【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶棒的加工领域,特别是一种单晶棒固定托架。
技术介绍
单晶炉在取棒时用原有的晶棒托架进行固定,有时晶棒尾部较长,晶棒托架无法安装,传统做法是不安装晶棒托架,使用手扶晶棒的方式用手将上炉体移开,这样的方法必须两只手移动上炉体和单晶棒的速度一致,否则晶棒晃动致使籽晶断裂,晶棒脱落损坏,给人身、产品安全带来严重威胁。改善的着眼点在于如何将较长的单晶棒使用工装固定,安全取出。目前的做法是设置一个专用的晶棒托架:把原有的晶棒托架加长,碰到尾部较长的晶棒,把单晶炉隔离法上的3颗定位螺丝拆掉,再把加长的晶棒托架放到单晶炉上固定晶棒,然后取出。问题在于取掉3颗定位螺丝就必须使用到工具(活动扳手),由于晶棒在没有固定之前用扳手拆除定位螺丝容易碰到悬挂着的晶棒,致使脱落。造成达不到修正的结果,严重的话,晶棒会掉入炉内,由于尾部较尖,戳穿隔离阀,损伤设备。
技术实现思路
本技术提供了一种结构简单、结构牢固且操作方便的单晶棒固定托架。为解决上述技术问题,本技术单晶棒固定托架,包括:垂臂,所述垂臂的一端连接有连接板,所述垂臂通过所述连接板与上炉体固定;固定臂,所述固定臂的一端与所述垂 ...
【技术保护点】
单晶棒固定托架,其特征在于,包括:垂臂,所述垂臂的一端连接有连接板,所述垂臂通过所述连接板与上炉体固定;固定臂,所述固定臂的一端与所述垂臂的一端连接,所述垂臂及所述固定臂为对称设置;以及托架,所述托架设置在两侧所述固定臂的末端。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:刘辉,贺贤汉,
申请(专利权)人:上海申和热磁电子有限公司,
类型:新型
国别省市:上海;31
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