专利技术者石连升, 徐雳 申请人:哈尔滨晶石光电技术有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种生长蓝宝石单晶晶棒用生长室，其组成包括:带有底座体的炉体，其特征是:？所述的炉体装有氧化铝空心砖，所述的氧化铝空心砖连接隔热屏，所述的隔热屏连接保温筒焊合，钨棒插入所述的隔热屏和所述的氧化铝空心砖内,？所述的钨棒连接钨盘,？所述的钨盘连接坩埚,？所述的隔热屏上端连接大盖,所述的炉体上端连接小盖。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：石连升，徐雳，
申请(专利权)人：哈尔滨晶石光电技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：