【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体，更具体地涉及一种滚轮清洁工具和装置。
技术介绍
1、在半导体制造工厂内，晶圆需要在各个工艺设备内进行传输，因为晶圆传输需要在洁净环境下进行传输，就需要使用到晶圆传输机器人(transfer robot)。
2、相关技术中，晶圆传输机器人的滚轮(roller)直接放置在清洗槽内进行清洗，但清洗槽缺少与之配合的清洁工具，存在清洁效果不佳等问题。
3、鉴于上述技术问题的存在，本申请提供一种新的滚轮清洁工具和装置，以至少部分地解决上述问题。
技术实现思路
1、为了解决上述问题中的至少一个而提出了本申请。根据本申请一方面，提供了一种滚轮清洁工具，用于清洁晶圆传输装置中的滚轮，所述滚轮清洁工具包括：固定支架；升降件，可升降地且可转动地设置于所述固定支架上；驱动组件，设置于所述升降件上；固定平台，设置于所述升降件的一端；所述固定平台上设有至少一个用于安装所述滚轮的安装位；其中，所述升降件用于驱动所述固定平台升降，以带动所述固定平台上安装的所述滚轮进入清洗槽或者离开清洗槽；所述驱动组件用于驱动所述升降件转动，以带动所述固定平台上安装的所述滚轮绕所述升降件的转动轴线旋转。
2、在本申请的一些实施例中，所述固定平台上安装的所述滚轮的轴线与所述升降件的转动轴线平行。
3、在本申请的一些实施例中，所述安装位的数量为多个，相邻的所述安装位上安装的所述滚轮彼此间隔设置。
4、在本申请的一些实施例中，相邻的所述安装位上安装的所述滚轮之
5、在本申请的一些实施例中，所述升降件上设置有用于驱动所述升降件升降的驱动手柄。
6、在本申请的一些实施例中，所述升降件上设置有限位件，所述限位件用于限制所述升降件的升降高度。
7、在本申请的一些实施例中，所述驱动组件包括叶轮、第一轴承和第二轴承，所述固定平台通过所述第一轴承套设于所述升降件，所述叶轮通过所述第二轴承套设于所述第一轴承。
8、在本申请的一些实施例中，所述驱动组件还包括密封腔，所述叶轮设置于所述密封腔内，所述密封腔上设置有进气口和出气口，所述进气口上设置有进气阀门，所述出气口上设置有出气阀门。
9、在本申请的一些实施例中，所述滚轮清洁工具还包括：至少一个氮气干燥器，设置于所述固定支架上，用于对清洁后的所述滚轮进行干燥。
10、根据本申请又一方面，提供了一种滚轮清洁装置，包括清洗槽和上述中任一项所述的滚轮清洁工具。
11、根据本申请实施例的滚轮清洁工具和装置，升降件能够带动固定平台上安装的滚轮进入清洗槽，驱动组件能够带动滚轮在清洗槽内绕升降件的转动轴线旋转以实现清洗，升降件进而能够带动清洗好后的滚轮离开清洗槽，滚轮清洁工具与清洗槽相配合，可以有效地提高滚轮的清洁效率和清洁质量，清洁效果优异。
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1.一种滚轮清洁工具，用于清洁晶圆传输装置中的滚轮，其特征在于，所述滚轮清洁工具包括：
2.如权利要求1所述的滚轮清洁工具，其特征在于，所述固定平台上安装的所述滚轮的轴线与所述升降件的转动轴线平行。
3.如权利要求1所述的滚轮清洁工具，其特征在于，所述安装位的数量为多个，相邻的所述安装位上安装的所述滚轮彼此间隔设置。
4.如权利要求3所述的滚轮清洁工具，其特征在于，相邻的所述安装位上安装的所述滚轮之间的间隔大于2cm。
5.如权利要求1所述的滚轮清洁工具，其特征在于，所述升降件上设置有用于驱动所述升降件升降的驱动手柄。
6.如权利要求1所述的滚轮清洁工具，其特征在于，所述升降件上设置有限位件，所述限位件用于限制所述升降件的升降高度。
7.如权利要求1所述的滚轮清洁工具，其特征在于，所述驱动组件包括叶轮、第一轴承和第二轴承，所述固定平台通过所述第一轴承套设于所述升降件，所述叶轮通过所述第二轴承套设于所述第一轴承。
8.如权利要求7所述的滚轮清洁工具，其特征在于，所述驱动组件还包括密封腔，所述叶轮设置
9.如权利要求1所述的滚轮清洁工具，其特征在于，所述滚轮清洁工具还包括：
10.一种滚轮清洁装置，其特征在于，包括清洗槽和如权利要求1～9中任一项所述的滚轮清洁工具。
...【技术特征摘要】
1.一种滚轮清洁工具，用于清洁晶圆传输装置中的滚轮，其特征在于，所述滚轮清洁工具包括：
2.如权利要求1所述的滚轮清洁工具，其特征在于，所述固定平台上安装的所述滚轮的轴线与所述升降件的转动轴线平行。
3.如权利要求1所述的滚轮清洁工具，其特征在于，所述安装位的数量为多个，相邻的所述安装位上安装的所述滚轮彼此间隔设置。
4.如权利要求3所述的滚轮清洁工具，其特征在于，相邻的所述安装位上安装的所述滚轮之间的间隔大于2cm。
5.如权利要求1所述的滚轮清洁工具，其特征在于，所述升降件上设置有用于驱动所述升降件升降的驱动手柄。
6.如权利要求1所述的滚轮清洁工具，其特征在于，所述升降件上...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨步明，
申请(专利权)人：上海新昇半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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