The invention provides a silicon single crystal rod recovery device and method, liquid supply device, wherein the silicon single crystal rod recovery device includes: a silicon rod dressed for the recovery of silicon single crystal rod and a cover for covering the container; sealing the container of silicon single crystal rod; the first pipe passes through the cover body with the silicon single crystal rod container is communicated; second pipe at one end of the sidewall and the silicon single crystal rod container connected; third pipe at one end of the sidewall and the silicon single crystal rod container with the fourth line; and the side wall of the container with the silicon single crystal rod. Liquid nitrogen from second lines into silicon single crystal rod container, hot deionized water on the silicon rod quenching through the first pipeline into the silicon rod container, quenching after the completion of the water discharging pipeline can be collected by fourth, no pollution of single crystal silicon fragments. In the whole process, no other impurities are introduced, and the pollution free and fast recovery silicon single crystal rod is realized, which is convenient for subsequent use, reduces the cost and improves the benefit.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及集成电路领域,尤其是一种硅单晶棒回收装置及方法、液氮供应装置。
技术介绍
半导体硅单晶体的大部分用切克劳斯基(Czochralski)法制造。在这种方法中,多晶硅被装进石英锅中,加热熔化,然后,将熔硅略做降温,给予一定的过冷度,把一支特定晶向的硅单晶体(称作籽晶)与熔体硅接触,通过调整熔体的温度和籽晶向上提升速度,使籽晶长大至目标直径时,提高提升速度,使单晶体近恒直径生长。在生长过程的尾期,此时锅内的硅熔体尚未完全消失,通过增加晶体的提升速度和调整向锅的供热量将晶体直径见见减小而形成一个尾形椎体,当椎体的尖足够小时,晶体就会与熔体脱离,从而完成晶体的生长过程。生长出来以后硅单晶棒只有中间的等直径部分可用来切割晶圆,需要去除硅单晶棒的头尾部分,即需要去除掉所述硅单晶棒的引颈部分和缩颈部分。随着所述硅单晶棒直径的加大,所述硅单晶棒的引颈部分和缩颈部分的重量也在逐渐增大,需要对其进行回收利用,以降低成本,提高效益。目前,通常使用的硅单晶棒回收装置包括一高温炉,一容器和一冲击锤,将待回收的硅单晶棒置于所述高温炉中,升温至400~800℃后,快速引入空气,利用温差的应力使大晶块变成小晶块,然后再放到容器中,利用所述冲击锤反复敲打所述容器中的所述待回收的硅单晶棒,直至将所述待回收的硅单晶棒打碎形成硅单晶碎块。而这整个过程中需要高温炉,造成电能消耗;冲击锤打过程会在硅单晶碎块中引入铁、镍以及铜等金属杂质离子,从而对所述硅单晶碎块造成污染。因此,急需一种节能且无污染的快速回收利用硅单晶棒的装置和方法。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种硅单晶棒回收装置 ...
【技术保护点】
一种硅单晶棒回收装置,其特征在于,包括:一硅单晶棒容器,用于盛装待回收的硅单晶棒;一盖体,用于盖住并密封所述硅单晶棒容器;一第一管路,穿过所述盖体与所述硅单晶棒容器连通,且在所述第一管路上设置有一第一阀门;一第二管路,其一端通过所述硅单晶棒容器的侧壁与其连通,另一端与一液氮供应装置连接,且在所述第二管路上设置有一第二阀门;一第三管路,其一端通过所述硅单晶棒容器的侧壁与其连通,另一端与一真空装置连接,且在所述第三管路上设置有一第三阀门;以及一第四管路,通过所述硅单晶棒容器的侧壁与其连通,且在所述第四管路上设置有一第四阀门。
【技术特征摘要】
1.一种硅单晶棒回收装置,其特征在于,包括:一硅单晶棒容器,用于盛装待回收的硅单晶棒;一盖体,用于盖住并密封所述硅单晶棒容器;一第一管路,穿过所述盖体与所述硅单晶棒容器连通,且在所述第一管路上设置有一第一阀门;一第二管路,其一端通过所述硅单晶棒容器的侧壁与其连通,另一端与一液氮供应装置连接,且在所述第二管路上设置有一第二阀门;一第三管路,其一端通过所述硅单晶棒容器的侧壁与其连通,另一端与一真空装置连接,且在所述第三管路上设置有一第三阀门;以及一第四管路,通过所述硅单晶棒容器的侧壁与其连通,且在所述第四管路上设置有一第四阀门。2.如权利要求1所述的硅单晶棒回收装置,其特征在于,还包括一第五管路,其一端通过所述硅单晶棒容器的侧壁与其连通,另一端与一气体收集装置连接,在所述第五管路上设置有一个第五阀门。3.如权利要求2所述的硅单晶棒回收装置,其特征在于,所述第五管路靠近所述盖体设置。4.如权利要求1所述的硅单晶棒回收装置,其特征在于,所述第二管路靠近所述硅单晶棒容器的底部设置。5.如权利要求1所述的硅单晶棒回收装置,其特征在于,所述第三管路靠近所述硅单晶棒容器的底部设置。6.如权利要求1所述的硅单晶棒回收装置,其特征在于,所述第四管路的一端连接于所述第三管路上的一连接点,且所述连接点位于所述第三阀门和所述硅单晶棒容器的侧壁之间。7.一种硅单晶棒...
【专利技术属性】
技术研发人员:张汝京,林志鑫,肖德元,
申请(专利权)人:上海新昇半导体科技有限公司,
类型:发明
国别省市:上海;31
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