【技术实现步骤摘要】
本技术涉及ー种单晶炉石英加料装置。
技术介绍
目前,单晶炉加料通常采用金属容器,采用金属容器加料虽然快捷简便,但最大的缺点是会造成单晶的金属污染,严重影响单晶内在质量。
技术实现思路
本技术的目的是提供能加快加料速度,提高工作效率、提高单晶质量的ー种单晶炉石英加料装置。本技术采取的技术方案是:ー种单晶炉石英加料装置,其特征在于它包括活动套杆、支架、加料筒和锥体,支架横架在加料筒上,活动套杆位于加料筒中且设置在支架上,活动套杆的下端连接有锥体,锥体的底面直径大于或等于加料筒的直径。采用本技术,可以通过活动套杆和支架将该装置临时吊装在单晶炉中,直接在单晶炉高温状态下进行加料,无需使单晶炉充分冷却,既快速又便捷,能提高工作效率,又不会造成单晶的金属污染。附图说明图1为本技术的示意图。图中的序号表示:活动套杆1、支架2、加料筒3和锥体4。具体实施方式下面结合具体的实施例对本技术作进ー步说明。參照图1,该单晶炉石英加料装置它包括活动套杆1、支架2、加料筒3和锥体4,支架2横架在加料筒4上,活动套杆I位于加料筒3中且设置在支架2上,活动套杆I的下端连接有锥体4,锥体4的底面直径大于或等于加料筒3的直径。使用时,将加料筒3采用耐高温高纯石英材质制作,如果单晶炉需要加料时,可以先在加料筒3由上往下加入硅料,然后通过活动套杆I和支架2将该装置临时吊装在单晶炉中,再将锥体4向下打开,硅料会从锥体4与加料筒3之间的空隙落入单晶炉,这样,无需在单晶炉充分冷却的情况下,即可开始加料,既快速又便捷,能提高工作效率,又不会造成单晶的金属污染。
【技术保护点】
一种单晶炉石英加料装置,其特征在于它包括活动套杆、支架、加料筒和锥体,支架横架在加料筒上,活动套杆位于加料筒中且设置在支架上,活动套杆的下端连接有锥体,锥体的底面直径大于或等于加料筒的直径。
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉石英加料装置,其特征在于它包括活动套杆、支架、加料筒和锥体,支架横架在加料筒上,活...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵纪平,余俊军,方强,
申请(专利权)人:万向硅峰电子股份有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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